• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.42 no.11
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• pp.974-980
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• 2014

A power supply of cathode has been developed for hall-effect thruster for small satellite. A microwave cathode has been applied to the electric propulsion system and cathode power is necessary in oder to work securely. Anode current is varied by a flow rate controlled by anode tank pressure. Then cathode current has to be controled in proportion by anode current. So cathode power supply has been designed to offer a current proportional to anode current. Also cathode power has been tuned to work securely for cathode to emit more electron than anode within 0.03A. The function test of cathode power was performed by constructing an equivalent load for anode and cathode. It has been tested in a vacuum chamber in order to ensure a stable operation of the thruster. And it was confirmed that thruster normally has been operated in the space environment after the launch.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.2 no.3
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• pp.60-69
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• 1998

Methane, the major constituent of natural gas, had been converted to higher hydrocarbons by microwave and radio-frequency plasma in vacuum condition. Methane had been activated to plasma by suppling high energy then converted to ethane, ethylene, acetylene. The direct conversion process of methane had produced few by-products and demanded low-energy. The plasma sources were microwave and radio-frequency. Two types of reactor had been used to activate methane. One is common single tubular-type reactor and the other is series coil-type reactor which used for the first time in this study. To produce more C2 products, methane had been converted by a plasma and catalyst. The results of this study could be used to study mechanism of plasma reaction of methane, design the plant-scale reactor.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.261-261
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• 2016

플래시 메모리 (flash memory)는 DRAM(dynamic racdom access memory)이나 SRAM(static random access memory)에 비해 소자의 구조가 매우 단순하기 때문에 집적도가 높아서 기기의 소형화가 가능하다는 점과 제조비용이 낮다는 장점을 가지고 있다. 또한, 전원을 차단하면 정보가 사라지는 DRAM이나 SRAM과 달리 전원이 꺼지더라도 저장된 정보가 지워지지 않는다는 특징을 가지고 있어서 ROM(read only memory)과 정보의 입출력이 자유로운 RAM의 장점을 동시에 가지기 때문에 활용도가 크다. 또한, 속도가 빠르고 소비전력이 작아서 USB 드라이브, 디지털 TV, 디지털 캠코더, 디지털 카메라, 휴대전화, 개인용 휴대단말기, 게임기 및 MP3 플레이어 등에 널리 사용되고 있다. 특히, 낸드(NAND)형의 플래시 메모리는 고집적이 가능하며 하드디스크를 대체할 수 있어 고집적 음성이나 화상 등의 저장용으로 많이 쓰이며 일정량의 정보를 저장해두고 작업해야 하는 휴대형 기기에도 적합하며 가격도 노어(NOR)형에 비해 저렴하다는 장점을 가진다. 최근에는 smart watch, wearable device 등과 같은 차세대 디스플레이 소자에 대한 관심이 증가함에 따라 투명하고 유연한 메모리 소자에 대한 연구가 다양하게 진행되고 있으며 유리나 플라스틱과 같은 기판 위에서 투명한 플래시 메모리를 형성하는 기술에 대한 관심이 높아지고 있다. 전하트랩형 (charge trap type) 플래시 메모리는 플로팅 게이트형 플래시 메모리와는 다르게 정보를 절연막 층에 저장하므로 인접 셀간의 간섭이나 소자의 크기를 줄일 수 있기 때문에 투명하고 유연한 메모리 소자에 적용이 가능한 차세대 플래시 메모리로 기대되고 있다. 전하트랩형 플래시메모리는 정보를 저장하기 위하여 tunneling layer, trap layer, blocking layer의 3층으로 이루어진 게이트 절연막을 가진다. 전하트랩 플래시 메모리는 게이트 전압에 따라서 채널의 전자가 tunnel layer를 통해 trap layer에 주입되어 정보를 기억하게 되는데, trap layer에 주입된 전자가 다시 채널로 빠져나가는 charge loss 현상이 큰 문제점으로 지적된다. 따라서 tunnel layer의 막질향상을 위한 다양한 열처리 방법들이 제시되고 있으며, 기존의 CTA (conventional thermal annealing) 방식은 상대적으로 높은 온도와 긴 열처리 시간을 가지고, RTA (rapid thermal annealing) 방식은 매우 높은 열처리 온도를 필요로 하기 때문에 플라스틱, 유리와 같은 다양한 기판에 적용이 어렵다. 따라서 본 연구에서는 기존의 열처리 방식보다 에너지 전달 효율이 높고, 저온공정 및 열처리 시간을 단축시킬 수 있는 마이크로웨이브 열처리(microwave irradiation, MWI)를 도입하였다. Tunneling layer, trap layer, blocking layer를 가지는 MOS capacitor 구조의 전하트랩형 플래시 메모리를 제작하여 CTA, RTA, MWI 처리를 실시한 다음, 전기적 특성을 평가하였다. 그 결과, 마이크로웨이브 열처리를 실시한 메모리 소자는 CTA 처리한 소자와 거의 동등한 정도의 우수한 전기적인 특성을 나타내는 것을 확인하였다. 따라서, MWI를 이용하면 tunnel layer의 막질을 향상시킬 뿐만 아니라, thermal budget을 크게 줄일 수 있어 차세대 투명하고 유연한 메모리 소자 제작에 큰 기여를 할 것으로 예상한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.256-256
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• 2016

기존의 디스플레이 기슬은 마스크를 통해 특정 부분에만 유기재료를 증착시키는 방법을 사용하였으나, 기판의 크기가 커짐에 따라 공정조건에 제약이 발생하였다. 이를 해결하기 위해 최근 용액 공정에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 용액 공정은 기존 진공 증착 방식과 비교하였을 때 상온, 대기압에서 증착이 가능하며 경제적이고, 대면적 균일 증착에 유리하다는 장점이 있다. 반면, 용액 공정으로 제작한 소자는 시간이 지남에 따라 점차 전기적 특성이 변하는 aging effect를 보인다. Aging effect는 용액에 포함된 C기와 OH기 기반의 불순물의 영향으로 시간의 경과에 따라서 문턱전압, subthreshold swing 및 mobility 등의 전기적 특성이 변하는 현상으로 고품질의 박막을 형성하기 위해서는 고온의 열처리가 필요하다. 지금까지 고품질 박막 형성을 위한 열처리는 퍼니스 (furnace) 장비에서 주로 이루어졌는데, 시간이 오래 걸리고, 상대적으로 고온 공정이기 때문에 유리, 종이, 플라스틱과 같은 다양한 기판에 적용하기 어렵다는 단점이 있다. 따라서, 본 연구에서는 $100^{\circ}C$ 이하의 저온에서도 열처리가 가능한 microwave irradiation (MWI) 방법을 이용하여 solution-processed InGaZnO TFT를 제작하였고, 기존의 열처리 방식인 furnace로 열처리한 TFT 소자와 aging effect를 비교하였다. 먼저, solution-processed IGZO TFT를 제작하기 위해 p type Si 기판을 열산화시켜서 100 nm의 SiO2 게이트 산화막을 성장시켰고, 스핀코팅 방법으로 a-IGZO 채널층을 형성하였다. 증착후 열처리를 위하여 1000 W의 마이크로웨이브 출력으로 15분간 MWI를 실시하여 a-IGZO TFT를 제작하였고, 비교를 위하여 furnace N2 gas 분위기에서 $600^{\circ}C$로 30분간 열처리한 TFT를 준비하였다. 제작된 직후의 TFT 특성을 평가한 결과, MWI 열처리한 소자가 퍼니스 열처리한 소자보다 높은 이동도, 낮은 subthreshold swing (SS)과 히스테리시스 전압을 가지는 것을 확인하였다. 한편, aging effect를 평가하기 위하여 제작 후에 30일 동안의 특성변화를 측정한 결과, MWI 열처리 소자는 30일 동안 문턱치 전압(VTH)의 변화량 ${\Delta}VTH=3.18[V]$ 변화되었지만, furnace 열처리 소자는 ${\Delta}VTH=8.56[V]$로 큰 변화가 있었다. 다음으로 SS의 변화량은 MWI 열처리 소자가 ${\Delta}SS=106.85[mV/dec]$인 반면에 퍼니스 열처리 소자는 ${\Delta}SS=299.2[mV/dec]$이었다. 그리고 전하 트래핑에 의해서 발생하는 게이트 히스테리시스 전압의 변화량은 MWI 열처리 소자에서 ${\Delta}V=0.5[V]$이었지만, 퍼니스 열처리 소자에서 ${\Delta}V=5.8[V]$의 큰 수치를 보였다. 결과적으로 MWI 열처리 방식이 퍼니스 열처리 방식보다 소자의 성능이 우수할 뿐만 아니라 aging effect가 개선된 것을 확인할 수 있었고 차세대 디스플레이 공정에 있어서 전기적, 화학적 특성을 개선하는데 기여할 것으로 기대된다.

• Food Science and Preservation
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• v.30 no.1
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• pp.88-97
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• 2023

As livestock consumption in Korea has been gradually increasing, the quality of the final products has been improved to meet this increased demand. In particular, maintaining the water holding capacity (WHC) and minimizing the drip loss during the thawing of frozen meat are of utmost importance. This study investigated the physicochemical properties of frozen pork subjected to thawing under different conditions: at room temperature (20℃, under air), at a low temperature (4℃ refrigerator, under air), under water (20℃, under water in a vacuum bag), under microwave (microwave-thawing, 260 W), and under low-pressure tumbling (20℃, 0.015 bar, tumbling). The shortest thawing time for frozen pork was recorded upon low-pressure tumbling thus indicating a fast heat transfer. The lowest drip loss (0.2%) and highest WHC (94.5%) were also recorded under this condition. A significantly higher drip loss was observed upon microwave- (1.0%) and water-thawing (1.2%), which resulted in the lowest WHC in microwave thawing (87.2%). The highest total count of aerobic bacteria and coliform group were observed upon room temp thawing while the low pressure tumbling and thawing resulted in the lowest aerobic bacteria (1.90 log CFU/g) and coliform (0.78 log CFU/g) count. Consequently, thawing by low pressure tumbling afforded the best food quality.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.31 no.3
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• pp.631-637
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• 1999

An investigation was carried out to study the effects of aging time, storage temperature, and drying type on the physical, chemical and sensory properties of Korean rice cake. Water content and cooking properties were significantly influenced by aging time and storage temperature. However, aging time did not affect the soup turbidity. Difference in water content was noticeable by drying type. The microwave treated rice cake (MW) showed a higher water content than the other ones. The lightness (L-value) was not affected by the aging time and drying type. Rice cake storaged at 4oC showed the highest L-value. The textural properties of rice cake were influenced by the all sources of variables. There was a significant difference in hardness between microwave and hot air treated rice cake (MWH), and microwave and vacuum treated rice cake (MWV). In the sensory properties, mean intensities of all attributes except chewiness were significantly different among drying types. The MWV showed a higher acceptability than the MW and the MWH. Scanning electron photomicrographs revealed that the MWV has more porous structure. The MWV was the most desirable one as determined by the physical, chemical and sensory evaluation.

• ANNALS OF ANIMAL RESOURCE SCIENCES
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• v.29 no.4
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• pp.183-190
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• 2018

This study was conducted to evaluate the acceptability of cured cooked boneless chicken drumettes as a raw material for Chuncheon Dakgalbi and to observe its effect on pH, lipid oxidation, volatile basic nitrogen (VBN) content and total viable count (TVC) during refrigerated storage under vacuum. Boneless chicken drumettes were dry cured with a mixed curing agent (0.20% w/w) consisting of sodium chloride (93.1%), sodium nitrite (5.9%) and sodium bicarbonate (1.0%) for 24 h at $2{\pm}2^{\circ}C$. Cured samples were cooked using an oven at $150^{\circ}C$ for 20 min and stored at $5.5{\pm}0.5^{\circ}C$ for 60 days under vacuum. Non-cured cooked sample was used as a control. Sensory evaluation was performed on day 2 of storage using 22 untrained panelists and samples were mixed with Dakgalbi sauce and reheated using a microwave for 2 min. There were no significant differences between control and treatment group on appearance, flavor, texture, juiciness and overall acceptability. Cured cooked boneless chicken drumettes had significantly (p<0.05) higher pH, lower lipid oxidation, VBN and TVC consistently during storage in comparison with control. These results suggest that dry curing could be applied to boneless chicken drumettes as raw material for Chuncheon Dakgalbi and could extend its shelf life during refrigerated storage under vacuum.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.148-148
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• 2012

A cutoff probe is the novel diagnostic method to get the absolute plasma density with simple system and less assumption. However, high density of ion flux from plasma on probe tip can make the error of plasma density measurement because the dielectric material of probe tip can be damaged by ion flux. We proposed a shielded cutoff probe using the ceramic tube for protection from ion flux. The ceramic tube on probe tip can intercept the ion flux from plasma. The transmitted spectrum using the shielded cutoff probe is good agreement with E/M wave simulation result (CST Microwave Studio) and previous circuit simulation of cutoff probe [1]. From the analysis of the measured transmitted spectrum base on the circuit modeling, the parallel resonance frequency is same as the unshielded cutoff probe case. The obtained results of electron density is presented and discussed in wide range of experimental conditions, together with comparison result with previous cutoff method.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.127-127
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• 2012

나노결정질 다이아몬드(Nanocrystalline Diamond: NCD) 박막은 고경도와 낮은 마찰계수를 가지고 있어 고속도강과 같은 절삭공구 위에 코팅하여 공구의 성능 향상을 도모하고자 하는 노력이 있어 왔다. 그러나 NCD 박막의 잔류응력이 크고, 철계금속에는 NCD가 증착되지 않는다는 문제점이 있다. 잔류응력 완화와 다이아몬드 핵생성을 위하여 제3의 중간층 재료가 필요하다. 본 연구에서는 Ti과 W을 중간층으로 하여 고속도강(SKH51)에 NCD 박막을 코팅하고 기계적 특성을 비교하였다. 고속도강 위에 DC 마그네트론 스퍼터를 이용하여 2 ${\mu}m$ 두께의 Ti 또는 W 중간층을 증착하고, 그 위에 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition (MPCVD) 방법으로 NCD 박막을 2 ${\mu}m$ 두께로 코팅 한 것과 Ti, W순으로 각각 1 ${\mu}m$ 두께로 증착 후 그 위에 NCD 박막을 2 ${\mu}m$ 두께로 코팅 한 시편을 비교하였다. 세 가지 종류의 시편에 대하여 FESEM을 이용하여 표면과 단면의 형상을 관찰하였고, XRD와 Raman spectroscopy를 통해 NCD 박막의 결정성을 확인하였다. 그리고 Tribometer를 이용해 코팅된 박막의 내마모성을 비교하였으며 Rockwell C Indentation test를 이용하여 접합력을 비교하였다. 연구 결과 Ti/W 복합중간층 위에 코팅된 NCD의 접합력이 가장 우수하였으며 그 다음 W, Ti 순으로 나타났다. NCD와 고속도강의 큰 열팽창계수 차이가 복합중간층으로 인해 줄어들고 잔류응력이 완화되어 접합력이 향상되는 것으로 여겨진다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.274-274
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• 2012

We have researched on controlling an electron temperature and a plasma collision frequency to study the effect of collisions on helicon plasmas. So, we have designed and constructed an electron cyclotron resonance (ECR) heating system in the helicon device as an auxiliary heating source. Since then, we have tried to optimize experimental designs such as a magnetic field configuration for ECR heating and 2.45GHz microwave launching system for its power transfer to the plasma effectively, and have characterized plasma parameters using a Langmuir probe. For improving an efficiency of the ECR heating with R-wave in the helicon plasma, we would understand an effect of R-wave propagation with ECR heating in the helicon plasma, because the efficiency of ECR heating with R-wave depends on some factors such as electron temperature, electron density, and magnetic field gradient. Firstly, we calculate the effect of R-wave propagation into the ECR zone in the plasma with those factors. We modify the magnetic field configuration and this system for the effective ECR heating in the plasma. Finally, after optimizing this system, the plasma parameters such as electron temperature and electron density are characterized by a RF compensated Langmuir probe.