• 제목/요약/키워드: two Lorentz oscillators

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분광타원법을 이용한 PDP용 ITO 박막의 패턴 분석 (Analysis of patterned ITO layer of PDP thin films using spectroscopic ellipsometry)

  • 윤희삼;김상열
    • 한국광학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.272-278
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    • 2003

  • 분광타원법을 이용하여 PDP용 ITO박막의 광학상수 및 패턴을 분석하였다. ITO 박막의 광물성은 로렌쯔 진동자 모델을 사용하고 ITO의 패턴에 의한 효과는 전체빔이 ITO와 유리기층을 덮는 면적비 가중치를 가진 반사율 평균방법으로 반영시켰다. PDP 다층박막을 구성하고 있는 유리기층 위의 ITO박막 패턴이 타원데이터에 미치는 영향을 분석하여 ITO가 패턴에서 차지하는 면적비를 결정하였다. 측정된 분광타원데이터에 최적맞춤한 ITO의 상대면적값이 예측값과 보이는 차이를 검토함으로써 분광타원법을 사용한 ITO패턴분석의 한계와 이를 극복하는 방법을 제시하였다.

  • https://doi.org/10.3807/KJOP.2003.14.3.272 인용 PDF KSCI