This study has been performed to evaluate the safety of the retainer-type ball valve for a high-pressure pipeline to a district heating plant. The retainer-type ball valve is an improved design for conventional ball valves, such as the floating ball valve and the trunnion ball valve. Numerical analysis of the valve design verification has been applied to investigate the safety factor and seat leakage of the DN300 and DN400 sizes. The given condition to solve the structural analysis was based on the international standard for ISO 5208. In this study, the methods for structural analysis are described in detail. The structural analysis results present the deformations, the equivalent stresses, and the safety factors. Through these results, this study successfully demonstrates the safety and seat leakage of the retainer-type ball valve. They also streamline the process of development for valve manufacturing.
In chemical mechanical planarization (CMP) process, the uniformity of stress acting on wafer surface is a key factor for uniform material removal of thin film especially in the oxide CMP. In this paper, we analyze the stress on the contact region between wafer and pad with finite-element analysis (FEA). The setting pressure acting on wafer back side was $500g/cm^2$ and the retainer pressure was changed from 300 to $700g/cm^2$. The polishing test is also done with the same conditions. The material removal rate profiles well-matched with stress distribution.
반도체 제조 라인에서는 생산 제품의 원가절감을 위해 지속적인 노력을 기울이고 있고, 화학적 기계적 연마(CMP) 공정에서도 이에 대한 요구가 점점 가속화되고 있으며, 이러한 원가 절감 항목 중 대표적인 것이 5-Zone 링이다. CMP 공정에서 약 150시간을 사용하면 링의 두께가 1mm 미만으로 감소되어 새제품으로 교체해야 한다. 반도체 제조 라인에서는 생산 제품의 원가절감을 위해 지속적인 노력을 기울이고 있고, 화학적 기계적 연마(CMP) 공정에서도 이에 대한 요구가 점점 가속화되고 있으며, 이러한 원가 절감 항목 중 대표적인 것이 5-Zone 링이다. CMP 공정에서 약 150시간을 사용하면 링의 두께가 1mm 미만으로 감소되어 새제품으로 교체해야 한다. 따라서 본 연구에서는 리테이너 링의 마모된 부분을 반복 재생하여 반도체 제조 원가를 낮추며, 산업용 폐기물 처리에 따른 환경 오염을 최소화하기 위해 10g±0.8% 이하의 토출량 오차와 ±1.8% 이하의 압력 균일도를 갖는 본딩 디스펜서 및 프레스 머신을 개발하였다.
A high-pressure ball valve was developed, and both the structural strength and sealing performance were assessed based on a nonlinear finite element analysis. Different parts were modeled with solid elements and assembled, taking into account both contact and sliding effects. Three different loading scenarios were analyzed, including a high-pressure closure test and fire and shell test conditions. The structural safety of each part was checked under each loading condition, and the sealing performance was also investigated to validate the performance of the valve.
This paper presents a subsequent research work on the roller design of IRB(isolation roller bearing) seismic isolation device presented in Part 1 by focusing on heat treatment. The hardness and friction factor are very important factors of material and after-treatment process selection. Normally, roller bearing consists of roller and retainer. The roller gets high pressure constantly, while the retainer gets tensile and compressive stress. Therefore, sensitive material selection and heat treatment of each part is quite important. In this experimental evaluation, carbon steel, chrome special steel and others are employed and their characteristics after heat treatment are identified. Each material is prepared by refining high frequency heat treatment. The friction factor and static load capacity of manufactured material are experimentally identified and destructive test of material is processed. Optimal material and heat treatment conditions for IRB roller bearing are determined based on experiment results.
In this paper, the contact pressure of the wafer and polishing pad for final polishing process for 300 mm-wafer were investigated through numerical analysis using FEM tool, ANSYS. The distribution of the contact pressure is one of main parameters which affects on the flatness and surface roughness of polished wafers. Two types of polishing head, a hard type head with ceramic disk and a soft type head with air bag were considered. The effects of the deformation and initial shape of table on the contact pressure were also examined. Both heads and tables were modeled as 3D finite element model from solid model, and the material properties of polishing pads and rubber plate for the air-bag head were obtained from tensile tests. The contact pressure deviation on wafer surface was smaller with air bag head than hard type head even when the table had form errors such as convex or concave. From this 3D analysis, it could be concluded that the air-bag head has better uniformity of the contact pressure on wafer. Also, the effects of inner diameter of air bag and radial clearance between wafer and retainer were investigated as view point of contact pressure concentration on the edge of wafer.
Bolted joint assembly for nuclear power plants consists of various components : cover plate, retainer plate, manway flange, gasket and stud bolts/nuts. To guarantee the soundness of the joint, it is important to prevent leakage through the gasket and reduce the stress concentration factor at the thread root. In this paper, Submodeling technique for the finite element method is proposed to accurately compute three dimensional contact stresses which govern the sealing performance and the maximum contact stresses at the threads root. For verification of global solutions used as boundary conditions of submodel solution, the stresses on the cover plate and the manway flange are measured by strain gages when internal pressure is applied to the bolted joint assembly. The numerical results are compared with the experimental results.
교정력을 가한 후 각기 다른 재료로 제작된 고정성 보정장치를 적용한 경우에 발생하는 치주조직의 재형성과 치유과정을 조직학적으로 관찰하기 위해 건강한 치주상태를 가진 네 마리의 유성견을 대상으로 최초 교정력이 200gm이 되도록 견인 스프링 (sentalloy closed coil $spring^{\circledR}$, Tomy Co., Japan)을 대상 치아에 결찰하여 1주일 간 교정력 을 가한 후 각각의 실험동물에 3가닥 호선인 0.018인치 $Dentaflex^{\circledR}$(Dentarum Co., Germany), 3가닥 호선인 0.020인치 $Dentaflex^{\circledR}$(Dentarum Co. Germany), 5가닥 호선인 0.0195인치 $Respond^{\circledR}$(G&H Co., U.S.A.)를, 그리고 자가중합형 레진 접착제인 Superbond $C&B^{\circledR}$를 고정성 보정장치의 재료를 이용하여 보정장치를 접착한 군과 보정장치를 접착하지 않은 군으로 나누어 3주간 적용 후 희생하여 H-E 염색군, M-T 염색군으로 나누어 광학현미경으로 관찰하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 0.0195인치 $Respond^{\circledR}$를 접착시킨 군은 0.018인치 $Dentaflex^{\circledR}$, 0.020인치 $Dentaflex^{\circledR}$, Superbond $C&B^{\circledR}$를 접착시킨 군에 비교할 때 압박측에서의 거대세포 침윤 감소와 긴장측에서의 신생골 형성 증가가 매우 두드러지게 나타났으며 치주인대는 형태와 배열에서 대부분 정상적인 소견을 보였다. 2. 실험 1군의 모든 실험대상에서 압박측 치조골 내부의 괴사골이 관찰되었고, 압박측과 긴장측 모두에서 치조골 표면의 골양조직 및 sharpey 섬유의 형성과 치주인대의 재형성 현상이 나타나는 것이 관찰되었다. 3. 실험 2군은 실험 1군에 비교하여 압박측에서 거대세포 침윤이 현저히 감소되었고 치주인대는 거의 정상적인 소견을 보였다. 긴장측에서는 수층의 골침착을 보이며 치주인대 측으로 골양조직과 골아세포가 구상으로 나타나는 활성화 소견을 보였다. 이상의 결과에서 더 여러 가닥이 꼬인 6가닥 호선인 0.0195인치 $Respond^{\circledR}$(G&H Co., U.S.A.)를 보정장치로 적용한 경우가 다른 재료의 고정성 보정장치보다 더 활발한 신생골주 형성의 활성화 소견이 관찰되었으며 대조군과 유사한 배열과 형태를 보이는 정상적인 치주인대 섬유의 배열양상이 관찰되어 다른 재료들에 비교하여 치주조직의 초기 재형성 과정을 더 신속하게 유도하는 것으로 사료된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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