Oxygen Plasma effects on the Electrical Properties of the (Ba, Sr)$TiO_3$ Thin Films by RF magnetron Sputtering
(RF magnetron sputtering 으로 제조한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 대한 산소 plasma의 영향)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1994.05a
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- pp.113-113
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- 1994