Response and Modal Analyses of Micro Double Cantilever Beams Interacted by Electrostatic Force (정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2004.11a
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- pp.656-661
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- 2004