• 제목/요약/키워드: micro step response

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압전 구동기와 레버 링키지를 이용한 6 자유도 스테이지의 비선형성 평가에 기초한 정밀 위치 제어기의 설계 (Precision Position Controller Design for a 6-DOF Stage with Piezoelectric Actuators and Lever Linkages Based on Nonlinearity Estimation)

  • 문준희;이봉구
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제33권10호
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    • pp.1045-1053
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    • 2009
  • Precision stages for 6-DOF positioning, actuated by PZT stacks, which are fed back by gap sensors and guided by flexure hinges, have enlarged their application territory in micro/nano manufacturing and measurement area. The precision stages inherently have such limitations as the nonlinearity between input and output in piezoelectric stacks, feedback signal noise in precision capacitive gap sensors and low material damping in precision kinematic linkages of mechanical flexures. To surmount these limitations, the precision stage is modeled with physics-based variables, which are identified by transient response correspondence, and a gain margin calculation algorithm using the Prandtl-Ishlinskii model and describing function is newly developed to assess system performance more precisely than linear controller design schemes. Based on such analyses, a precision positioning controller is designed. Excellent positioning accuracy with rapid settlement accomplished by the controller is shown in step responses of the closed-loop system.

유정압안내면 운동오차보정용 능동제어모세관의 기본특성 (Basic Characteristics of an Active Controlled Capillary for Compensating the Error Motion of Hydrostatic Guideways)

  • Song, Y.C.;Park, C.H.;Kim, S.T.
    • 한국정밀공학회지
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    • 제14권8호
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    • pp.130-136
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    • 1997
  • For compensating the error motion of hydrostatic guideways, we introduce a way that the clearance of table is actively controlled corresponding to the amount of error with the variable capillary. The structure and the theoretical design method of active controlled capillary using piezo actuator, named ACC, are proposed in this paper. Basic characteristics such as the maximum controllable range, micro step response and available dynamic bandwidth are tested for confirmation of structural suitability of ACC, and these characteristics are also tested on the table mounted with ACC for verifying the availability. The experimental result showed that by the use of ACC, the error motion within 2.7 .mu. m of a hydrostatic guideway can be compensated with the resolution of 2.7nm, 1/100 contollable range, and the frequency bandwidth of 5.5 Hz. From these results, it is confirmed that the ACC is very effective to improve the motion accuracy of high or ultra precision hydrostatic guideways.

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리니어 초음파 모터를 이용한 X-Y stage의 마이크로 미터급 위치 구동회로 설계 (Design of Micro-meter Position Driver for X-Y Stage Using Linear Ultrasonic Motor)

  • 김정도;홍철호;김동진;함유경
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제6권2호
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    • pp.165-171
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    • 2005
  • 초음파 모터는 전자기식 모터들과는 달리 다양한 특징과 뛰어난 성능을 가진 새로운 형태의 모터이다. 그러나, 초음파 모터는 특히 구동시간에 따라 시스템의 비선형적인 특성과 파라미터의 변화들에 대한 문제를 갖는다. 그러므로 기존의 PID제어기를 사용함으로써 만족스러운 제어기의 성능을 내기가 어렵다. 본 논문에서는 원환형 초음파 모터와 선형 초음파 모터의 정밀 제어를 하기 위해 구동시간에 따른 응답 시간과 변화 등의 특성을 각각 분석하고, 리니어 초음파 모터에 대해서는 ${\mu}m$정도의 오차를 갖는 스텝 제어기와 PD제어기를 결합한 제어기를 제안한다. 제안된 제어기의 성능은 제어를 하지 않고 구동 시에 측정된 슬립 오차와 제안된 제어기를 사용하여 구동 시 측정된 슬립 오차를 비교하여 평가하였다. 실험 결과 스텝 제어기를 사용한 리니어 초음파 모터의 슬립오차는 $10{\mu}m$이하로 우수한 성능을 입증하였다.

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철근 콘크리트 빔의 노화도 평가를 위한 음향방출 기술의 응용 (Application of Acoustic Emission for Assessing Deterioration in Reinforced Concrete Beams)

  • 윤동진;박휘립;이승석
    • 비파괴검사학회지
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    • 제20권4호
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    • pp.276-284
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    • 2000
  • 콘크리트 구조물의 노화도 평가를 위한 기초 연구로써 철근 및 무근 콘크리트 빔의 4점 굽힘 시험시 발생하는 음향방출 신호의 발생 거동을 관찰하였다. 본 연구는 미세 균열의 전개, 국부 균열의 진전, 부식, 철근의 박리 등 균열 발생 및 손상기구에 대한 AE 특성 고찰에 주안점을 두었다. 이들 각각의 손상 메카니즘을 모사하기 위해 무근 콘크리트, 노치를 가공한 무근 콘크리트, 정상적인 철근 콘크리트 그리고 부식된 철근 콘크리트 빔을 제작하였다. 손상 정도 및 펠리시티 효과(Felicity effect)를 관찰하기 위해 4점 굽힘 시험시 단계별 하중 증가 방식을 택하였다. AE 파형은 물론 AE event에 대한 발생 특성을 분석하였으며, 노화도 평가에 주요한 영향을 미치는 주요 변수들에 대해 조사하였다. AE event 발생의 누계치 및 Felicity ratio값 등은 손상의 정도에 따라 민감하게 변하는 것을 관찰하였으며, 노화도와도 상관관계가 있음을 확인하였다. 결과적으로 본 연구에서 얻은 AE 분석 기술은 철근 콘크리트 구조물의 균열이나 부식 손상과 같은 노화도 평가를 위해 적용할 수 있는 가능성을 제시하였다.

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마이크로프로세서에 의해 제어되는 연료전지용 전력변환 회로 설계 (A Design of Power Converter for Fuel Cell Controlled by Micro-Processor)

  • 원충연;장수진;이원철;이태원;김수석
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제18권5호
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    • pp.61-68
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    • 2004
  • 최근, 연료전지는 새로운 발전시스템으로 주목받고 있다. 연료전지는 저전압/대전류의 전기적 특성을 가진다. 그러므로 일반 상용부하에 적용하기 위해서는 승압용 컨버터와 인버터가 필요하다. 제안된 시스템은 연료전지의 전압을 380[Vdc]로 승압하기 위한 절연형 DC-DC 컨버터와 단상 220[Vac]로 변환하기 위한 LC 필터를 가진 PWM 인버터로 구성된다. 또한, 연료전지 발전시스템용 양방향 DC-DC 컨버터는 부하 응답 특성을 개선시키기 위하여 구성하였다. 본 논문에서는 풀 브리지 컨버터와 단상 인버터를 설계하고 제작하였으며, 시뮬레이션과 실험을 통해 연료전지 발전 시스템이 분산전원에 적용이 가능함을 보여준다.

지반내 입자거동 및 흐름을 고려한 수압작용 모델링 (Fluid Injection Simulation Considering Distinct Element Behavior and Fluid Flow into the Ground)

  • 전제성;김기영
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제24권2호
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    • pp.67-75
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    • 2008
  • 개별요소방법은 재료의 미시적 거동 및 불연속적 거동과 관련하여 지반공학 분야에서 그 활용이 증가하고 있으나, 기존 개별요소 방법들은 입자형태의 재료들간 상호작용을 위주로 연구되었으며, 이는 지반공학 분야에 개별요소 방법을 제한적으로 적용하는 주요 원인이 되었다. 최근 기존 개별요소 방법에 흙, 암반 및 투수성 매질에서의 물 흐름을 고려한 수리연동 기법의 적용연구(Kawaguchi et al., 2003; Shimizu, 2004)가 진행되고 있다. 본 연구에서는 기존 개별요소방법에 수리연동 기법을 적용하여 수압조건별 지반의 공동생성 및 확장에 대한 수치해석을 실시하였다. 직사각형 해석요소에 입자크기와 초기 간극률 조건에 대한 개별요소 및 경계면 생성 후, 서보 제어방법을 통한 경계면 응력조건을 구현하였다. 수리거동의 고려는 연속방정식과 Navier-Stokes 방정식을 이용하여 압력과 속도를 구한 후, 입자와 유수간의 상호작용을 풀어가는 방식(Tsuji, 1993)으로 수행하였다. 구속압 조건($0.1MP{\alpha},\;0.5MP{\alpha}$)에 대하여 해석모델 중앙지점에 7단계로 증가되는 수평방향 유속을 재하하고, 재하지점 인근의 개별요소 이동 및 지점별 유량, 유속, 압력, 경계면 응력변화 등을 분석하였으며, 해석조건에 따라 개별요소와 수리 영향의 상호거동을 통한 공동생성 및 확장, 한계압력 발생 등을 확인하였다.