Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

A Study On Implementation of GaAs Optoelectronic Integrated Circuits

GaAs 광전집적 회로에 대한 연구

  • 권영세 (한국과학기술원, 전기 및 전자공학과) ;
  • 홍창희 (한국과학기술원, 전기 및 전자공학과) ;
  • 유회준 (한국과학기술원, 전기 및 전자공학과)
  • Published : 1990.07.01
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Abstract

GaAs 광전집적회로의 구현을 위해 MBE와 MOCVD system을 이용하여 수직 구조에 알맞는 광소자 및 전자소자를 개발하였으며 이 소자들의 집적화를 시도하였다. 발광소자로서는 Bcllcorc와 공동으로 MBE를 이용하여 표면 방출형 레이저 다이오드 및 array 구조의 연구가 시도 되었고 수직형 전자소자로서는 sclcctive MOCVD를 이용하여 W이 매몰된 VFET 구현하였다. VFET 위에 LED를 집적시켜 출력단의 수직 광전집적회로를 제안하고 제작하였으며 수신단 광전집적회로에서는 PIN 다이오드와 VJFET를 집적화한 광전집적회로가 현재 연구중에 있다.

Keywords