Crystallographic Properties of ZnO/AZO thin Film Prepared by FTS method
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금민종
(경원대학교 전기정보공학과)
강태영 (경원대학교 전기정보공학과) 최형욱 (경원대학교 전기정보공학과) 박용서 (경원대학교 전기정보공학과) 김경환 (경원대학교 전기정보공학과) |
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RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구
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ZnO processing for integrated optic sensors
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RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 SAW 필터용 ZnO 압전 박막에 관한 연구
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DOI ScienceOn |
4 |
Film bulk acoustic wave resonator and filter technology
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FBAR용 ZnO/Si O₂/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
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DOI ScienceOn |
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Thin Film properties by facing targets sputtering system
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대향타겟식 스퍼터링에 의한Co-Cr 박막의 제작
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대향타겟식 스퍼터링에 의한 AZO(ZnO:Al) 박막의 제작
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DOI ScienceOn |
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