Study on the Shift in the P-E Hysteresis Curve and the Fatigue Behavior of the PZT Capacitors Fabricated by Reactive Sputtering (반응성 스퍼터링법으로 형성시킨 PZT 커패시티의 P-E 이력곡선의 이동현상 및 피로 특성 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.18 no.11
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- pp.983-989
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- 2005