본 논문에서는 마이크로스트립 라인 전압제어 가변 대역통과필터를 제안한다. 박막 강유전체의 상대 유전율은 인가 전압에 따라 변하는 특성을 이용하였고, Au/BSTO/MgO/Au 구조로 설계하였다. 커플링 수가 3개인 공진기를 연결하여 공진기 사이의 간격을 잘 조절한 격과, 중심 주파수 16 GHz 에서 1.9 GHz의 튜닝 범위, 800MHz 내의 좁은 대역폭, 3dB 이내의 작은 삽입손실을 갖는 필터를 설계할 수 있었다.
본 연구에서는 유체를 유전체 재료로 사용하는 가변 커패시터를 시연하고, 자기 공명 현미경(MRM)의 코일에 적용 가능성을 알아보려고 하였다. 전극으로 이루어진 커패시터 구조는 마이크로 유체 채널과 통합하여 제작되었고, 커패시턴스는 채널 내의 유체 충전율을 변화시키면서 측정되었다. DI water와 미네랄 오일을 사용하여 측정된 커패시턴스는 1.7 pF에서 12 pF, 그리고 1.7 pF에서 2 pF으로 변하였고, 유체의 유전율에 따라 커패시턴스의 변화를 확인하였다.
In this study, tunable dielectric materials are important for resonator, variable capacitor, phased array antenna and other devices application. In this paper, Dielectric constant increased and tuning range increased with the increased of $BaSrTiO_3/Li_{2}CO_{3}$ content, which probably can be explained by the substitution of Ba3+, Li1+ on BaTiO3 lattice. The tunability and dielectric loss of the $BaSrTiO_2/Li_{2}CO_{3}$ thick film, sintered at $1150^{\circ}C$, were about 43 % and 0.234 at 10$\sim$15 MHz, respectively. In case of BaSrTi/MgO, Dielectric constant decreased and tenability increased with the added of $BaSrTiO_3/MgO$. The ferroelectrics properties were distinct when adding Li to BST ceramic thick film, and paraelectrics pattern was distinct when adding Mg.
In this paper, Effect of $BaSrTiO_3/Li_2CO_3$ on low temperature sintering and dielectric property of thick films has been investigated for variable capacitor on high frequency. The thick films were fabricated by the tape casting and then the structural and dielectric properties as a function of an addition composition ratio and sintering temperature were studied. For the thick film sintered at $1050^{\circ}C$, it was densified to 96% of $BaSrTiO_3$ theoretical density by the addition of 10 $wt{\cdot}%$$BaSrTiO_3/Li_2CO_3$. Dielectric constant increased and Curie temperature lowered with the increased of $BaSrTiO_3/Li_2CO_3$ content, which probably can be explained by the substitution of $Ba^{3+},Li^{1+}$ on $RaTiO_3$ lattice. The tunability and dielectric loss of the $BaSrTiO_3/Li_2CO_3$ thick film, sintered at $1350^{\circ}C$, were about 26% and 0.234 at $10{\sim}15MHz$, respectively.
(Pb,Sr)TiO3 (PST) thin films were fabricated by using the alkoxide-based sol-gel method. The PST stock solution was made and then spin-coated onto a PUTi/SiO2/Si substrate. The coating and drying procedures were repeated several times, and the PST thin films were sintered at 450-650 C for 1 h. All PST thin films showed dense and homogeneous structures without the presence of any rosette structure. The thicknesses of the PST thin films were approximately 200 nm. The dielectric constant and the dielectric loss of the PST thin films sintered at 550 C were about 404 and 0.0023, respectively. The leakage current density of the PST thin film sintered at 550 C was 3.13 x 10-8 A/cm2 at 1 V.
[ $(BaSr)TiO_3$ ] thick films were prepared by tape casting method, using $BaTiO_3\;and\;SrTiO_3$ powder slurry in order to investigate dielectric properties i.e. dielectric constant, ${\varepsilon}_r$, Curie temperature, $T_c$. Grain growth within $(BaSr)TiO_3$ thick films was observed with increasing weight ratio of $BaTiO_3$. This observation can be explained by phenomena of substitution of $Sr^{2+}$ ion for $Bi^{2+}$ ion in the $BaTiO_3$ system. Also, the Curie temperature in $(BaSr)TiO_3$ thick films was shifted to lower temperature range with increasing $ SrTiO_3$. Furthermore, Curie temperature having maximum dielectric constant was in the range of $-40^{\circ}C\;to\;30^{\circ}C$, and hence sharper phase transformation occurred at Curie temperature. There occurred decrease in tunability and k-factor of $(Ba_{0.6}Sr_{0.4})TiO_3$ calculated from the dielectric constant, ${\varepsilon}_r$ above Curie temperature. In addition, above the $60^{\circ}C$, phase fixation was observed. This means that internal stress relief occurred with increasing $90^{\circ}$ domains.
본 논문에서는 CFB 구조에 기반한 마이크로스트립 라인을 이용하여 커플링 개수가 3개인 가변 대역통과 필터를 제안한다. 바이어스 전압을 증가시키면 강유전체의 실효 유전율($\varepsilon$eff)이 감소하고, 감소된 실효 유전율은 중심 주파수를 높은 값으로 이동시킨다 설계된 필터는 $\varepsilon$eff이 13~10에 걸쳐, 반사 손실이 10 dB 이상, 삽입손실이 3.5 dB 이하, 3-dB 대역폭이 1.18 GHz 이하, 중심 주파수는 25.4 GHz에서 28.8 GHz까지 이동하므로 가변성은 3.4 GHz에 달하는 특성을 보인다. 필터의 크기는 7.0 mm ${\times}$ 5.0 mm ${\times}$ 0.5 mm이다.
Surface plasmon resonance is the enhancement of electromagnetic wave caused by oscillation on the metal and dielectric interfaces. Surface plasmons with nanohole arrays provides an enhancedresonance for the specific wavelengths of interests. Asymmetric array of nanoscale structures can enable orientation dependent shift of resonance wavelengths when combined with the control of polarization for incident visible light, thus providing color tunability. Appropriate lattice constants along the direction of polarization in rectangular nanohole arrays can determine the resonance condition generating red (R), green (G), and blue (B) colors and potentially be applied to display applications. In ourprevious report, we have optimized the ion beam nanomachining conditions to fabricate the nanostructures on the metal film. We apply the fabrication conditions to make nanoscale hole arrays using 100 nm thick gold layer on the glass substrate with the optimal design of periodicities along x, y, and diagonal directions of a=440 nm, b=520 nm, c=682 nm, and the hole diameter of d=200 nm. Using the reflective light in dark field mode of optical microscope, we can observe different colors. When the polarizer is paralleled along a, b, or c direction, the represented color is changed to R, G, and B, respectively. We further map the color using i1 to correlate the conditions of the nanohole arrays with their characteristic color.
Resonant frequency tuning of micro devices is essential to achieve performance uniformity and high sensitivity. Previously reported frequency tuning methods using electrostatic force or mass deposition are not directly applicable to non-conducting polymer devices and have limitations such as dielectric breakdown or low tunable bandwidth. In this paper, thermally frequency-tunable microactuators with poly-dimethylsiloxane membranes are proposed. Permanent and/or nonpermanent frequency tunings are possible using a simple temperature control of the device. Resonant frequency and Q-factor variations of devices according to temperature change were studied using a micro heater and laser Doppler vibrometer. The initial resonant frequencies determined by polymer curing and hardening temperatures are reversibly tuned by thermal cycles. The measured resonant frequency of 9.7 kHz was tuned up by ${\sim}25%$ and Q-factor was increased from 14.5 to 27 as the micro heater voltage increased from 0 to 70 V.
금으로 된 금속선 광 도파로를 따라 속박되는 장거리 표면 플라즈몬을 이용하여 파장 가변 필터를 설계하고 제작하였다. 실리콘 기판 위에 제작된 금속선 도파로는 두 층의 열광학 폴리머 사이에 샌드위치 구조로 끼어 있도록 설계되었다. 도파로의 바로 윗면에는 유전체로 된 Bragg 회절격자가 적합한 주기로 제작되어, 중심 파장이 광통신 파장대 (1520$\sim$1570 nm)에 있으면서 높은 소광률($\sim$25 dB)을 갖는 파의 반사가 가능했고, 전체손실은 25 dB/cm 이하로 나타났다. 또한, 제작된 파장 가변 필터가 폴리머의 열-광학적 특성에 의해 파장가변 필터 소자로서의 응용이 가능함을 확인했으며, 금속선 광 도파로에 직접 연결된 전극 구조에 동시에 가해준 전류에 의해 파장이 가변 될 수 있음을 실험적으로 확인하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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