Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

1998.05a
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Pages.158-159
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1998

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Characterization of YSZ(Yttria-stabilized zirconia) thin film by RF-magnetron sputtering

RF-magnetron sputtering를 이용한 YSZ(Yttria-stabilized zirconia)박막의 제조 및 특성 평가

황순원 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
박준용 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
배정운 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
김기동 (한국가스공사 연구개발원)

Published : 1998.05.01

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Abstract

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