• 한국정밀공학회지
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• 제23권1호
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• pp.32-40
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• 2006

• 소음진동
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• 제11권1호
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• pp.132-140
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• 2001

The vibratory gyroscope can effectively measure the angular velocity as the oscillating and position-sensing mode are exactly tuned. The veering Phenomenon impedes the exact tuning, which is caused by the mode coupling of two modes. In this paper, the gyroscope's structure with two frames is introduced to minimize the veering phenomenon that destabilizes the tuning process of oscillating and position-sensing mode. Experimental results show that the Proposed structure can achieve the mode intersection without veering phenomenon.

• 오토저널
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• 제14권3호
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• pp.12-25
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• 1992

본 연구에서는 우선 자동차 전장품 시장팽창의 배경과 요인을 추적함으로써 자동차 전장기능시스템과 센서의 중요성을 입증하고, 전장기능시스템 구성에 필요한 센서의 종류, 시장 및 요구특성을 분석한다. 그후, 자동차용 센서의 요구특성을 만족시킬수 있는 제작기술로써 두종류의 반도체 미세가공(micromachining) 기술을 소개하고, 이들 각각의 기술이 내포하고 있는 특성을 비교, 정리한다. 이어, 반도체 미세가공 기술에 의해 제작된 자동차용 반도체 센서와 마이크로 엑튜에이터들을 소개하고, 일련의 개발예를 통하여 각각의 형태와 기능면에서의 발전경향을 진단하며, 나아가 관련 핵심기술의 중요성과 기술발전의 방향의 전망을 통하여 조기기술 확보의 필요성과 관련업계의 역할, 그리고 기술 성숙요건을 제시한다.

• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 제어로봇시스템학회 1996년도 한국자동제어학술회의논문집(국내학술편); 포항공과대학교, 포항; 24-26 Oct. 1996
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• pp.56-60
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• 1996

This paper presents the initial results of development of a inertial navigation grade silicon pendulous accelerometer. This effort focused on developing a bulk-micromachined silicon pendulum and designing a PI-servo controller. Performance data presented in this paper includes threshold, bias short term stability and nonlinearity of scale factor. This accelerometer developed is demonstrated the feasibility of meeting one-nautical-mile-per-hour accuracy.

• 한국전자파학회:학술대회논문집
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• 한국전자파학회 2000년도 종합학술발표회 논문집 Vol.10 No.1
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• pp.109-112
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• 2000

본 논문은 마이크로머시닝 기술을 이용한 밀리미터파 대역의 공진기 설계를 제시한다. 밀리미터파 대역에서 3D 설계 tool인. HP HFSS ver. 5.5를 사용하였다. One-port cavity 공진기는 공진 주파수가 39.34 GHz., 반사 손실은 14.5 dB, 그리고, loaded Q (Q$_1$)는 150 을 보인다. Two-port cavity 공진기의 경우, 공진 주파수는 39GHz이고, 삽입 손실과 반사 손실은 각각 4.6 dB 와 19.8 dB. 그리고 loaded Q와 unloaded Q는 각각 44.3과 107로 측정되었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1997년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.1058-1062
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• 1997

Development of laser induced chemical etching technologt with KrF laser are carried out in this study for micromachining of silicon wafer. The paper is devoted to experimental identification of excimer laser induced mechanism of silicon under chlorine pressures(0.02~500torr). Experimental results on pulsed KrF excimer laser etching of silicon in chorine atmosphere are presented. Etching rate dependency on laser fluence and chlorine pressure are discussed on the basis of experimental analysis, it is concluded that accurate digital micro machining process of silicon wafer can achieved by KrF laser induced chemical etching technology.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.877-878
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• 2009

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 1999년도 추계종합학술대회 논문집
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• pp.905-908
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• 1999

In this paper, we present a polysilicon actuator on silicon wafer using surface micromachining technology which employs an electrostatic stepwise driven Scratch Drive Actuator to generate a force that can move an external object. For optical applications, we propose wavelength selector using distributed feedback structures and this micro actuator.

• 한국광학회지
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• 제27권5호
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• pp.188-188
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• 2016

• 한국기계가공학회지
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• 제11권2호
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• pp.20-26
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• 2012

Recently, micromilling process has been progressed to meet the variety of the industry demands in micromolds and precision components. As a result, more and more commercialized micro tools and machines become available during last few years. This paper reviews the recent progress of micromilling technology in last five years. The results in process, machine tools, and micro tool fabrications are discussed.