• 제목/요약/키워드: motor current (MC)

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Signal Analysis of Motor Current for End Point Detection in the Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation with Reverse Moat Structure

  • Park, Chang-Jun;Kim, Sang-Yong;Seo, Yong-Jin
    • KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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    • 제2C권5호
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    • pp.262-267
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    • 2002
  • In this paper, we first studied the factors affecting the motor current (MC) signal, which was strongly affected by the systematic hardware noises depending on polishing such as pad conditioning and arm oscillation of platen and recipe, head motor. Next, we studied the end point detection (EPD) for the chemical mechanical polishing (CMP) process of shallow trench isolation (STI) with reverse moat structure. The MC signal showed a high amplitude peak in the fore part caused by the reverse meal. pattern. We also found that the EP could not be detected properly and reproducibly due to the pad conditioning effect, especially when conventional low selectivity slurry was used. Even when there was no pad conditioning effect, the EPD method could not be applied, since the measured end points were always the same due to the characteristics of the reverse moat structure with an open nitride layer.

회전기기의 상태감시 및 결함탐지 시스템 (Condition Monitoring and Fault Diagnosis System of Rotating Machinery)

  • 정성학;이영동
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2016년도 추계학술대회
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    • pp.819-820
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    • 2016
  • 수배전분야는 고압 수배전반, 저압 수배전반, 모터 컨트롤 센터(motor control center; MCC)로 구성되며, MCC는 모터의 운전 및 정지를 할 수 있고, 이상상황 발생 시 비상정지 및 이상 상황에 대한 통보를 할 수 있도록 전자식 모터보호계전기(electronic over current relay; EOCR)가 사용되고 있다. 기존 EOCR은 과전류, 부족전류, 결상, 역상, 전류 불평형, 지락과 같은 전기적 결함 탐지는 가능하지만, 구속보호, 모터 고정자 및 회전자, 베어링 결함과 같은 기계적 결함은 탐지가 어렵다. 본 논문에서는 모터의 전기적, 기계적 결함을 탐지하기 위해 기존 EOCR의 전기적 결함 탐지에 기계적 결함 탐지를 결합하여 회전기기 보호장치를 위한 전기적인 결함과 기계적인 결함을 통합적으로 탐지할 수 있는 시스템을 제안한다. 회전기기 결함탐지를 위한 신호입력부 및 제어부, 시스템 인터페이스, 데이터 획득장치를 설계하였으며, 절연저항 측정, 모터 구속 측정 및 제어, MC 카운터 및 베어링 온도 측정 및 제어를 통해 전기적 결함과 기계적 결함 탐지가 가능하였다.

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유도 전동기 단자전압 전류에 의한 속도계산 및 속도제어에 관한 연구 (A Study on the Speed Calculation and Speed Control Based on the Induction Motor Terminal Quantities)

  • 박민호;설승기
    • 대한전기학회논문지
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    • 제35권10호
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    • pp.445-451
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    • 1986
  • The speed control system of induction motor without speed sensor is proposed in this paper. The speed of induction motor is calculated by motor terminal voltages and currents. The equations for speed calculation are derived and they are implemented on 16bit micro-processor Mc68000. The software and hardware for the Mc 68000 is developed. To prove the validity of the proposed method, the calculated speed is compared with the measured speed. The maximum speed error is nearly 1% in the overall range. The proposed speed calculation method is applied to the Current Source Inverter(CSI) fed induction motor drive system. The experimental results show the good dynamics and the resonable speed control accuracy.

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A New Study on Indirect Vector AC Current Control Method Using a Matrix Converter Fed Induction Motor

  • Lee Hong-Hee;Nguyen Hoang M.
    • Journal of Power Electronics
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    • 제6권1호
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    • pp.67-72
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    • 2006
  • This paper introduces two different types of AC current control methods for an indirect vector controlled induction motor using a matrix converter. The proposed methods combine the advantages of matrix converters with the advantages of the indirect vector AC current control methods. The first proposed method explains the basic idea of the hysteresis current control method for matrix converters and shows its capability and stability in comparison to the conventional method usually used for VSI. With the aid of the special configuration of the matrix converter, we also propose another current method which is modified from the first one in order to reduce both current ripple and torque ripple. Simulation results have verified the feasibility and the effectiveness of the proposed methods.

전류형 인버터에 의해 구동되는 유도전동기의 시간최적 위치제어에 관한 연구 (A Study on Time Optimal Position Control of A CSI Fed Induction Motor)

  • 박민호;원충연
    • 대한전기학회논문지
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    • 제36권8호
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    • pp.529-538
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    • 1987
  • The time optimal position control scheme based on the Pontryagin's minimum principle is proposed in the current source inverter(CSI) fed induction motor system. The field oriented induction motor system is modelled with a second order plant and a switching curve is obtained by solving Hamiltonian equation. The validity of time optimal control solution has been verified by experimental tests carried out with a prototype MC68000 based microcomputer system, and 5Hp induction motor. Experimental results are in a close agreement with those the digital simulation ones.

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자속 기준 제어에 의한 전류형 인버터 구동 유도전동기의 위치제어에 관한 연구 (A Study on Position Control of a Current Source Inverter Fed Induction Motor by Field Oriented Control)

  • 박민호;원충연;나승호
    • 대한전기학회논문지
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    • 제36권4호
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    • pp.267-272
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    • 1987
  • In this paper, field oriented control is applied to a 16 bit micro-processor Mc68000 controlled CSI fed induction motor servo drive. The control of induction motor using the principle of its is able to have the transient performance nearly to that of DC motors in the position control. The software and hardware for the Mc68000 is developed. The position control scheme consists of the field oriented control loop and te speed reference pattern generator. The digital computer simlation and experimental results are provided, close agreement between them is obtained.

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oneM2M 표준 기반 실시간 회전기기 센싱 데이터 수집 및 모니터링 시스템 구현 (Implementation of Data Monitoring and Acquisition System for Real-time Rotating Machinery based on oneM2M)

  • 이영동
    • 융합신호처리학회논문지
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    • 제20권1호
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    • pp.57-62
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    • 2019
  • 본 논문에서는 회전기기의 전압, 전류, 온도, 가속도, 진동 등을 측정 전송할 수 있는 oneM2M 기반의 실시간 회전기기 센싱 데이터 수집 및 모니터링 시스템을 설계하고 구현하였다. 구현된 시스템은 전기적 결함(과전류, 역상, 결상, 지락)과 기계적 결함(MC 카운터, 모터동작시간, 베어링 및 권선온도, 모터 회전수, 절연저항)의 전기 또는 물리적인 현상 측정이 가능하며, 센서데이터 수집, 웹서버, php, 데이터베이스에 데이터 저장, 웹 접속 통한 데이터 모니터링까지 가능하도록 시스템을 구성하였다. 회전기기에서의 기계적 결함을 실험한 결과, 절연저항 및 모터회전수 측정 결과 시험저항 값과 기준 입력값 각각에서 유사한 실험 결과를 보였다.

Filter wheel design for CQUEAN II

  • Kim, Sanghyuk;Pak, Soojong;Lee, Hye-In;Im, Myunshin;Shin, Sang-Kyo
    • 천문학회보
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    • 제39권1호
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    • pp.51.2-51.2
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    • 2014
  • CQUEAN(Camera for QUasars in EArly uNiverse) has been used at the 2.1 m Otto Struve Telescope of the McDonald Observatory since 2010. This camera is optimized at 0.7 - 1.1 um for the survey of Lyman break of high redshift (z > 5) quasars in the early universe. The current system has a filter wheel consist of seven (g', r', I', z', Y, Iz and Is) broad-band filters. We are upgrading this filter wheel to have 20 narrow band filters, with which we can take spectral energy distributions of targets. The new filter wheel consists of interchangeable cartridges for 50 mm square filters, a speed reducer unit, and a step motor. This new design of the large size filter wheel can be applied to other large format CCD cameras.

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다기능 모터보호장치를 위한 시스템 제어기 구현 (Development of the System Controller for Multi Functional Motor Protection)

  • 서지윤;김현수;정성학;정도운
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2016년도 추계학술대회
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    • pp.830-832
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    • 2016
  • 본 연구에서는 일반 산업현장에서 동력원으로 가장 편리하게 사용하고 있는 장치인 모터의 결함을 사전에 모니터링하기위한 연구를 수행하였다. 기존의 EOCR(electronic over Current relays)을 통해 모터의 전기적 결함에 따른 모터보호 및 전기적 결함측정뿐만 아니라 모터의 절연저항, 구동시간, MC(magnet contactor) 접점횟수, 베어링온도측정, 모터회전수 측정 등 전기적 결함과 기계적 결함을 동시에 모니터링 할 수 있는 다기능 모터보호장치를 구현하고자 하였다. 이를 위하여 다기능 모터보호장치의 데이터입력 및 제어장치, 디스플레이 및 인터페이스 장치를 구현하였고, 실제 MCC시스템과의 연동을 통해 동작특성평가를 수행하였다. 인위적인 전기적 결함 및 기계적 결함을 유발시키고 이를 검출하는 모의실험을 수행한 결과 전기적 결함과 기계적 결함 각각에 대해 100% 검출 가능함을 확인하였다.

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만성 뇌졸중 환자를 대상으로 한 일차 체성 감각 피질을 자극한 경두개 직류 전류 자극이 라이프 케어 증진을 위한 체성감각과 상지기능에 미치는 영향 (The Effect of Transcranial Direct Current Stimulation over the Primary Somatosensory Cortex in Patients with Chronic Stroke on Somatosensory and Upper Limb Function for Improving Life Care)

  • 김선호
    • 한국엔터테인먼트산업학회논문지
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    • 제14권6호
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    • pp.269-277
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    • 2020
  • 본 연구의 목적은 감각 결손이 있는 만성 뇌졸중 환자를 대상으로 경 두개 직류 전류 자극을 체성감각피질에 적용했을 때, 감각의 회복과 상지 기능의 회복을 알아보고자 하는 것이다. 만성 뇌졸중 환자 20명을 실험군 10명, 대조군 10명으로 나누어 실시하였다. 실험군은 환측 체성감각피질에 경 두개 직류 전류 자극을 적용하였으며, 대조군은 위상 자극을 실시하였다. 중재는 총 2주간, 10회, 회기 당 20분씩 진행되었다. 체성감각 평가는 The Erasmus MC modifications to the (revised) Nottingham Sensory Assessment(EmNSA), Semmes-Weinstein monofilament examination(SWME), 상지기능 평가는 퍼글마이어평가(FMA), 운동 활동 척도(MAL), 가속도계를 사용하였다. 연구 결과, 실험군은 대조군보다 전체적인 촉각 감각과 고유수용성 감각, 피질 감각, 지각의 민감도에서 유의한 개선을 보였으며, 환측 상지의 사용량에서 통계학적 유의한 차이를 나타냈다. 본 연구 결과를 기반으로 체성감각 회복과 상지기능의 회복을 위한 tDCS의 효과적인 임상 적용의 가능성을 높일 수 있을 것으로 생각된다.