펄스 주파수 및 듀티 사이클이 중간 주파수 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 ZrN 코팅막의 미세구조, 잔류응력 및 기계적 특성에 미치는 영향 (Effect of pulse frequency and duty cycle on microstructure, residual stress and mechanical properties of ZrN coatings deposited by mid-frequency magnetron sputtering)
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- 한국표면공학회지
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- 제57권4호
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- pp.348-354
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- 2024