MEMS 부품 제조를 위한 나노 리소그래피 공정의 3차원 분자동력학 해석 (Three Dimensional Molecular Dynamics Simulation of Nano-Lithography Process for Fabrication of Nanocomponents in Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Applications)
-
- 대한기계학회논문집A
- /
- 제27권10호
- /
- pp.1754-1761
- /
- 2003