MOCVD growth of $RuO_{2}$ thin films on Si(001) substrates using(${\eta}^{6}$ -benzene)(${\eta}^{4}$ -1,3-cyclohexa diene)Ru
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회 초록집
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- pp.143-143
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- 2003