Applications of soft X-ray which corresponds to the wavelength of the order of 1 nm and to the photon energy of the order of 1 key respectively, requires intense sources. Only synchrotron sources were available recently. The development of a new laboratory-sized source of soft X-ray radiation is required for wide applications. This paper introduces the generation of soft X-ray using laser-induced plasma.
The spreading tube of X-ray cathode tube displayed with an electromagnetic finite element method was designed. To analyze a feature design and the concrete coordinate performance of soft X-ray tube modeling, the orbit of electron beam was simulated by OPERA-3D SW program. The fixed conditions were the applied voltage, the temperature, the work function of thermal electron between cathode and anode of tungsten. Through the analysis of distribution of electron beam and the variation of dividing region, the design of soft X-ray spreading tube equipped with two cross filaments was optimized.
We performed the cross-correlation analysis on energy-dependent light curves of the Z-type source GX 5-1. We observed X-ray delays of a few hundred seconds between hard (16-30 keV) and soft (2-5 keV) X-ray light curves. During these phenomena, the centroid frequency of horizontal branch oscillation (HBO) was found to shift to lower or higher frequency indicating towards the dynamical movement of a Compton cloud or an inner disk front. Both eastern and western approaches were used to unfold the X-ray continuum and systematic changes were observed in soft and hard X-ray spectral components. Simultaneous energy spectral and power density spectral study shows that the production of HBOs is closely related to the Comptonizing region rather than the accretion disk. We discuss the results in the context of re-condensation of coronal material in the inner accretion disk region.
This article introduces the basic concepts of various soft X-ray spectroscopies in the study of surface and interface electronic structures. Especially, recent results of X-ray photoelectron spectroscopy experiments on organic/inorganic thin films and a lead-free solder alloys will be discussed. Soft X-ray spectroscopies to understand the chemical and electrical properties would be of broad interest in the vacuum science communities.
We review recent systematic investigation of the X-ray spectra of early type galaxies by using the Einstein data base and present new results by the ROSAT observations. The Einstein data suggested that the galaxies with low X-ray to optical luminosity ratio may have another very soft component. ROSAT observations confirm its presence and call for further study to understand the nature of this very soft emission. The X-ray bright galaxies have emission temperature of ${\sim}\;0.8\;keV$ and show radial gradients in the sense that X-ray emission is softer and more absorbed in the inner region.
We observed that static electricity has an influence on the etching unformity of dry etching process. When the static electricity was applied from-200[V]to-1000[V] on glass substrates, the etching rate uniformity was changed to 1.5%-15%. In this experiment, the soft X-ray to neutralize static electricity was adopted as ore of neutralization methods. As an experimental result, soft X-ray irradiation improved neutralization capability on the surface of LCD glass substrate within the short time, about 15-30sec. The difference of etching rate uniformity was below 0.5%.
We describe the design of a soft X-ray grating monochromator for synchrotron radiation in the photon energy range 300~1200eV. We investigate the optimum condition in optical parameters of CEM (cylindrical element monochromator), whose performance is well known by Dragon beam line installed recently at Brookhaven National Laboratory by C. T. Chen, fitting the parameter of PLS (Pohang Light Source) storage ring construction.
In recent emerging industry, Display field becomes bigger and bigger, and also semiconductor technology becomes high density integration. In Flat Panel Display, there is an issue that electrostatic phenomenon results in fine dust adsorption as electrostatic capacity increases due to bigger size. Destruction of high integrated circuit and pattern deterioration occur in semiconductor and this causes the problem of weakening of thermal resistance. In order to solve this sort of electrostatic failure in this process, Soft X-ray ionizer is mainly used. Soft X-ray Ionizer does not only generate electrical noise and minute particle but also is efficient to remove electrostatic as it has a wide range of ionization. X-ray Generating efficiency has an effect on soft X-ray Ionizer affects neutralizing performance. There exist variable factors such as type of anode, thickness, tube voltage etc., and it takes a lot of time and financial resource to find optimal performance by manufacturing with actual X-ray tube source. MCNPX (Monte Carlo N-Particle Extended) is used for simulation to solve this kind of problem, and optimum efficiency of X-ray generation is anticipated. In this study, X-ray generation efficiency was measured according to target material thickness using MCNPX under the conditions that tube voltage is 5 keV, 10 keV, 15 keV and the target Material is Tungsten(W), Gold(Au), Silver(Ag). At the result, Gold(Au) shows optimum efficiency. In Tube voltage 5 keV, optimal target thickness is $0.05{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $2.22{\times}10^8$ x-ray flux. In Tube voltage 10 keV, optimal target Thickness is $0.18{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $1.97{\times}10^9$ x-ray flux. In Tube voltage 15 keV, optimal target Thickness is $0.29{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $4.59{\times}10^9$ x-ray flux.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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