Dependence Analysis of Radical and Ion Densities on Plasma Parameters in $Cl_2$ /Ar Discharges
($Cl_2$ /Ar 방전에서의 플라즈마 변수에 대한 이온과 라디칼 밀도 의존성 분석)
-
- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
- /
- 2010.06a
- /
- pp.103-103
- /
- 2010