• 제목/요약/키워드: plating process

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Characteristics of MOCVD Cobalt on ALD Tantalum Nitride Layer Using $H_2/NH_3$ Gas as a Reactant

  • 박재형;한동석;문대용;윤돈규;박종완
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.377-377
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    • 2012
  • Microprocessor technology now relies on copper for most of its electrical interconnections. Because of the high diffusivity of copper, Atomic layer deposition (ALD) $TaN_x$ is used as a diffusion barrier to prevent copper diffusion into the Si or $SiO_2$. Another problem with copper is that it has weak adhesion to most materials. Strong adhesion to copper is an essential characteristic for the new barrier layer because copper films prepared by electroplating peel off easily in the damascene process. Thus adhesion-enhancing layer of cobalt is placed between the $TaN_x$ and the copper. Because, cobalt has strong adhesion to the copper layer and possible seedless electro-plating of copper. Until now, metal film has generally been deposited by physical vapor deposition. However, one draw-back of this method is poor step coverage in applications of ultralarge-scale integration metallization technology. Metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) is a good approach to address this problem. In addition, the MOCVD method has several advantages, such as conformal coverage, uniform deposition over large substrate areas and less substrate damage. For this reasons, cobalt films have been studied using MOCVD and various metal-organic precursors. In this study, we used $C_{12}H_{10}O_6(Co)_2$ (dicobalt hexacarbonyl tert-butylacetylene, CCTBA) as a cobalt precursor because of its high vapor pressure and volatility, a liquid state and its excellent thermal stability under normal conditions. Furthermore, the cobalt film was also deposited at various $H_2/NH_3$ gas ratio(1, 1:1,2,6,8) producing pure cobalt thin films with excellent conformality. Compared to MOCVD cobalt using $H_2$ gas as a reactant, the cobalt thin film deposited by MOCVD using $H_2$ with $NH_3$ showed a low roughness, a low resistivity, and a low carbon impurity. It was found that Co/$TaN_x$ film can achieve a low resistivity of $90{\mu}{\Omega}-cm$, a low root-mean-square roughness of 0.97 nm at a growth temperature of $150^{\circ}C$ and a low carbon impurity of 4~6% carbon concentration.

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FeCo 자성 금속 중공형 섬유 고분자 복합재의 전자파 차폐 특성 연구 (Characterization of FeCo Magnetic Metal Hollow Fiber/EPDM Composites for Electromagnetic Interference Shielding)

  • 최재령;정병문;최우혁;조승찬;박가현;김원정;이상관;이상복
    • Composites Research
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    • 제28권6호
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    • pp.333-339
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    • 2015
  • 무전해 도금을 통해 제조한 FeCo 자성 금속 중공형 섬유와 EPDM 고분자를 이용하여 전자파 차폐 복합재를 제작하였다. 열처리 공정을 통하여 섬유의 종횡비를 제어하였으며 중공형 구조로 섬유를 제조한 후, 이를 EPDM 수지에 첨가하여 복합재를 제조하였다. 자성 금속 중공형 섬유의 종횡비가 클수록 낮은 표면 저항 특성과 우수한 전자파 차폐 성능을 나타내었다. 약 $100{\mu}m$ 길이의 자성 금속 중공형 섬유를 이용한 두께 $150{\mu}m$ 전자파 차폐 복합재의 경우 밀도 $1.18g/cm^3$, 약 30 ohm/sq의 표면 저항, 그리고 30 dB의 전자파 차폐 성능을 나타내었다. 이는 종횡비가 큰 섬유에 의한 퍼콜레이션 임계치 이상의 전도성 네트워크 형성과 더불어, 낮은 표면 저항에 기인한 임피던스 차이에 의한 반사 손실 증가, 흡수 손실, 그리고 다중 내부 반사 손실에 의하여 우수한 전자파 차폐 성능을 나타내는 것으로 판단된다.

밭토양에서 토양수분과 온도변화에 따른 분변성 대장균 사멸율 변화 (Pathogenic E. coli Inactivation in Upland Soils to a Change of Soil Moisture Content and Temperature)

  • 김민경;김민영;최철만;고병구;권순익;원항연
    • 한국토양비료학회지
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    • 제43권1호
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    • pp.90-95
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    • 2010
  • 전 세계적으로 가축분뇨를 농경지에 시용하는 것은 작물과 토양에 양분을 공급하는 측면에서 오래 전부터 이용되어 왔으며, 최근 들어서는 자원을 재순환하기 위한 측면으로 이용되고 있다. 그러나, 환경적인 측면에서 가축분뇨를 농경지에 시용하였을 때 미생물적 평가나 규제기준은 비용과 시간이 많이 요구되어 우리나라에서는 이에 대한 연구가 수행되지 못한 실정이다. 따라서, 본 연구는 밭토양에서 토양수분과 온도조건에 따른 분변성 대장균의 사멸율을 조사하여 분변성 대장균이 외부 환경에 영향을 미칠 수 있는 수준을 평가하고자 수행하였다. 시료는 토양수분조건(10, 35, 65, 80%) 및 온도조건 (20, 25, $30^{\circ}C$)별로 정해진 기간 (3, 7, 14, 21, 28일) 동안 배양되었으며 각각의 시료에 포함된 대장균의 수는 plating method 를 이용하여 측정되었다. 분산분석을 통한 측정자료의 통계분석 결과, 분변성 대장균의 생존에는 토양수분함량과 온도가 주 요인이었는데, 특히 토양수분함량이 감소할수록 그리고 온도가 증가할수록 E. coli의 사멸율은 직선적으로 증가하였다. 또한, 토양수분 조건과 온도조건 중에서 분변성 대장균의 사멸율은 온도조건에 더 상관이 높은 것으로 나타났으며, 모든 온도조건에서 10%의 토양수분조건에서 분변성 대장균의 사멸율이 높았다. 이는 토양수분이 E. coli의 사멸에 제한적인 요인으로 작용하였음을 의미한다. 따라서, 본 연구는 가축분뇨를 농경지에 시용할 때 인체의 위해성과 외부 환경의 건전성을 유지하기 위해서는 고온 저습한 토양조건에서 시용하여야 한다는 현실적인 가이드라인을 제시하고자 한다.

인쇄공정으로 제조된 저항형 습도센서의 감습특성에 대한 전극패턴의 영향 연구 (The Effect of Electrode Pattern on the Humidity-sensing Properties of the Resistive Humidity Sensor Based on All-printing Process)

  • 안희용;공명선
    • 폴리머
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    • 제36권2호
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    • pp.169-176
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    • 2012
  • 저항형 습도센서의 개발을 위하여 스크린 인쇄방법으로 glass epoxy(GE) 기재 위에 핑거의 수와 그 사이의 간격이 다른 여러 가지 바이트형의 금 전극을 제조하였다. 전극의 기본적인 구조는 핑거 수가 3, 4 및 5를 가지며 간격은 각각 310과 460 ${\mu}m$이다. 전극은 처음에 은 나노 페이스트로 전극 패턴을 인쇄하고 연속적으로 Cu, Ni 및 Au를 무전해 도금을 진행하여 제조하였다. 감습성 고분자 전해질은 [2-(methacryloyloxy)ethyl] dimethyl benzyl ammonium chloride(MDBAC)과 methyl methacrylate(MMA)의 공중합체를 사용하였으며 스크린 인쇄 방법으로 Au 전극/GE 기재 위에 인쇄하였다. 이렇게 제조된 습도 센서의 20-95%RH 영역의 상대습도 대 로그 임피던스 그래프에서 좋은 직선성을 보여주었으며 히스테리시스는 1.5%RH 이하 및 75초의 응답 및 회복 속도를 보여주었다. 전극의 구조는 고분자 저항형 습도센서의 감습특성에 큰 영향을 미치며 전해질 고분자와 전극 사이의 활성화 에너지, 온도의존성, 감도, 직선성 및 히스테리시스와 같은 감습특성 등의 차이를 비교하였고 특히 이온의 이동에 관여하는 활성화 에너지 및 온도 의존성에 큰 영향을 미쳤다.

우리나라 구곡시가에서 나타난 조경 식물종의 상징적 의미 (The Meaning of Plant Species in Korean Gugok Poems(九曲詩歌))

  • 오창송;박상욱
    • 한국전통조경학회지
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    • 제38권2호
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    • pp.77-94
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    • 2020
  • 구곡시가는 구곡원림을 연구하는 중요한 소재이다. 특히 시가에서 출현하는 경물은 그 장소성과 원림의식을 표출하는 중요한 소재이다. 그러나 자연에 대한 인식 태도나 미적 형상화 과정을 탐구할 수 있는 식물 소재에 대하여 다수학문들은 소극적이다. 따라서 본 연구는 구곡원림문화의 연구 소재를 확장하기 위해 구곡시가에 출현한 식물에 관한 다양한 상징적 의미를 발굴하고 그 맥락을 밝히고자 한다. 연구의 목적을 수행하기 위해 나는 총 18구곡처 25개의 관련 시가를 수집하였고 총 20종의 식물을 발견하였다. 본 연구는 구곡 시가와 그 해설문을 R-program을 사용하여 수목의 의미를 도출하였고 상호텍스트성에 의한 수목의 의미를 고찰하였다. 연구결과, 20종의 식물은 신선계, 청빈, 향수, 군자의 품격, 진락, 절개, 강학, 태평성대의 상징적 의미를 내포하였다. 다수의 종은 '신선계'에 상징성을 집중하였고 다음으로 '군자의 품격'에 대한 싱징 빈도가 높았다. 복사나무, 느티나무, 떡갈나무 등을 제외한 다수의 수종이 다중적 의미를 갖추고 있었다. 그 중 소나무와 연꽃이 상징적 의미의 폭이 넓었고 주변 경관의 특성에 따라 의미도 달랐다. 일반적으로 구곡문화는 자연경관을 대상으로 하지만 용산, 퇴계, 덕산, 주산구곡은 인위적인 배식 및 정원 행위를 통해 상징적 의미를 강화 또는 재생산하는 특징을 보여주었다. 우리 구곡시가는 무릉도원을 상징하는 복사나무의 한계를 극복하기 위해 단풍나무와 갈대를 대체 수종으로 활용하였다. 이상의 맥락에 따라, 구곡시가에 출현하는 수목은 전통적인 의미를 고집하기보다는 해당 구곡의 경물, 행위 그리고 의도에 따라 그 상징적 의미를 다르게 표출하였다.

은나노 입자가 함유된 천연실크 제조 방법 (Fabrication Process of Natural Silk Including Ag Nano-particle)

  • 정이연;강필돈;김기영;류강선;손봉희;김용순;김미자;이광길;채창근;고석근
    • 한국잠사곤충학회지
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    • 제49권1호
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    • pp.24-27
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    • 2007
  • 본 연구는 은나노 입자가 함유된 용액을 이용하여 기능성 천연실크를 생산하고자 수행하였다. 1. 은나노 적정농도는 500 ppm 처리구가 은함량, 화용비율 및 견층비율을 종합적인 비교 분석에서 적정농도로 조사되었다. 2. 일반 품종별 은함량 측정에서 흰고치(금옥잠) 품종 대비 연녹고치(C212)품종이 69%많았다. 3. 은나노 첨식 처리기간별 조사에서는 5령3일부터 상족전(18회 급상)까지 첨식한 처리구가 가장 우수 하였다. 4. 실크에 함유된 은나노 입자의 크기는 26.98nm에서 99.81nm임을 주사전자현미경으로 관찰되었다. 5. 그리고, 은나노 입자가 함유된 사료로 사육된 누에의 번데기, 누에고치 추출액과 같은 부산물 내에 기능성 은나노 입자가 균일하게 분포하게 됨을 확인하였다.

광화당 원삼의 금사 분석과 원형복원 사례 (A Case Study on the Restoration to Designated State Based on the Scientific Analysis of Gold Threads of Gwanghwadang-Wonsam)

  • 안보연;이량미;이장존
    • 보존과학회지
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    • 제37권2호
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    • pp.144-153
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    • 2021
  • 1979년 국가민속문화재로 지정된 광화당 원삼은 보존상태가 상당히 양호하다. 그러나 지정조사 시에는 없던 봉흉배가 부착되어 '봉흉배가 달린 유일한 자적원삼(紫赤圓衫)' 유물로 알려지면서 보존처리의 필요성이 제기되었다. 이에 지정문화재에 대한 잘못된 정보를 바로잡기 위한 과학적 분석과 동시에 지정 상태로의 원형 복원도 요구되었다. 본 연구를 통해 광화당 원삼에 대한 유물 이력을 조사하고, 현전하는 봉흉배와 봉흉배 수본(繡本) 등의 유물 조사를 병행하여 원형 복원에 대한 자료를 확보하였다. 직접적으로는 에너지 분산형 X선 형광분석을 실시하여, 봉흉배에 사용된 금속사가 은을 기본으로 티타늄 코팅한 것을 확인하였다. 티타늄으로 도금된 금사를 사용한 봉흉배는 1986년 광화당 원삼 사진에서는 확인되지 않았으며, TiN계 피막 도금법이 1990년대에는 여러 산업에서 활용되었다는 점에서 1990년대 초중반에 봉흉배가 부착된 것으로 추정할 수 있다. 특히 X선 형광분석을 활용한 금사의 과학적 분석 결과를 통해 보존처리의 핵심적인 근거자료를 확보하였다. 본고는 전세 유물 보존처리에 있어 유물 이력과 유사 유물 조사의 중요성에 대한 각성과 지정문화재에 대한 잘못된 정보를 바로잡을 수 있는 원형복원의 선례로서 의미가 있다.

A Study on the Improvement Methods for Hybrid Sorghum Seeds Production

  • Ji-Young Kim;Sang-ik Han;Seok-bo Song;Byeong-won Lee;Ji-ho Chu;Young-kwang Ju;Chung Song Kim
    • 한국작물학회:학술대회논문집
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    • 한국작물학회 2022년도 추계학술대회
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    • pp.205-205
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    • 2022
  • Sorghum (Sorghum bicolor L.) is a major cereal grain crop of the world and It can be cultivated under high temperature and dry condition with high adaptability to the adverse environment. It is usually eaten with rice in korea and most of domestic sorghum cultivars have been developed by pure line selection and cross breeding. In prior studies, Hybrid cultivar (F1 seed) was known to improve 30-40% in yield and resist to disease and pest than pure line varieties due to hybrid vigor. Therefore, study on the hybrid sorghum is continuously necessary. In korea, hybrid sorghum cultivar have been developed, so we need to find methods seed production technology for supply and commercialization of hybrid seed cultivar. Female inbred line(A-line) and male inbred line(R-line) are needed for hybrid seed production. This study was carried out to investigate growth characteristics and yield of hybrid sorghum according to the seedling period and planting rate between female inbred line(YSA1) and male inbred line (Sodamchal, Miryang 19). When the flowering period of two inbred groups in the process of hybrid seed production is coincides, hybrid seed production is increase. The female inbred line and male inbred lines were cultivated at Daegu in 2021. Two inbred lines were sown at intervals of 3 days and 7days and were evaluated flowering period. As a result, the flowering period of the female inbred line and male inbred lines were matched at the 7days interval. To find out optimal planting rate, two inbred lines were cultivated under different plating rate (4:2, 5:2, 6:2). Yield of YSA1/Sodamchal(F1) was the highest 130(kg/10a) in the 4:2 ratio and yield of YSA1/Miryang 19 was the highest quantity of 139(kg/10a) in the 6:2 ratio. The results of this study could be helpful for hybrid Sorghum seeds production.

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1705년 금보개조도감(金寶改造都監) 제작 금보 연구 (A Study of the Golden Royal Seals Made by the Directorate for the Restoration of the Golden Royal Seals(金寶改造都監) in 1705)

  • 제지현
    • 헤리티지:역사와 과학
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    • 제50권1호
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    • pp.42-57
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    • 2017
  • 어보(御寶)는 조선시대(朝鮮時代)에 왕(王), 왕비(王妃), 세자(世子), 대왕대비(大王大妃) 등을 책봉(冊封)하거나 존호(尊號), 시호(諡號) 등의 이름을 올릴 때 제작하는 인장(印章)이다. 어보는 금보(金寶)와 옥보(玉寶) 등으로 제작하는데 인장의 주인이 승하하면 종묘(宗廟)의 각 실(室) 보장(寶欌)에 봉안(奉安)되었다. 숙종대(肅宗代)에는 왕실(王室) 문화를 정비하고 보수하려는 노력이 있었다. 이러한 흐름의 일환으로 1705년에는 종묘에 봉안되어 있던 어보의 의장(儀仗)에 관한 문제가 논의되었고, 이에 따라 어보를 포장하는 부속품을 일괄로 제작하였다. 뿐만 아니라 전란 중에 잃어버린 금보와 그동안 만들어지지 않았던 금보 10과(顆)를 새롭게 제작하였다. 그 결과, 이 시기에는 종묘의 각 실마다 최소 어보 1과를 갖추게 되었다. 이 과정을 기록한 것이 "금보개조도감의궤(金寶改造都監儀軌)"이다. 조선 전 시기 동안 금보를 대량으로 제작해서 종묘에 봉안하는 유일한 의례(儀禮)인 점을 감안하면 이 도감이 갖는 중요한 의미를 짐작할 수 있다. 따라서 본고에서는 먼저 금보개조도감의 설치과정을 통해 그 시기 손상된 어보의 보관과 관리방법 등을 살펴보았다. 또한 금보의 제작과정을 "금보개조도감의궤"와 다른 의궤(儀軌)들을 비교해서 보의 귀뉴(龜?)형태를 만드는 견양(見樣), 밀납주조방식, 수은아말감기법의 도금(鍍金), 세부 문양을 새기는 과정을 순서대로 고찰하였다. 나아가 당시 금보를 만드는 장인(匠人)인 금보장(金寶匠)의 활동방식을 동시기 의궤를 통해 분석하여 금보장의 계승 방식을 확인하였다. 이후 현존하는 작품을 중심으로 금보의 양식을 고찰하였다. 이러한 과정을 통해 1705년 금보개조도감에서 제작한 금보의 제작방법과 장인의 특성을 종합적으로 확인할 수 있었다.

도금폐촉매액내 팔라듐 재자원화에 따른 자원 및 온실가스 감축량 분석 (Analysis of Resource and GHG Reduction by Recycling Palladium in Plated Spent Catalyst Solution)

  • 신가영;이성유;강홍윤
    • 자원리싸이클링
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    • 제30권3호
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    • pp.47-54
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    • 2021
  • 무전해 도금공정에서 사용되는 콜로이드 타입의 도금폐촉매액내 팔라듐은 회수하지 못하고 폐수로 방출되고 있었으나, 재자원화 기술을 적용하여 콜로이드 타입의 도금폐촉매액내 팔라듐을 회수하였다. 본 연구에서는 전과정평가기법을 이용하여 도금폐촉매액내 팔라듐을 재자원화 시와 폐기 시의 자원 소모량과 온실가스 배출량을 각각 산정한 후, 자원 및 온실가스 감축량을 분석하였다. 산정 결과, 팔라듐 1 kg 기준으로 폐기시 온실가스 배출량은 9.67E+03 kgCO2eq., 자원 소모량은 3.94E+01 kgSb-eq.로 나타났으며, 재자원화 시 온실가스 배출량은 1.96E+03 kgCO2eq., 자원 소모량은 1.54E+01 kgSb-eq.로 각각 나타났다. 온실가스 배출량과 자원 소모량에 미치는 주요 영향물질을 살펴보면, 폐기 시와 재자원화 시 온실가스 배출량에 미치는 주요 물질은 모두 CO2로 각각 91.42%, 98.37%였으며, 자원 소모량에 미치는 주요 물질은 모두 무연탄(hard coal)으로 40.63%, 60.73%로 나타났다. 한편, 팔라듐 1 kg을 재자원화함에 따른 온실가스 배출량은 8,967.17 kgCO2eq. 감축되었으며, 자원 소모량은 10.10 kgSb-eq. 감축되는 것으로 나타났다. 또한, 팔라듐 재자원화로 인한 팔라듐의 직접적인 천연자원 사용저감률은 50%로 나타났다.