Influence of Nitrogen Pressure on the Properties of Lithium Phosphorous Oxynitride (LiPON) Thin Film Solid Electrolyte during Reactive Sputtering (반응성 스퍼터링 시 Lithium Phosphorous Oxynitride (LiPON) 박막 고체전해질의 특성에 미치는 질소 압력의 영향)
-
- 한국전기화학회:학술대회논문집
- /
- 2005.04a
- /
- pp.21-21
- /
- 2005