• 한국분말야금학회:학술대회논문집
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• 한국분말야금학회 2001년도 추계학술강연 및 발표대회
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• pp.16-16
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• 2001

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.37-37
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• 2001

• 시멘트 심포지엄
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• 통권35호
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• pp.222-228
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• 2008

• 고문화
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• 23호
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• pp.1-34
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• 1983

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.267-267
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• 2012

최근 국내 반도체 장비 업체들에 의해서 차세대 반도체용 450 mm 웨이퍼 공정용 장비 개발이 진행 중에 있다. 반도체 산업은 계속해서 반도체 칩의 크기를 작게 하고, 웨이퍼 크기를 늘리면서 웨이퍼 당 칩수를 증가시켜 생산성을 향상해오고 있다. 현재 300 mm 웨이퍼에서 450 mm 웨이퍼를 도입하게 되면, 생산성 뿐만 아니라 30%의 비용절감과 50%의 cycle-time 단축이 기대되고 있다. 장비에 대한 이해와 공정에 대한 해석 능력을 위해 비용과 시간이 많이 들기 때문에 최근 컴퓨터를 활용한 수치 모델링이 진행되고 있다. 또한, 수치 모델링은 실험 결과와의 비교가 필수적이다. 본 연구에서는 450 mm 웨이퍼 공정용 장비의 전자밀도를 cut off probe를 통해 100 mTorr에 서 Ar 플라즈마를 파워에 따라 측정했다. 13.56 MHz 200 W, 500 W, 1,000 W로 입력 파워가 증가하면서 웨이퍼 중심에서 $6.0{\times}10^9#/cm^3$, $1.35{\times}10^{10}#/cm^3$, $2.4{\times}10^{10}#/cm^3$로 증가했다. 450 mm 웨이퍼 영역에서 전자 밀도의 불균일도는 각각 10.31%, 3.24%, 4.81% 였다. 또한, 이 450 mm 웨이퍼용 CCP 장비를 축대칭 2차원으로 형상화하고, 전극에 13.56 MHz를 직렬로 연결된 blocking capacitor ($1{\times}10^{-6}$ F/$m^2$)를 통해 인가할 수 있도록 상용 유체 모델 소프트웨어(CFD-ACE+, EXI corp)를 이용하여 계산하였다. 주요 전자-중성 충돌 반응으로 momentum transfer, ionization, excitation, two-step ionization을 고려했고, $Ar^+$와 $Ar^*$의 표면 재결합 반응은 sticking coefficient를 1로 가정했다. CFD-ACE+의 CCP 모델을 통해 Poisson 방정식을 풀어서 sheath와 wave effect를 고려하였다. Stochastic heating을 고려하지 않았을 때, 플라즈마 흡수 파워가 80 W, 160 W, 240 W에서 실험 투입 전력 200 W, 500 W, 1,000 W일 때와 유사한 반경 방향의 플라즈마 밀도 분포를 보였다. 200 W, 500 W, 1,000 W일 때의 전자밀도 분포는 수치 모델링과 전 범위에서 각각 10%, 3%, 2%의 오차를 보였다. 450 mm의 전극에 13.56 MHz의 전력을 인가할 때, 파워가 증가할수록 전자밀도의 최대값의 위치가 웨이퍼 edge에서 중심으로 이동하고 있음을 실험과 모델링을 통해 확인할 수 있었다.

• 임산에너지
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• 제17권1호
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• pp.23-29
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• 1998

중국 백두산 북부지역 소나무천연림을 대상으로 임분의 biomass를 추정하기 위하여 5개 등급 밀도별로 각각 7본씩 표본목을 선정하여 벌도한 후 4개의 상대생장식(W=aDb, W=a(D2H)b, logW=a b·logD＋cD, logW=a＋b·log(D2H)＋c(D2H)을 이용하여 부위별로 biomass 추정식을 유도하였다. 밀도가 다른 임분에서 부위별로 적합한 biomass 추정식 유형이 다르게 나타났는데 줄기, 수피 및 지상부 전체 biomass량을 추정하는 경우, logW=a＋b·log(D2H)＋c(D2H)식이 결정계수는 높고 상대오차 추정치는 낮게 나타나 적합도가 높았다. 가지, 잎 biomass량 및 엽면적의 경우는 logW=a＋b·logD＋cD식이 상관계수가 높고 상대오차 추정치는 낮게 나타나 적합하였다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제46권9호
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• pp.33-38
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• 2009

그룹 CSD 곱셈기는 프로그래머블 곱셈기에 사용되는 곱셈계수의 종류가 미리 정해져있고, 곱셈계수의 수가 많지 않은 FFT와 같은 응용에 효율적으로 사용하기 위해 최근 제안된 곱셈기이다. FFT를 비롯한 많은 DSP 응용의 VLSI 구현에서는 W비트 입력과 W비트 계수와의 곱셈 시 (2W-1)비트로 늘어나는 곱셈 출력 중 일부 비트만을 취하여 다음 연산에 사용한다. 본 논문에서는 워드길이가 W비트인 입력으로부터 W비트를 출력하는 고정길이 그룹 CSD 곱셈기 설계 방법을 제안한다. 양자화 오차를 효율적으로 보상하기 위해 그룹 CSD 곱셈기의 인코딩 신호를 이용하여 에러보상 바이어스를 생성한다. Synopsys 시뮬레이션을 통해 제안된 고정길이 그룹 CSD 곱셈기는 기존의 고정길이 modified Booth 곱셈기와 비교하여 전력소모에서 최대 84%, 면적에서 최대 79%까지 감소시킬 수 있음을 보인다.

• 천문학회지
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• 제27권1호
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• pp.81-102
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• 1994

We have decomposed the 11-cm radio continuum emission of the W51 complex into thermal and non-thermal components. The distribution of the thermal emission has been determined by analyzing HI, CO, and IRAS $60-{\mu}m$ data. We have found a good correlation between the 11-cm thermal continuum and the 60- 11m emissions, which is used to obtain the thermal and non-thermal 11-cm continuum maps of the W51 complex. Most of the thermal continuum is emanating from the compact H II regions and their low-density ionized envelopes in W51A and W51B. All the H II regions, except G49.1-0.4 in W51B, have associated molecular clumps. The thermal radio continuum fluxes of the compact H II regions are proportional to the CO fluxes of molecular clumps. This is consistent with the previous results that the total mass of stars in an H II region is proportional to the mass of the associated molecular clump. According to our result, there are three non-thermal continuum sources in W51: G49.4-0.4 in W51A, a weak source close to G49.2-0.3 in W51B, and the shell source W51C. The non-thermal flux of G49.5-0.4 at 11-cm is $\~28 Jy$, which is $\~25\%$ of its total 11-cm flux. The radio continuum spectrum between 0.15 and 300 GHz also suggests an excess emission over thermal free-free emission. We show that the excess emission can be described as a non-thermal emission with a spectral index ${\alpha}{\simeq}-1.0 (S_v{\propto}V^a)$ attenuated by thermal free-free absorptions at low-frequencies. The non-thermal source close to G49.2-0.3 is weak $(\~9 Jy)$. The nature of the source is not known and the reality of the non-thermal emission needs to be confirmed. The non~thermal shell source W51C has a 11-cm flux of $\~130Jy$ and a spectral index ${\alpha}{\simeq}-0.26$.

• 미생물학회지
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• 제49권3호
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• pp.286-291
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• 2013

한국인의 저염 섭취 필요성에 부응하기 위해 14% (w/w) 염도의 된장 대신 8% (w/w) 저염 된장을 제조하였다. 숙성 후 8% 저염 된장 시료들은 14% 염 된장과 달리 모두 산막을 형성하였고, 이 산막 형성균들을 동정한 결과 8종 모두 효모인 Pichia kudriavzevii에 속하였다. 장류 고유한 풍미를 유지하기 위해 발효 특성이 우수한 11종의 Bacillus 균들을 전통 장류에서 분리했고, 이들의 생화학적 특성 및 16S rRNA 염기 서열 분석 결과 B. subtilis, B. licheniformis, B. methylotrophicus로 동정되었다. 이 균주들은 8종의 산막 효모에 대해 증식 억제 능력을 보였으며, 항균 계면활성제인 lichenysin 또는 surfactin 유전자들을 함유하고 있었다.

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• 제21권1호
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• pp.300-310
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• 1996

Recently, there have been attempts to obstruct the dentinal tubules and remove the smear layer by way of laser irradiation in the root canal during endodontic treatment. This treatment was designed to make the root canal to be nonporous. Using 33 extracted single rooted teeth, 30 teeth were divided into 3 groups (10 each), and 3 teeth were used as samples for SEM. Using Nd : YAG laser, the control group was not irradiated, experimental group l(1W group) was irradiated with 1W, 15pps, 15sec., 3 times, 6.7mJ and experimental group 2(3W group) was irradiated with 3W, 15pps, 15sec., 3 times 20mJ. Thereafter the roots were immersed in methylene blue for 8 hours, and the dye infiltration pattern was observed under stereomicroscope and canal wall surface change was observed under SEM. The results are as following ; 1. As a result of evaluating the dye infiltration rate of the apical and middle 1/3, there was significant difference between control group and 1W group, control group and 3W group and there was no significant difference between 1 W group and 3W group. 2. In each group, as a result of comparing the dye infiltration rate of the apical and middle 1/3, there was no significant difference in control and 1W group but significant difference in 3W group. 3. In the control group smear layer was scarecely found and many dentinal tubules were found to be open. 4. In the 1W group, the number of dentinal tubules were decreased and gradual changes of the dentin surface could be seen and 3W group, almost no dentinal tubules could be found and the dentin surface was changed a little more and showed signs of partial fusion.