• Korean Journal of Materials Research
• /
• v.5 no.4
• /
• pp.389-396
• /
• 1995

본 논문에서는 전자빔증착법에 의해 제조된 다결정 CdTe 박막의 구조적, 광학적 특성을 연구하였으며 특히 기판온도와 증착후 열처리에 따른 박막의 결정성변화를 관찰하고 그 결과를 고찰하였다. ITO와 유리위에 25~16$0^{\circ}C$의 기판온도로 증착된 CdTe 박막의 결정구조는 zinc blende 구조를 보이고 <111> 방향으로의 우선 성장방향을 나타내었다. 증착후 열처리를 함에 따라 결정립이 성장하고 정량적 CdTe로 접근하고 상온에서 band gap 이 단결정의 값인 1.5eV에 가까운 에너지로 천이하며 결정성이 향상됨을 관찰할 수 있었다. 이러한 열처리에 의한 결정성 향상은 PL과 XRD를 통하여 분석한 결과 재료내 존재하는 과잉 Te가 열처리시 증발함에 따라 격자내 응력이 감소함과 관련이 있음을 알 수 있었다.

• Journal of the Korean institute of surface engineering
• /
• v.31 no.6
• /
• pp.389-392
• /
• 1998

We have investigated the crystal properties of the Cd0.96Zn0.04Te(CZT) films evaporated on the Si(100) substrates by Elecctron Beam Evaporator(EBE) techique. The compositions of the As-preared films were different about 4% of atomic ratio, The films stucture was observad to be polycrystalline in cubic phase. Diffraction peaks were notable at the substrate temperature of $300^{\circ}C$. The reflectance measurements yield $E_1$=3.25~3.29 eV $E_1$+${\Delta}_1$=3.76~3.83 eV and $E_2$=5.08 eV,showing that the films wear in cubic phase. For the film evaporated at the substrate temperature of $150^{\circ}C$, the peaks of photocurrent are at 720nm and 980nm.