Initil ALD reactions of $HfO_2$ on Si(001) surface by in-situ synchrotron radiation photoelectron spectroscopy
-
- 한국진공학회:학술대회논문집
- /
- 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
- /
- pp.65-65
- /
- 2006