• 한국진공학회지
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• 제6권3호
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• pp.213-219
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• 1997

본 연구에서는 내전극 정전결합 유동가스형 반응장치를 이용하여 플라즈마 중합 스 티렌 박막을 제작하고 적외선분광스펙트럼, 열분해가tm크로마토그래피, 시차주사열량계 및 겔투과성 크로마토그래피의 분석을 통하여 중합조건이 분자구조 및 분자량 분포에 미치는 영향을 조사하였다. 위의 결과로부터 개시 모노머의 화학적 특성과는 다른 고도로 가교된 박막이 생성되었으며, 방전압력, 방전전력 및 가스의 유량 등의 중합조건 조절에 의해 분자 구조, 가교도, 분자량 분포 등의 제어가 가능함이 판명되었다. 따라서 내전극 정전결합 유동 가스형 반응장치에 의해 수행된 플라즈마중합법은 중합조건의 조절에 의해 센서의 감지막, 광도전성 소자 및 포토 레지스트 등에 응용가능한 기능성 유기박막의 제작에 좋은 특성을 나타내는 것을 알 수 있었다.

• 폴리머
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• 제36권1호
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• pp.65-70
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• 2012

글리시딜메타크릴레이트(GMA)의 플라즈마 유도 그래프트 공중합을 통해 기재로 사용한 평판형 폴리프로필렌 위에 에폭시 그룹을 도입하였다. 그래프트 공중합은 에멀젼 공중합법을 적용하였고, 기존의 용액 공중합과 비교하여 그 효과를 확인하고자 하였다. 대기압 플라즈마 처리 조건은 RF power 200 W, 처리시간 30초, Ar 기체 유속 6 LPM으로 고정하였고, 처리 후의 대기 중 노출시간 역시 5분으로 고정하였다. 중합반응에서는 GMA의 농도, 반응온도, 반응시간에 따라 표면 그래프트도의 변화를 최적화하였다. 그 결과, GMA 농도 12%, 반응온도 $90^{\circ}C$, 반응시간 5시간으로 중합하였을 때 가장 높은 그래프트도를 나타내었다. 분석 결과, 같은 반응조건 하에서 에멀젼 중합이 용액 중합에 비하여 더 많은 에폭시 그롭 도입에 효과적임을 확인하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제25권3호
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• pp.32-43
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• 2008

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1991년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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• pp.304-306
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• 1991

A new gas-flow type reactor for plasma polymerization was developed to symthesize functional polymer, which enhances the reaction of radicals activated in discharge. $\alpha$-Methylstyrene was used for the polymerization, which are known as starting monomers for the polymer with degradating characteristics. The molecular structure and molecular weight distribution of the polymers were studied.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1996년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.146-149
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• 1996

Polymerization rate, transmittance, refractive index, and extinction coefficient of plasma polymerized tetramethydisiloxane (TMD) have been investigated. The rate of polymerization of TMD films increased nonlinearly with the discharge lower. The refractive indices of thin films varied from 1.40 to 1.43 and they also increased with increasing discharge power. Also, the extinction coefficient was about 0.2 and is independent of photon energy.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1992년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.26-29
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• 1992

In this study, We made use of interelectrode capacitively coupled type plasma polymerization apparatus in order to make th organic optical thin films. We adopted in Benzen. Styrene, which have optical function in the organic world. It is manufactured polymerization thin films and examined optics properties by it respectively. We have known that the refractive index decreased as discharging power increased. At the middle wave length as 550[nm], the refractive index of Styrene is smaller than one of Benzen. Then, it is known that measured results are valid because the extinction coefficient(K) is about 10$\^$-4/ for variation of refractive index.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.378.2-378.2
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• 2016

Biosensors currently suffer from severe non-specific adsorption of proteins, which causes false positive errors in detection through overestimation of the affinity value. Overcoming this technical issue motivates our research. Polyethylene glycol (PEG) is well known for its ability to reduce the adsorption of biomolecules; hence, it is widely used in various areas of medicine and other biological fields. Likewise, amine functionalized surfaces are widely used for biochemical analysis, drug delivery, medical diagnostics and high throughput screening such as biochips. As a result, many coating techniques have been introduced, one of which is plasma polymerization - a powerful coating method due to its uniformity, homogeneity, mechanical and chemical stability, and excellent adhesion to any substrate. In our previous works, we successfully fabricated plasmapolymerized PEG (PP-PEG) films [1] and amine functionalized films [2] using the plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique. In this research, an amine functionalized PP-PEG film was fabricated by using the plasma co-polymerization technique with PEG 200 and ethylenediamine (EDA) as co-precursors. A biocompatible amine functionalized film was surface characterized by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Fourier-transform infrared spectroscopy (FT-IR). The density of the surface amine functional groups was carried out by quantitative analysis using UV-visible spectroscopy. We found through surface plasmon resonance (SPR) analysis that non-specific protein adsorption was drastically reduced on amine functionalized PP-PEG films. Our functionalized PP-PEG films show considerable potential for biotechnological applications such as biosensors.

• 접착 및 계면
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• 제2권2호
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• pp.1-10
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• 2001

Epoxy molding compound (EMC)에 사용되는 실리카를 13.56 MHz 플라즈마 중합 장치를 이용하여 코팅하였으며, 코팅시간, 플라즈마전압, 내부압력을 변화시키면서 코팅조건을 최적화하였다. 플라즈마 중합 코팅용 단량체로는 1.3-diaminopropane, allylamine, pyrrole, 1,2-epoxy-5-hexene, allylmercaptan 및 allylalcohol을 사용하였으며, 코팅된 실리카의 접착성은 굴곡강도 측정으로 분석하였다. 또한 열팽창 계수 (CTE) 및 수분 흡습률 변화를 측정하였으며, 파괴 단면을 SEM으로 분석하여 접착 특성을 규명하고자 하였다. 플라즈마 중합 코팅된 실리카와 에폭시 수지간의 접착기구를 규명하기 위하여 플라즈마 고분자 코팅을 FT-IR로 분석하였으며, DSC를 이용하여 코팅된 실리카와 에폭시 수지간의 반응성도 고찰하였다. 1,3-diaminopropane과 allylamine으로 코팅된 실리카를 함유하는 EMC는 비교시편에 비하여 높은 굴곡강도, 낮은 CTE 및 낮은 흡습율을 보였으며, SEM 분석 결과 100% cohesive failure 거동을 나타내었다. 이러한 결과는 고분자 코팅내의 아민 반응기와 에폭시 수지간의 화학적 결합에 의한 것으로 판단되며, FT-IR 및 DSC 분석결과와 부합된다.

• 한국전자통신학회논문지
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• 제6권5호
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• pp.697-702
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• 2011

본 논문에서는 유기박막트랜지스터용 절연막에 활용코자 플라즈마중합방법을 이용하여 PMMA 절연막을 제작하였다. 기판의 바이어스인가 및 증착중 압력변화에 따른 전기적특성을 파악한 결과, 플라즈마중합법에 의한 MMA절연막의 증착조건 RF100[W], Ar20[sccm], 5[mtorr], RF bias 20[W] 에서 3.4의 유전율, 8.6[nm/min]의 높은 증착율 및 높은 절연특성을 얻을수 있다. 이처럼 얻어진 플라즈마 중합막은 유기트랜지스터 및 유기메모리의 절연막으로 충분히 활용가능함을 알 수 있다.

• 한국전자통신학회논문지
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• 제8권6호
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• pp.797-803
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• 2013

본 논문에서는 플라즈마 중합법에 의해 유기절연막을 제작 후 이를 이용한 유기박막트랜지스터의 특성향상을 위해 반도체박막의 표면처리를 하였다. 그 결과 반도체층의 $O_2$ 플라즈마을 활용하여 30 [sec]동안 표면처리시 박막의 표면에너지는 $38mJ/m^2$값에서 $72mJ/m^2$값으로 증가되었으며, 이에 따른 유기트랜지스터의 이동도는 평균값 기준하여 29% 증가된 $0.057cm^2V^{-1}s^{-1}$의 값으로 증가된 값을 얻을 수 있었다. 이로부터 반도체박막 표면개질에 의한 유기트랜지스터의 이동도 특성향상이 가능함을 알았다.