대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1994년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1223-1225
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- 1994
급속열처리에 의한 $TiN/TiSi_2$ 이중구조막 혈성에 대한 Ti-Si 계면의 얇은 산화막의 영향
Effects of the thin $SiO_2$ film on the formation of $TiN/TiSi_2$ bilayer formed by rapid thermal annealing
- Lee, Cheol-Jin (Dept. of Electrical Eng. Kunsan National Univ.) ;
- Sung, Han-Young (Dept. of Electrical Eng, Korea Univ.) ;
- Sung, Yung-Kwon (Dept. of Electrical Eng, Korea Univ.)
- 발행 : 1994.07.21
초록
The properties of
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