압전 구동기와 레버 링키지를 이용한 6 자유도 스테이지의 비선형성 평가에 기초한 정밀 위치 제어기의 설계 (Precision Position Controller Design for a 6-DOF Stage with Piezoelectric Actuators and Lever Linkages Based on Nonlinearity Estimation)
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- 대한기계학회논문집A
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- 제33권10호
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- pp.1045-1053
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- 2009