• 제목/요약/키워드: quartz crystal microbalance

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Frequency-Distance Responses in SECM-EQCM: A Novel Method for Calibration of the Tip-Sample Distance$\S$

  • 신명선;전일철
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제19권11호
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    • pp.1227-1232
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    • 1998

  • The frequency response on the tip-sample distance in scanning electrochemical microscopy (SECM) that is combined with an electrochemical quartz crystal microbalance (EQCM) is described. The oscillation frequency of the EQCM increases rapidly when the SECM tip is very close to the substrate electrode surface. This frequency increase is reproducible regardless of the current feedback in SECM, which is attributed to the stress caused by the tip pressing the quartz crystal. It is useful to calibrate the tip-sample distance with respect to the frequency change when a combined system of SECM and EQCM (SECM-EQCM) is used. This method could be applied to several cases such as rigid metal electrode and non-conducting or partially conducting polymer coating prepared on the quartz crystal regardless of the feedback current.

  • https://doi.org/10.5012/bkcs.1998.19.11.1227 인용 PDF

성막 공정 정밀도 향상을 위한 실시간 성막 속도 측정 시스템 (In-situ Deposition Rate Measurement System to Improve the Accuracy of the Film Formation Process)

  • 박소미;백승요;김현빈;이종희;이재현
    • 공업화학
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    • 제34권4호
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    • pp.383-387
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    • 2023

  • 범용적으로 고진공 성막 장비에서 사용되는 quartz crystal microbalance (QCM)는 두꺼운 필름이 quartz 위에 성막되는 경우, 크리스탈 고유의 진동에 영향을 주어 사용이 어려워진다. 본 논문에서는 실시간 필름 증착 공정 중에 센서의 손상이 없는 광학적 계측 방식을 통해 필름의 성막 속도를 측정하는 방법을 연구하였다. 기체 이동 경로로 지나가는 페럴린 가스 중 다이머에 의한 레이저의 산란 정도를 측정하여, 페럴린 공정의 분해부 온도가 감소할수록 페럴린 가스 중 다이머의 비율이 증가하는 것을 성공적으로 확인하였다. 또한, 성막된 필름의 특성을 확인한 결과, 분해부 온도가 감소할수록 필름의 두께와 haze가 증가한 것을 확인할 수 있었다. 우리는 연구 결과를 통해 개발한 안정적인 실시간 성막 속도 계측 시스템을 이용함으로써, 진공 공정을 통해 성막하는 페럴린 필름의 정밀한 성막 속도 제어에 활용하고자 한다.

  • https://doi.org/10.14478/ace.2023.1044 인용 PDF

고정화법을 달리하여 제조한 압전류적 항체 센서에 의한 Salmonella spp.의 신속 검출 (Rapid Detection of Salmonella spp. by Antibody-Immobilized Piezoelectric Crystal Biosensor)

  • 박인선;김우연;김남수
    • 한국식품위생안전성학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.206-212
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    • 1998

  • Salmonella spp.의 신속한 검출을 위하여 엷은 박막형태의 수정결정을 사용하는 압전류적(piesoelectric) 항체센서 시스템을 개발하고 증류수, 완충용액, 식염용액 등의 여러 매질 중에서 보여주는 진동 특성을 검토하였다. Salmonella spp. 균 구조항원(Common structural antigen)에 대한 항체를 수정결정에 PEI pre-coating, BSA 가교화, 3-APTES silanizaition, protein A와 DTBP thiolation의 5가지 방법에 의해 고정화한 후 항체 센서의 안정성을 살펴보았다. Salmonella 균을 주입하였을 때 Salmonella 균과 수정 결정에 고정화한 항체와의 결함반응에 의해 수정결정의 질량증가와 이에 따른 진동수 감소가 나타났다. 고정화방법 중 protein A와 DTBP를 이용하여 고정화하는 방법이 센서반응을 가장 안정적이고 재현성 있게 나타내줌을 알 수 있었다. $7.45{\times}10^{7}\;CFU/ml$의 Salmonella 균을 반응 cell 내에 주입하였을 때 protein A를 이용한 고정화의 경우 80Hz, DTBP를 이용한 고정화의 경우 283 Hz의 진동수 감소가 나타났으며, 압전류적 항체센서를 이용할 경우 40분 이내에 Salmonella spp.의 검출이 가능하였다.

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