불순물 확산을 동시에 수행하는 수정된 직접접합방법으로 제작된 pn 접합 실리콘소자의 특성 (Characterization of Silicon Structures with pn-junctions Fabricated by Modified Direct Bonding Technique with Simultaneous Dopant Diffusion)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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- pp.828-831
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- 2001