Characteristics of (Ba,Sr)RuO$_3$ Bottom Electrodes by Liquid Delivery Metalorganic Chemical Vapor Deposition
(액체 운반 유기 금속 화학 기상 증착법에 의한 $(Ba,Sr)RuO_3$ 하부전극의 특성)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.11 no.11
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- pp.997-1000
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- 2001