• 한국생산제조학회지
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• 제24권4호
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• pp.400-406
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• 2015

This study researched the structure of the source of an ion milling machine used to fabricate a scanning electron microscope (SEM) sample. An ion source is used to mill out samples of over 1 mm dimension using a broad ion beam to generate plasma between the anode and cathode using a permanent magnet. To mill the sample in the vacuum chamber, the ion source should be greater than 6 kV for a positive ion current over $200{\mu}A$. To discover the optimum operating conditions for the ion miller, the diameter of the extractor, anode shape, and strength of the permanent magnet were varied in the experiments. A silicon wafer was used as the sample. The sputter yield was measured on the milled surface, which was analyzed using the SEM. The wafer was milled by injecting 1 sccm of argon gas into the 0.5 mTorr vacuum chamber.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.346-346
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• 2011

최근 들어 나노스케일에서의 자구체(magnetic domain)에 대한 연구가 매우 활발하게 진행되고 있다. 현재 국내에서 자성 나노구조에 대한 연구가 매우 활발하게 진행 되고 있는 반면에 나노자성이미지를 연구 할 수 있는 장비는 매우 미비한 상황이다. 이러한 자성 이미징을 연구하는데 있어 가장 핵심 적인 장비가 SEMPA(Scanning Electron Microscopy with Polarization Analysis)이다. 국내에서 자성나노구조의 자화와 형상을 동시에 측정 할 수 있는 장비는 한국표준과학연구원에서 개발된 W-filament source를 사용한 SEMPA가 유일하다. 일반적으로 SEM의 경우 고에너지 빔의 전자 빔을 주사 시키고 이때 발생되는 이차 전자의 수를 2차원상의 영역에 따라 달라지는 비로 형상을 측정 하게 된다. 이때 전자의 수 뿐만 아니라 이들의 spin polarization을 측정 할 수 있다면 형상뿐 만 아니라 표면에서의 스핀 상태를 동시에 측정할 수 있게 된다. 기개발된 W-filament source를 이용한 SEMPA는 field emission source에 비하여 전자빔의 세기가 약하며 이차 전자의 수도 적어 spin polarization 감도가 현저히 떨어진다. 또한 초고진공(1x10-10torr)에서 사용할 수 없어 측정시료의 contamination을 방지 할 수 없다. 이러한 문제점들을 보안하기 위하여 field emission source를 이용한 FE-SEMPA를 개발 중이다. 본 연구에서는 설계 및 전산시늉등의 연구결과와 진행사항을 발표하고자 한다. 아울러 W-filament를 사용한 SEMPA의 연구결과에 대한 논의를 할 예정이다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2003년도 학술회의 논문집 정보 및 제어부문 B
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• pp.612-615
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• 2003

In this paper, a design of radiation detector for gamma column scanner is introduced. Distillation column is important unit in Petro-chemical industries, and its on-line diagnose is very important. To get density profile measured by the radiation transmitted through column is well method for on-line diagnose as gamma scanning. For this purpose radiation detection circuit, radiation source and mechanical system for moving source and detector are required. Conventional radiation detection circuit for this application is sensitive to electric noise because of interface between the radiation circuit and the controller for mechanical system. The radiation detection system introduced here is using loop coil instead of slip ring to remove contact noise. Radiation detection system designed here for gamma scanning consist of BGO detector, high voltage circuit, PHA circuit and FSK modem. The BGO detector is used as radiation sensor, high voltage circuit and peak height analysis circuit is essential to process the signal generated from BGO detector. Micro controller convert measured data into ASCII data. FSK modem transmit ASCII data. Transmitted ASCH data is picked up in antenna coil and processed for combined function with mechanical system. This method gives good result by isolating the controlling circuit of mechanical system from radiation detecting circuit which is sensitive to noise.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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• pp.1380-1383
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• 2004

The scanning type XY stage is frequently used these days as precision positioning system in equipment for semiconductor or display element. It is requested higher velocity and more precise accuracy for higher productivity and measuring performance. The position accuracy of general stage is primarily affected by the geometric errors caused by parasitic motion of stage, misalignments such as perpendicular error, and thermal expansion of structure. In the case of scanning type stage, H type frame is usually used as base stage which is driven by two actuators such as linear motor. In the point view of scanning process, the stage is used in moving motion. Therefore, dynamic variation is added as significant position error source with other parasitic motion error. Because the scanning axis is driven by two actuators with two position detectors, 2 dimensional position errors have different characteristic compared to general tacked type XY stage. In this study 2D position error of scanning stage is analyzed by 1D heterodyne interferometer calibrator, which can measure 1D linear position error, straightness error, yaw error and pitch error, and perpendicular error. The 2D position error is evaluated by diagonal measurement (ISO230-6). The yaw error and perpendicular error are compensated on the base stage of scanning axis. And, the horizontal straightness error is compensated by cross axis compensation. And, dynamic motion error in scanning motion is analyzed.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.15-18
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• 2005

We have designed and fabricated a thermal scanning electron microscopy. It includes an electron source, two condenser lenses, one objective lens, a scanning coil and a stigmator coil for focusing in column and also have a secondary electron detector for constructing the image in chamber with a high vacuum condition and control part for operating the SEM. Especially, in order for us to find out the optical characteristics, our attention and studies have been concentrated on the effects of two condenser lenses and one objective lens for high resolution with SEM. Finally, we developed a high resolution thermal scanning electron microscopy.

• Current Optics and Photonics
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• 제3권1호
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• pp.16-21
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• 2019

We present a broad-bandwidth comb-spacing-swept source (CSWS) based on a differential polarization delay line (DPDL) for interferometric three-dimensional (3D) imaging. The comb spacing of the CSWS is repeatedly swept by the tunable DPDL in the multiwavelength source to provide depth-scanning optical coherence tomography (OCT). As the polarization differential delay of the DPDL is tuned from 5 to 15 ps, the comb spacing along the wavelength continuously varies from 1.6 to 0.53 nm, respectively. The wavelength range of various semiconductor optical amplifiers and the cavity feedback ratio of the tunable fiber coupler are experimentally selected to obtain optimal conditions for a broader 3-dB bandwidth of the multiwavelength spectrum and thus provide a higher axial resolution of $35{\mu}m$ in interferometric OCT imaging. The proposed CSWS-OCT has a simple imaging interferometer configuration without reference-path scanning and a simple imaging process without the complex Fourier transform. 3D surface images of a via-hole structure on a printed circuit board and the top surface of a coin were acquired.

• 정보보호학회논문지
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• 제32권4호
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• pp.709-722
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• 2022

최근 "Log4j 보안 취약점 사태" 가 발생함에 따라 오픈소스인 "Log4j"를 활용하는 정보시스템이 취약점에 노출되었다. 이번 사태로 인해 전 세계뿐만 아니라 국내 주요 정부 기관 또는 기업들의 정보시스템에 큰 취약점이 발생하여 오픈소스의 취약점에 대한 문제가 대두되었다. 오픈소스는 여러 장점에도 불구하고 오픈소스를 활용하여 개발하는 현재의 개발 패러다임으로 인해 소프트웨어 보안 취약점이 손쉽게 확산될 수 있다는 문제점이 많아 오픈소스의 안전성 및 신뢰성 확보하기 위해 오픈소스에 대한 취약점 점검이 필요하다. 하지만 오픈소스 취약점 스캐닝 도구는 종류도 많고 지원하는 언어와 기능들이 상이한 다형적인 특징을 가지고 있다. 따라서, 기존 소프트웨어 평가 기준으로는 평가하기 모호하고 장단점을 평가하기 어려우므로 본 논문에서는 오픈소스 취약점 분석 도구에 대한 새로운 평가 기준을 개발하였다.

• 한국음향학회지
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• 제21권5호
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• pp.446-454
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• 2002

본 연구는 이동 표적체에서 주파수가 서로 다른 신호가 서로 다른 위치에서 발생할 때 도플러 주파수 편이량을 추정하여 이들의 상대적인 신호 발생 위치를 추적하는 도플러 스캐닝 기법에 관한 연구이다. 예를 들어 선박의 발전기와 프로펠러 등과 같은 탑재 기계장치들의 진동에 의해 야기되는 기계적 소음의 각 특징 주파수들의 도플러 주파수 편이는 최단근접거리 (CPA: Closest Point of Approach)에 따라 유일한 시간 정보를 갖고 각 소음원들의 위치에 관련되는 함수이다. 따라서 도플러 스캐닝 기법을 적용하면 이동 선박의 각 기계적 소음원들간의 공간적인 상대 위치 추정이 가능하다. 그러나 일반적으로 기계류 소음의 주파수는 저주파수대역이므로 도플러 주파수 편이량을 추정하기 위해서는 주파수 분해능이 높아야 하고 아울러 탑재장치의 공간분해능을 높이기 위해서는 동시에 시간 분해능이 높아야 한다. 따라서 상호 역비례 관계에 있는 이들 분해능을 동시에 높이기 위해 확장 칼만 필터 알고리즘을 적용하여 특징 신호들의 도플러 주파수 편이량을 추정하여 기계류의 상대적인 탑재 위치를 규명할 수 있음을 보인다. 먼저 수치모의 실험으로 그 가능성을 검증하고 자동차에 탑재된 스피커 음원을 사용한 실험 결과를 통해 그 성능을 확인하도록 한다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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• pp.51-54
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• 2000

The traditional surface measuring method using confocal principle requires much time to measure an object surface since it is a scanning tool. In this paper, the upgraded confocal microscope is introduced. It is also a scanning tool but it requires 2D-scanning while the traditional one requires 3D-scanning. It means the time for measuring is considerably reduced. In addition, the measuring system is configured to increase the efficiency of beam. He-Ne laser whose frequency is 632.8nm is used for the laser source. An example of measuring result through the upgraded confocal microscope is showed.

• 한국측량학회:학술대회논문집
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• 한국측량학회 2010년 춘계학술발표회 논문집
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• pp.69-71
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• 2010

In this paper, we focus on the accuracy estimation of laser scanning mobile mapping system using Lynx Mobile Mapper. For this, we surveyed checkpoints(181 points) in study areas. A method to estimate the accuracy of laser scanning mobile mapping system based on the measurement range, interval of control points and gps signal environments. As a result, to ensure reliable measurement results, we must be made a plan considering Measure range(60m or under) and operation. The estimation results showed the need for improving accuracy using control points about 150m interval according to environment error source.