• 제목/요약/키워드: patterning process

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팬 아웃 웨이퍼 레벨 패키징 재배선 적용을 위한 유무기 하이브리드 유전체 연구 (Study of Organic-inorganic Hybrid Dielectric for the use of Redistribution Layers in Fan-out Wafer Level Packaging)

  • 송창민;김사라은경
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제25권4호
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    • pp.53-58
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    • 2018
  • 집적회로 소자의 축소가 물리적 한계에 도달 한 이후 3D 패키징, 임베디드 패키징 및 팬 아웃 웨이퍼 레벨 패키징(FOWLP, fan-out wafer level packaging)과 같은 혁신적인 패키징 기술들이 활발히 연구되고 있다. 본 연구에서는 FOWLP의 다층 재배선(redistribution layer)에 사용하기 위한 유무기 하이브리드 유전체 소재의 공정을 평가하였다. 폴리이미드(PI) 또는 폴리파라페닐렌벤조비스옥사졸(PBO)과 같은 현 유기 유전체와 비교하여 폴리실세스키옥산(polysilsesquioxane, PSSQ)라고 불리는 유무기 하이브리드 유전체는 기계적, 열적 및 전기적 안정성을 향상시킬 수 있고, UV 노광을 통하여 경화 공정과 패턴 공정을 동시에 할 수 있는 장점이 있다. 폴리실세스키옥산 용액을 6 인치 Si 웨이퍼에 스핀 코팅한 후 pre-baking과 UV 노광 공정을 이용하여 패턴 및 경화를 진행하였다. 10분의 UV 노광 시간으로 경화와 $2{\mu}m$ 라인 패턴 형성이 동시에 진행됨을 확인하였고, 경화된 폴리실세스키옥산 유전체의 유전상수는 2.0에서 2.4 로 측정되었다. 폴리실세스키옥산 소재를 이용하여 고온 경화 공정없이 UV 노광 공정만으로 경화와 패턴을 할 수 있는 공정 가능성을 보였다.

산지복잡지형과 생태적 비균질성: 산지경관의 생산성과 수자원/수질에 관한 생태계 서비스 평가 (Complex Terrain and Ecological Heterogeneity (TERRECO): Evaluating Ecosystem Services in Production Versus water Quantity/quality in Mountainous Landscapes)

  • 강신규
    • 한국농림기상학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.307-316
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    • 2010
  • 산지복잡지형은 지구표면의 약 20%를 차지하며, 절반 정도의 인류에게 맑은 물을 제공하는 지역이고, 대부분의 주요하천의 발원지로서 국가 혹은 지역 간 사회-경제적 경쟁과 정치적 논란의 대상지역이기도 하다. 산지경관생태계는 우리에게 폭넓은 생태계 생산물과 서비스(맑은 물, 에너지, 식량 및 산림자원 등)를 제공하며, 관광과 휴식활동의 대상으로 크게 부각되고 있다. 이들 지역은 특히 매우 높은 생물다양성과 육상탄소의 주요 저장원이기도 하다. TERRECO사업은 산지복잡지형의 생태계 과정에 대한 이해를 증진하고, 생태계 서비스와 관련한 생태계 기능들을 공간적으로 평가하는 데에 중점을 둔다. 특히 정교한 평가체계를 개발함으로써 산지복잡지형에서의 기후와 토지이용변화에 따른 생태계 서비스 기능의 변화를 정량화할 것이다. 이러한 구도에서 산지복잡지형의 수문학, 수자원, 생산성, 생물다양성, 토양생지화학, 미량가스방출 및 수질 등을 복합적으로 규명하고 있다. TERRECO사업은 총 34개의 세부연구과제로 구성되었으며, 한국산지복잡지형에서의 공동연구를 통해 연구기법의 개발 및 적용을 수행 중에 있다. 세부연구과제들은 산지복잡지형의 경관비균질성에 따른 (1) 물순환과 수자원, (2) 용존유기탄소(DOC), 미세입자상 유기탄소(fPOC), 질소화합물(TN)과 인 함유 물질(TP)의 수송과 수질에 영향을 미치는 탄소와 질소 저장원, (3) 환경적 관심이 높은 미량가스($CO_2$, $N_2O$, $CH_4$)의 포집과 방출, (4) 경관의 생물다양성과 생물다양성에 기인한 생태계 서비스들, 그리고 마지막으로 (5) 농업과 산림 생산성의 차이를 조사하도록 고안하였다. 따라서 TERRECO사업은 한국 산지복잡지형의 생태계 서비스를 조절하는 원리들을 규명하고, 총 34개 세부연구과제의 결과들이 생태계 서비스의 정량적 평가체계를 수립하는 데에 기여하도록 조직화함으로써 새로운 수준의 학제간 정보교환프로그램을 개발하는 데에 기여할 것으로 기대된다.

경관생태계획 모형설정을 위한 기초적 연구 (A Basic Study on Establishment of the Ecological Landscape Planning Model)

  • 나정화;조현주;이현택
    • 한국조경학회지
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    • 제36권4호
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    • pp.48-64
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    • 2008
  • 본 연구는 각종 대규모 개발사업 및 난 개발 등에서 야기되는 경관훼손 문제를 보다 더 효과적으로 대응해 나갈 수 있는 체계화된 경관생태계획 모형을 설정하는데 가장 큰 의의를 두었다. 연구결과는 다음과 같다. 먼저 국내 외 문헌분석 결과, 경관생태계획 모형설정을 위한 계획지표 항목은 자연보호지역의 설정, 습지 비오톱의 관리 및 조성 등 총 60개로 나타났다. 이들을 물리적 지표 항목 중심으로 재설정한 결과 최종적으로 선정된 계획지표 항목은 총 34개로 분석되었다. 사례지 현장조사 결과, 총 17곳의 사례지 내에는 문헌분석에서 도출된 34개의 계획지표들 모두가 출현하고 있는 것으로 나타났다. 또한, 현장조사 과정에서 추가된 계획지표 항목 4개를 포함하여 최종 선정된 계획지표 항목은 총 38개로 나타났다. 세부 계획지표들의 중요도 분석 결과, 대부분 5점 이상으로 비교적 높은 것으로 나타났다. 특히 자연보호지역 설정, 경관보호지역 설정 등은 중요도 값이 6.2 이상으로 매우 높았다. 또한, 세부 계획지표 특성별 유형화를 위해 요인분석을 수행한 결과, '근자연형 생물서식공간의 설치, 복구 및 관리' 등 총 7개의 요인으로 구분되었다. 이상과 같은 세부 계획지표 항목의 유형화 결과 및 중요도 결과 값을 종합 분석하여 1차 경관생태계획 모형을 설정하였다. 1차 모형을 바탕으로 하여 좀 더 체계적인 경관생태계획 모형을 구축하기 위해 '최상 값 선택을 위한 다중비교(MCB)' 분석을 실시하였다. 5가지로 분류된 계획지표 군별 MCB 분석 결과, 각각의 계획지표군 모두에서 최상 값이 확연히 드러나고 있는 것을 확인할 수 있었다. 보전지역, 보완지역 등 총 9가지로 설정된 계획의 기본방향에 대한 중요도 분석 결과, 평균 중요도 참은 보전지역과 보완지역이 각각 4.62와 4.54로 매우 높은 것으로 나타났다. 이상과 같은 1차 모형, MCB 분석 및 계획의 기본방향에 대한 중요도 분석 결과를 종합하여 2차 경관생태계획 모형을 설정하였다. 마지막으로 수직적 전환관계 분석에서 일례로 '보전지역'의 경우 휴양공간 조성을 제외한 모든 계획지표군에서 5.2 이상의 높은 중요도 값을 보였다. 또한, 수평적 연관성 분석의 경우 '추가적 개선, 관리 및 연결조치'와 타 계획지표군과의 연관성 정도는 5.3 이상으로 모두 높은 것으로 나타났으며, 특히 '자연과 경관으로부터 특별히 보호되어야 할 부분'과의 연관성에 관한 중요도는 6.07로 가장 높게 나타났다.