• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.68-68
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• 2011

As feature size is smaller, new technology are needed in semiconductor factory such as gap-fill technology for sub 100nm, development of ALD equipment for Cu barrier/seed, oxide trench etcher technology for 25 nm and beyond, development of high throughput Cu CMP equipment for 30nm and development of poly etcher for 25 nm and so on. We are focus on gap-fill technology for sub-30nm. There are many problems, which are leaning, over-hang, void, micro-pore, delaminate, thickness limitation, squeeze-in, squeeze-out and thinning phenomenon in sub-30 nm gap fill. New gap-fill processes, which are viscous oxide-SOD (spin on dielectric), O3-TEOS, NF3 Based HDP and Flowable oxide have been attempting to overcome these problems. Some groups investigated SOD process. Because gap-fill performance of SOD is best and process parameter is simple. Nevertheless these advantages, SOD processes have some problems. First, material cost is high. Second, density of SOD is too low. Therefore annealing and curing process certainly necessary to get hard density film. On the other hand, film density by Flowable oxide process is higher than film density by SOD process. Therefore, we are focus on Flowable oxide. In this work, dielectric film were deposited by PECVD with TSA(Trisilylamine - N(SiH3)3) and NH3. To get flow-ability, the effect of plasma treatment was investigated as function of O2 plasma power. QMS (quadruple mass spectrometry) and FTIR was used to analysis mechanism. Gap-filling performance and flow ability was confirmed by various patterns.

• 한국작물학회지
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• 제48권5호
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• pp.361-368
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• 2003

The responses of five varieties and three cultivars of pea (Pisum sativum) to Rhizobium inoculation on nodulation, growth, nitrogenase activity, dry matter production and N uptake were investigated. The pea varieties were IPSA Motorshuti-l, IPSA Motorshuti-2, IPSA Motorshuti-3, BARI Motorshuti-l, BARI Motorshuti-2 and the cultivars were 063, Local small and Local white. Fifty percent seeds of each pea variety/cultivar were inoculated with a mixture of Rhizobium inoculants at rate of 15g/kg seed and the remaining fifty percent seeds were kept uninoculated. The plants inoculated with Rhizobium inoculant significantly increased nodulation, growth, nitrogenase activity, dry matter production and N uptake. Among the varieties/cultivars, BARI Motorshuti-l performed best in almost all parameters including nitrogenase activity of root nodule bacteria of the crop. There were positive correlations among the number and dry weight of nodules (r=$0.987^{**}$, $0.909^{**}$), nitrogenase activity of root nodule bacteria (r=$0.944^{**}$, $0.882^{**}$), dry weight of shoot (r=$0.787^{**}$, $0.952^{**}$), N content (r=$0.594^{**}$, $0.605^{**}$) and N uptake (r=$0.784^{**}$, $0.922^{**}$) by shoot both at flowering and pod filling stages of the crop, respectively. It was concluded that BARI Motorshuti-l in symbiotic association with Rhizobium inoculant performed best in recording nitrogenase activity, dry matter production and N uptake by pea.

• 한국작물학회지
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• 제41권4호
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• pp.434-440
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• 1996

수발아가 벼의 품질 및 정현 비율 감소에 미치는 영향, 수발아성의 품종간 차이 및 왕겨로부터 발아 억제물질을 추출하여 수발아 방제를 위한 기초자료를 얻고자 실시한 결과는 다음과 같다. 1. 현미중은 무처리에 비하여 수발아 처리일수가 길어질수록 감소되는 경향으로 6일 처리시 약 20% 감소되었다. 2. 수발아 처리일수에 따른 완전립 비율은 무처리가 99.5%인데 반해 6일 처리시 41.3%로 현저히 저하되었다. 3. 인디카품종은 대부분 난수발아성이었으나 자포니카(9.2∼79.7%) 및 통일형 품종(2.1∼63.7%)은 품종간 차이가 현저히 나타났다. 4. 난수발아성인 IR36, 신운봉벼 및 중원벼의 왕겨를 메탄올을 이용하여 추출한 물질이 발아억제에 효과가 있었다.

• 한국작물학회지
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• 제63권3호
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• pp.205-209
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• 2018

본 실험은 새미면의 영남지역 지역별 최대 수량 생산을 위한 최적 이앙기를 설정하기 위해 2015~2017년 까지 3년간 밀양에서 실시하였다. 1. 밀양지역에서 최대수량 생산을 위한 새미면의 최적 이앙기는 5월 17일~31일로 이때 쌀수량은 750 kg/10a정도였다. 2. 새미면의 최적 등숙기 평균기온은 출수 후 40일 평균기온을 기준으로 $24^{\circ}C$ 내외였다. 3. 밀양에서 등숙기 평균기온이 $24^{\circ}C$ 내외인 이앙기는 5월 17일~24일로 등숙기 평균기온은 $23.8{\sim}24.5^{\circ}C$였다. 4. 등숙기 평균기온 $23.8{\sim}24.5^{\circ}C$를 기준으로 추정한 지역별 최적 이앙시기는 대구 5월 24일~31일, 구미 5월 11일~21일, 밀양 5월 21일~28일, 진주 5월 14일~22일 등 이었다. 5. 새미면은 일반적으로 알려진 통일형벼의 최적 등숙기온 $25^{\circ}C$ 보다 $1^{\circ}C$ 낮은 $24^{\circ}C$ 정도가 최적 등숙기온으로 통일형벼 중에서 비교적 낮은 온도에도 안전하게 재배할 수 있는 품종이었다. 또한 수량성이 다른 통일형벼에 비해 높아 통일형벼의 재배한계 지역을 더 넓힐 수 있는 품종으로 사료된다.

• 한국작물학회지
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• 제64권2호
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• pp.63-69
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• 2019

본 실험은 흑미 품종14종을 이용하여 남부지방에서 현미수량과 안토시아닌 함량을 동시에 고려한 적정 이앙시기 및 등숙온도(출수 후 30일간 평균온도)를 구명하기 위해 2014년~2017년 까지 4년간 밀양에서 실시하였다. 1. 최대 현미수량을 얻기 위한 흑미의 적정 이앙시기는 조생종의 경우 6월 20일, 중생종과 중만생종의 경우 6월 5일~6월 20일 사이였으며 적정 등숙온도는 $24{\sim}26^{\circ}C$였다. 2. 흑미의 기능성 성분인 안토시아닌은 이앙시기가 늦어짐에 따라 그 함량이 증가하여 모든 흑미 품종에서 6월 30일에 이앙하였을 때 가장 높았으며 안토시아닌 함량이 높은 고품질 흑미 생산을 위한 적정 등숙온도는 $22{\sim}23^{\circ}C$였다. 3. 현미수량과 안토시아닌 함량을 동시에 고려한 안토시아닌 생산량은 이앙기 6월 30일, 등숙온도 $22{\sim}23^{\circ}C$에서 가장 높았다.

• 한국작물학회:학술대회논문집
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• 한국작물학회 2017년도 9th Asian Crop Science Association conference
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• pp.317-317
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• 2017

We performed this experiment to select high quality rice adapted to wheat-rice double cropping system. We sowed barley and wheat seed in November 2, 2015. After harvesting barley and wheat, we transplanted high quality rice cultivars: 'Unkwang', 'Hopun', 'Haepum', 'Hyunoum' in June 17 and 24. We used 'sindongjin' rice as a control. As a result, 'Hyunpum' had a highest head rice yield regardless of transplanting date. Head rice yield of 'Hyunpum' was 488.1kg/10a when transplanted in June 17, and 453.6kg/10a when transplanted in June 24. The reason for this highest head rice yield was not percentage of head rice but milled rice yield. Milled rice yield of 'Hyunpum' was 526.5kg/10a when transplanted in June 17, and 490.0kg/10a when transplanted in June 24. Percentage of head rice had little differences between rice cultivars. Among yield components, only number of panicle per $m^2$ had an effect on the differences of yield between rice cultivars. The other yield components didn't have an effect on the differences of yield between rice cultivars. Compared to June 17, only 'Unkwang' had higher head rice percentage and head rice yield in June 24. Head rice percentage of 'Unkwang' changed from 67.3% to 85.0% and head rice yield changed from 324kg/10a to 393.8kg/10a when transplanting date delayed from June 17 to June 24. When transplanting date was delayed, heading date of 'Unkwang' was more delayed than other rice cultivars. By delay of heading date, mean temperature for 40days changed from $25.0^{\circ}C$ to $22.9^{\circ}C$ which improved temperature condition during grain filling stage. This improved head rice percentage and head rice yield of 'Unkwang' transplanted in June 24. If transplanting date is more delayed than June 24, 'Unkwang' could have higher head rice percentage and head rice yield. Therefore, if you transplant rice before June 24 in rice-wheat double cropping system, 'Hyunpum' is recommended as adequate rice cultivar. But if you transplant rice after June 24, further research is needed to find out adequate rice cultivar.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제16권3호
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• pp.19-24
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• 2009

3차원 패키지용 고종횡비 TSV(through-Si via)를 이용한 배선 공정에서 via 충진을 위한 대표적인 방법중의 하나가 via 내부에 $SiO_2$ 절연막을 형성한 다음 Sputtering법으로 접착/확산방지막 및 씨앗층을 형성하고 전해도금법으로 Cu를 충진하는 방법이다. 본 연구에서는 Cu 박막과 $SiO_2$ 절연막 사이에 reactive sputtering법으로 증착한 $TaN_x$ 박막의 조성에 따른 접착특성 및 확산방지막특성을 연구하였다. $TaN_x$ 박막의 질소함량에 따른 Cu 박막과 $SiO_2$ 절연막사이의 접착력을 $180^{\circ}$ peel test와 topple test를 이용하여 정량적으로 측정하였다. $TaN_x$ 박막 내 질소함량이 증가함에 따라 접착력은 더욱 증가하였는데, 이는 질소함량이 증가함에 따라 $TaN_x$ 박막과 $SiO_2$ 절연막사이의 계면에서 계면반응물의 생성이 증가하였기 때문으로 해석된다. 고온에서 열처리를 통하여 Cu에 대한 확산방지막으로서의 특성을 조사한 결과, $TaN_x$ 박막은 Ta 박막에 비하여 우수한 Cu에 대한 확산방지 특성을 보였으며 N/Ta성분비 1.4까지는 $TaN_x$ 박막내 질소함량의 증가에 따라 확산방지특성도 향상되었다.

• 한국작물학회:학술대회논문집
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• 한국작물학회 2004년도 춘계 학술대회지
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• pp.12-27
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• 2004

Thanks to spectacular advances in the techniques for identifying proteins separated by two-dimensional electrophoresis and in methods for large-scale analysis of proteome variations, proteomics is becoming an essential methodology in various fields of plant sciences. Plant proteomics would be most useful when combined with other functional genomics tools and approaches. A combination of microarray and proteomics analysis will indicate whether gene regulation is controlled at the level of transcription or translation and protein accumulation. In this review, we described the catalogues of the rice proteome which were constructed in our program, and functional characterization of some of these proteins was discussed. Mass-spectrometry is a most prevalent technique to identify rapidly a large of proteins in proteome analysis. However, the conventional Western blotting/sequencing technique us still used in many laboratories. As a first step to efficiently construct protein data-file in proteome analysis of major cereals, we have analyzed the N-terminal sequences of 100 rice embryo proteins and 70 wheat spike proteins separated by two-dimensional electrophoresis. Edman degradation revealed the N-terminal peptide sequences of only 31 rice proteins and 47 wheat proteins, suggesting that the rest of separated protein spots are N-terminally blocked. To efficiently determine the internal sequence of blocked proteins, we have developed a modified Cleveland peptide mapping method. Using this above method, the internal sequences of all blocked rice proteins (i. e., 69 proteins) were determined. Among these 100 rice proteins, thirty were proteins for which homologous sequence in the rice genome database could be identified. However, the rest of the proteins lacked homologous proteins. This appears to be consistent with the fact that about 30% of total rice cDNA have been deposited in the database. Also, the major proteins involved in the growth and development of rice can be identified using the proteome approach. Some of these proteins, including a calcium-binding protein that fumed out to be calreticulin, gibberellin-binding protein, which is ribulose-1,5-bisphosphate carboxylase/oxygenase activate in rice, and leginsulin-binding protein in soybean have functions in the signal transduction pathway. Proteomics is well suited not only to determine interaction between pairs of proteins, but also to identify multisubunit complexes. Currently, a protein-protein interaction database for plant proteins (http://genome .c .kanazawa-u.ac.jp/Y2H)could be a very useful tool for the plant research community. Recently, we are separated proteins from grain filling and seed maturation in rice to perform ESI-Q-TOF/MS and MALDI-TOF/MS. This experiment shows a possibility to easily and rapidly identify a number of 2-DE separated proteins of rice by ESI-Q-TOF/MS and MALDI-TOF/MS. Therefore, the Information thus obtained from the plant proteome would be helpful in predicting the function of the unknown proteins and would be useful in the plant molecular breeding. Also, information from our study could provide a venue to plant breeder and molecular biologist to design their research strategies precisely.

• 한국작물학회지
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• 제57권4호
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• pp.424-429
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• 2012

본 연구는 콩에 함유된 아이소플라본 합성에 관여하는 요인 중 평균기온이 미치는 영향을 구명하고자 수행하였다. 시험품종은 생태형이 다른 일품검정콩, 청자콩, 흑청콩 3품종을 사용하였다. 파종은 5월 15일, 5월 30일 6월 15일 3시기에 재식밀도 $60{\times}15cm$로 하였다. 재배관리는 경기도 콩 표준재배법에 준하여 하였다. 아이소플라본 함량 분석은 개화기후 30일부터 5일 간격으로 수확기까지 채취하여 얻은 시료를 UPLC로 분석하여 얻은 결과는 다음과 같다. 1. 아이소플라본 함량은 시험품종 모두 파종기가 늦을수록 높았다. 2. 아이소플라본 함량은 품종과 파종기에 관계없이 genistein이 가장 높았고, 다음은 daidzein, glycitein 순이었는데, glycitein은 개화기 후 45~55일경 이후에는 뚜렷한 증가를 보이지 않았고, 등숙기간중 기온변화에 안정적이었다. 3. 아이소플라본 중 genistein 함량이 daidzein 함량보다 높아진 시기는 일품검정콩은 개화기 후 50~55일, 청자콩은 개화기 후 40~55일, 흑청콩은 개화기 후 60~65일이었다. 4. 등숙기간중 개화기 후 30일부터 5일 간격으로 평균기온과 아이소플라본 함량과의 관계를 분석한 결과, 일품검정콩에서 genistein은 y=-15.28x+407.9 ($R^2=0.505^*$), 청자콩에서 diadzein은 y=-6.188x-164.5($R^2=0.454^*$)로 유의한 상관관계를, genistein은 y=-11.59x+297.6($R^2=0.545^{**}$)으로 고도의 유의한 상과관계를 보였다. 5. 아이소플라본 함량이 높은 검정콩 생산이 적합한 지역은 등숙기간중 립비대기($R_5$)~생리적 성숙기($R_7$)의 평균기온이 상대적으로 낮은 경기북부지역과 강원도, 충청북도, 경상북도의 내륙지역과 고지대일 것으로 고찰되었다.

• 한국작물학회지
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• 제37권2호
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• pp.149-154
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• 1992

여름메밀 춘파재배기간의 기상조건과 재배방법이 종실수량성에 미치는 영향을 구명하기 위하여 1989～91년 4월중하순에 수원 작물시험장 전작포장에서 여름메밀 품종 신농001를 공시하여 파종기, 파종량, 파종방법, 피복방법, 제초방법 등을 달리하여 시험하였던바 다음과 같은 주요결과를 얻었다. 1. 1989～91년 4월～7월의 순별 초상 최저온도에서 특히 1990년 4월하순 -0.3$^{\circ}C$로 예년 7$^{\circ}C$에 비하여 매우 낮았으며 출아하는 메밀 식물체에 큰 피해를 주었다. 5월하순 초상최저온도도 7.3$^{\circ}C$로 예전 8.8$^{\circ}C$에 비하여 $1.5^{\circ}C$ 낮아 개아, 수정, 착립에 냉해를 주었다. 항수량과 상대습도에서는 특히 1990년 6월중하순에 374.5mm의 폭우가 쏟아져서 익어가는 메밀에 치명적인 피해를 주었다. 상대습도에 예년에 비하여 약 10% 높았으므로 등숙불량과 수발아를 유도하여 종실수량이 낮아졌다. 2. 1989년에는 파종량 8kg /10a 세조파 비닐피복재배구에서 종실수량 268～292kg /10a으로 가장 다수확되었으며 전시험구 평균 238kg /10a이었으나 1990년에는 수원 64.3kg /10a, 무안 40.2kg /10a이었다. 1991년 4월 15일 파종 비닐피복재배구의 종실수량 277kg /10a으로 가장 다수확되었으며 무피복재배에서는 4월 25일 파종구에서 255kg /10a이 생산되어 가장 다수확되었다. 3. 잡초를 방제하지 않은 방임구와 손제초구의 종실수량은 라쏘 살포구에 비하여 높았으므로 춘파재배 메밀재배에서는 제초제 사용에 의한 잡초방제는 필요하지 않았다. 4. 경운기 부착 세조파기를 사용하여 조파, 세조파하였을 때에 3.4～3.6시간 /ha이 소요되어 관행 인력산파 21.6시간 /ha에 비하여 83～84%의 파종소요시간을 단축할수 있었다. 종실수량도 2기작재배 364kg /10a으로 관행 인력산파에 비하여 9% 증수되었다.