Effect of Moisture in a Vacuum Chamber on the Deposition of c-BN Thin Film using an Unbalanced Magnetron Sputtering Method (비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 질화붕소막의 증착시 반응실내의 초기 수분이 입방정질화붕소 박막의 형성에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.49 no.6
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- pp.620-624
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- 2012