Development of Space Divided PE-ALD System and Process Design for Gap-Fill Process in Advanced Memory Devices (차세대 메모리 디바이스Gap-Fill 공정 위한 공간 분할 PE-ALD개발 및 공정 설계)
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- Journal of the Korean institute of surface engineering
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- v.53 no.3
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- pp.124-129
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- 2020