• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2012년도 추계학술대회 논문집
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• pp.157-158
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• 2012

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.235-236
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• 2013

• 기계저널
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• 제33권6호
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• pp.484-498
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• 1993

마이크로머신의 기술은 빠른 속도로 진보되고 있으며 광학관계를 비롯해서 생명, 유체, 표면과학 등에의 응용도 유망하고 응용 제품이 만들어지는 날도 가까워지고 있다. 여기서 소개한 반도체 기술을 바탕으로 한 접근 방법 외에 정밀기계 가공을 이용하여 mm 크기의 기계를 만들거나, 분자기계를 유전자공학의 수법으로 만들려고 하는 시도 등 여러 가지 접근 방법도 행해지고 있 으며 앞으로의 발전이 한층더 기대된다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.427-428
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• 2008

• 한국정밀공학회지
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• 제19권10호
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• pp.31-36
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• 2002

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1991-1993
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• 1996

This paper describes a standardized micromachinung project (SMP) performed at Seoul National University (SNU). The SNU SMP uses a 3-mask, 2-polysilicon surface micromaching process. The entire process is performed at SNU Inter-University Semiconductor Research Institute(ISRC). In this first SNU SMP attemp, 16 $1cm^2$ cells containing different designs were fabricated.

• 전기의세계
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• 제42권11호
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• pp.14-18
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• 1993

마이크로 모터는 미소기계장치에서 중요한 actuator가 될 수 있음은 물론 자체로도 여러가지 응용을 생각할 수 있다. 여컨대 밀폐시킨 캡슐내에 마이크로모터를 제작하고 그 회전수를 조절함으로써 통로를 지나는 기체나 액체증의 유량을 조절하는 미세유량조절기를 제작할 수 있을 것이다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.257-258
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• 2007

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.23-24
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• 2007

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2004년도 제15회 정기총회 및 동계학술발표회
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• pp.106-107
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• 2004