저온에서 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막의 UV를 이용한 RTP에 관한 연구
(Low temperature UV-assisted rapid thermal processing of (Ba,Sr)$TiO_3$ thin films)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- pp.234-234
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- 2008