• 제목/요약/키워드: metal line

검색결과 930건 처리시간 0.025초

Chemical vapor deposition of $TaC_xN_y$ films using tert-butylimido tris-diethylamido tantalum(TBTDET) : Reaction mechanism and film characteristics

  • Kim, Suk-Hoon;Rhee, Shi-Woo
    • 한국재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국재료학회 2009년도 추계학술발표대회
    • /
    • pp.24.1-24.1
    • /
    • 2009
  • Tantalum carbo-nitride($T_aC_xN_y$) films were deposited with chemical vapor deposition(CVD) using tert-butylimido tris-diethylamido tantalum (TBTDET, $^tBu-N=Ta-(NEt_2)_3$, $Et=C_2H_5$, $^tBu=C(CH_3)_3$) between $350^{\circ}C$ and $600^{\circ}C$ with argon as a carrier gas. Fourier transform infrared (FT-IR)spectroscopy was used to study the thermal decomposition behavior of TBTDET in the gas phase. When the temperature was increased, C-H and C-N bonding of TBTDET disappeared and the peaks of ethylene appeared above $450^{\circ}C$ in the gas phase. The growth rate and film density of $T_aC_xN_y$ film were in the range of 0.1nm/min to 1.30nm/min and of $8.92g/cm^3$ to $10.6g/cm^3$ depending on the deposition temperature. $T_aC_xN_y$ films deposited below $400^{\circ}C$ were amorphous and became polycrystal line above $500^{\circ}C$. It was confirmed that the $T_aC_xN_y$ film was a mixture of TaC, graphite, $Ta_3N_5$, TaN, and $Ta_2O_5$ phases and the oxide phase was formed from the post deposition oxygen uptake. With the increase of the deposition temperature, the TaN phase was increased over TaC and $Ta_3N_5$ and crystallinity, work function, conductivity and density of the film were increased. Also the oxygen uptake was decreased due to the increase of the film density. With the increase of the TaC phase in $T_aC_xN_y$ film, the work function was decreased to 4.25eV and with the increase of the TaN phase in $T_aC_xN_y$ film,it was increased to 4.48eV.

  • PDF

표면 미세가공에서 Al 전극 및 Al 미세 구조물 제작을 위한 습식 식각 공정 (Wet Etch Process for the Fabrication of Al Electrodes and Al Microstructures in Surface Micromachining)

  • 김성운;백승준;이승기;조동일
    • 센서학회지
    • /
    • 제9권3호
    • /
    • pp.224-232
    • /
    • 2000
  • 표면 미세가공 공정에서 Al 공정을 이용하면 Al 전극의 제작에 의해 접촉 저항이나 선 저항 등을 줄여 전기적인 신호 손실을 줄일 수 있고, 산화막을 희생층으로 사용하는 간단한 공정에 의해 Al 구조물 제작이 가능한 장점을 지닌다. 그러나 실제 공정에서는 Al 전극이나 Al 구조물이 희생층 제거 시에 사용되는 HF 용액에 의해서 부식되는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 사용되는 희생층 식각액인 BHF/glycerine 혼합 용액에 대한 PSG와 Al의 기본적인 식각 특성은 표면 미세가공에서 발생하는 구조적인 제한 조건에 따라 상당히 달라진다. 본 논문에서는 이러한 희생층의 구조적 특성과 Al 박막의 증착 표면 거칠기의 변화로 인한 식각 특성의 변화를 고려하여 실제로 표면 미세가공에 적용 가능한 혼합 용액의 조건을 조사하였다. 희생층 식각 조건변화에 따른 BHF/glycerine 혼합용액의 최적 혼합비는 $NH_4F$:HF:glycerine=2:1:2에서 가장 좋은 식각 선택비를 보이는 것으로 나타났으며 이 실험 결과를 실제 Al 전극 제작에 적용한 결과 Al 패턴이 희생층 식각액에 대해서 우수한 내식성을 보였다. 또한 Al의 식각액에 대한 내식성을 향상시키기 위하여 CMP 공정을 도입하여 증착 표면을 개선시켰으며 이를 Al 구조물의 제작에 적용하여 식각 특성을 분석하였다. 이러한 분석을 통해 본 논문에서 제시한 식각 조건을 이용하면 Al 전극과 Al 구조물을 표준적인 표면 미세가공 공정을 통하여 간단하게 제작할 수 있다.

  • PDF

LED 색광의 음영구역에 대한 살오징어의 행동반응 및 LED 집어등의 어획성능 (Catching efficiency of LED fishing lamp and behavioral reaction of common squid Todarodes pacificus to the shadow section of color LED light)

  • 안영일;정학근
    • 수산해양기술연구
    • /
    • 제47권3호
    • /
    • pp.183-193
    • /
    • 2011
  • This study made a comparative analysis of behavioral reaction of squid to red (624nm), green (524nm), blue (460nm) & white LED light, its arrival time for the shadow section by making the shadow section in the central section of a water tank just like the bottom part of a squid jigging vessel, and on-site catching efficiency of LED fishing lamp with control fishing vessel. The color LED light showing the highest squidgathering rate as against the shadow section was found to be blue LED light with 39.3% rate under the dark (0.05lx) condition. Under the brighter condition than 0.05lx, white LED light was found to have the highest gathering rate of 41.5%. In addition, it was found that squid gathering rate was high at the shadow section which showed 6.3-fold brightness difference between the shadow section and bright section. As for the arrival time for the shadow section, blue LED light was found to be the fastest in attracting squids in 192.7 seconds under the dark condition while the red LED light was the fastest in luring squids in 164.6 seconds under the bright condition. The ratio of the squid-jigging operation and sailing in fuel consumption of the fishing vessel loaded with LED fishing lamp is about 7 to 1, showing most of the fuel is consumed more in sailing than in squid-jigging operation. As for a catch of squid, the control vessel loaded with MH (Metal Halide) fishing lamp had more catch of 600-7,080 squids than the vessel loaded with LED fishing lamp having a catch of 260-1,700 squids. In addition, even in the comparison of a catch per automatic jigging machine, the catch of the vessel loaded with MH fishing lamp excelled that of the vessel loaded with LED fishing lamp in 6 operations of squid jigging out of 9 operations. The ratio of hand-jigging and automatic jigging machine (one line) in the LED fishing lamp vessel was 1:1.1 excepting the case of having a catch only using an automatic jigging machine, showing almost the same with each other in catches, while in case of a MH fishing lamp vessel, its ratio against hand-jigging was 1 to 5.8, showing hand-jigging excelled in catches.

금속용사와 도장의 복합피복방식법에 대한 실험적 내후성능평가 (Experimental Evaluation of Weathering Performance for Duplex Coating Systems Combining Thermal Spraying Metals and Painting)

  • 김인태;전제형;차기혁;정영수;안진희
    • 한국강구조학회 논문집
    • /
    • 제28권5호
    • /
    • pp.373-382
    • /
    • 2016
  • 도장 또는 금속용사는 강구조물의 방식에 널리 사용되고 있으며, 금속용사와 도장의 복합방식법은 혹독한 부식환경하에 놓인 강구조물에 고내후성 피복방식법으로 적용되고 있다. 본 연구에서는 아연(Zn), 아연-알루미늄(ZnAl)합금, 알루미늄(Al), 알루미늄-마그네슘(AlMg)합금의 4종류 금속용사 후 실링 처리한 시편, 4종류 금속용사 후 중방식 도장한 시편과 도장만 실시한 시편을 대상으로 175일간의 ISO 20340 부식촉진실험을 실시하여, 각 방식법의 상대적인 내후성능을 비교, 검토하였다. 강재표면까지 도달하는 원형 및 선형 초기결함으로부터의 표면상태 변화 및 도막의 노화면적에 근거한 내후성능의 평가 결과, 금속용사 후 실링 처리한 시편의 경우에는 알루미늄(Al) 및 알루미늄-마그네슘(AlMg)금속용사 후 실링 처리한 시편이 가장 우수한 내후성능을 보였으며, 금속용사 후 도장을 실시한 금속용사와 도장의 복합방식법의 경우에는 아연(Zn)용사에 도장을 실시한 복합방식 시편이 가장 우수한 내후성능을 나타내었다.

Mercuric Chloride에 의한 MDCK 세포의 세포사멸 (Mercuric Chloride Induces Apoptosis in MDCK Cells)

  • 이주형;염정호;권근상
    • Journal of Preventive Medicine and Public Health
    • /
    • 제39권3호
    • /
    • pp.199-204
    • /
    • 2006
  • Objectives: Mercury is a hazardous organ-specific environmental contaminant. It exists in a wide variety of physical and chemical states, each of which has unique characteristics for the target organ specificity. Exposure to mercury vapor and to organic mercury compounds specifically affects the CNS, while the kidney is the target organ for inorganic Hg compounds. Methods: In this study, mercury chloride $(HgCl_2)$ was studied in a renal derived cell system, i.e., the tubular epithelial Madin-Darby canine kidney (MDCK) cell line, which has specific sensitivity to the toxic effect of mercury. MDCK cells were cultured for 6-24 hr in vitro in various concentrations (0.1-100 M) of $HgCl_2$, and the markers of apoptosis or cell death were assayed, including DNA fragmentation, caspase-3 activity andwestern blotting of cytochrome c. The influence of the metal on cell proliferation and viability were evaluated by the conventional MTT test. Results: The cell viability was decreased in a time and concentration dependent fashion: decreases were noted at 6, 12 and 24 hr after $HgCl_2$, exposure. The increases of DNA fragmentation were also observed in the concentrations from 0.1 to 10 M of $HgCl_2$ at 6 hr after exposure. However, we could not observe DNA fragmentation in the concentrations more than 25 M because the cells rapidly proceeded to necrotic cell death. The activation of caspase-3 was also observed at 6 hr exposure in the $HgCl_2$ concentrations from 0.1 to 10 M. The release of cytochrome c from the mitochondria into the cytosol, which is an initiator of the activation of the caspase cascade, was also observed in the $HgCl_2-treated$ MDCK cells. Conclusions: These results suggest that the activation of caspase-3 was involved in $HgCl_2-induced$ apoptosis. The release of cytochrome c from the mitochondria into the cytosol was also observed in the $HgCl_2-treated$ MDCK cells. These findings indicate that in MDCK cells, $HgCl_2$ is a potent inducer of apoptosis via cytochrome c release from the mitochondria.

3차원 프린팅 기술을 이용한 차폐체 제작 및 유용성 평가 (Usefulness Evaluation and Fabrication of the Radiation Shield Using 3D Printing Technology)

  • 장희민;윤준
    • 한국방사선학회논문지
    • /
    • 제13권7호
    • /
    • pp.1015-1024
    • /
    • 2019
  • 최근 의료분야에서 X선은 질병의 진단 및 치료영역에서 필수적으로 요구되며, 영상의학 기술의 발전과 더불어 X선의 이용은 지속적으로 증가하는 추세지만, X선은 방사선 피폭의 단점을 가지고 있다. 방사선피폭을 방어하기 위해 임상에서는 납 방호도구를 사용하지만 납은 중금속으로 분류되어 납중독 등 인체에 유해한 반응을 일으킬 수 있다. 따라서 본 연구는 FDM(Fused Deposition Modeling)방식의 3차원 프린터의 재료를 이용하여 제작한 차폐체의 유용성을 알아보고자 한다. 필라멘트의 선감약계수를 확인하기 위해 PLA, XT-CF20, Wood, Glow, Brass를 이용해 팬텀을 제작 하고, CT scan을 하였다. 그리고 100 × 100 × 2 mm 크기의 차폐 시트를 모델링하고, 진단용 X선발생장치와 조사선량계를 이용하여 선량 및 차폐율을 측정하였으며, 납 방호도구와의 차폐율을 비교하였다. 실험결과 Brass의 CT number가 가장 높게 측정되어 Brass를 이용하여 차폐시트를 제작하였으며, 진단용 X선발생장치로 확인한 결과 100 kV, 40 mAs 조건으로 X선 조사 시 6 mm 두께의 차폐시트에서 차폐율이 90 % 이상으로 측정되어 apron 0.25 mmPb보다 차폐율이 높은 것을 확인하였다. 본 연구의 결과 3차원 프린팅 기술로 제작한 차폐체가 진단용 X선 영역에서 높은 차폐율을 보이는 것을 확인하였으며, 납 방호도구와의 비교를 통하여 납을 대체하여 방사선 방호도구로서의 가능성을 알 수 있었다.

Effect of Lead(IV) Acetate on Procoagulant Activity in Human Red Blood Cells

  • Kim, Keun-Young;Lim, Kyung-Min;Shin, Jung-Hun;Noh, Ji-Yoon;Ahn, Jae-Bum;Lee, Da-Hye;Chung, Jin-Ho
    • Toxicological Research
    • /
    • 제25권4호
    • /
    • pp.175-180
    • /
    • 2009
  • Lead (Pb) is a ubiquitously occurring environmental heavy metal which is widely used in industry and human life. Possibly due to a global industrial expansion, recent studies have revealed the prevalent human exposure to Pb and increased risk of Pb toxicity. Once ingested by human, 95% of absorbed Pb is accumulated into erythrocytes and erythrocytes are known to be a prime target for Pb toxicity. Most of the studies were however, focused on $Pb^{2+}$ whereas the effects of $Pb^{4+}$, another major form of Pb on erythrocytes are poorly understood yet. In this study, we investigated and compared the effects of $Pb^{4+}$, $Pb^{2+}$ and other heavy metals on procoagulant activation of erythrocytes, an important factor for the participation of erythrocytes in thrombotic events in an effort to address the cardiovascular toxicity of $Pb^{4+}$. Freshly isolated erythrocytes from human were incubated with $Pb^{4+}$, $Pb^{2+}$, $Cd^{2+}$ and $Ag^+$ and the exposure of phosphatidylserine (PS), key marker for procoagulant activation was measured using flow cytometry. As a result, while $Cd^{2+}$ and $Ag^+$ did not affect PS exposure, $Pb^{4+}$ and $Pb^{2+}$ induced significantly PS exposure in a dose-dependent manner. Of a particular note, $Pb^{4+}$ induced PS exposure with a similar potency with $Pb^{2+}$. PS bearing microvesicle (MV), another important contributor to procoagulant activation was also generated by $Pb^{4+}$. These PS exposure and MV generation by $Pb^{4+}$ were well in line with the shape change of erythrocyte from normal discocytes to MV shedding echinocytes following $Pb^{4+}$ treatment. Meanwhile, nonspecific hemolysis was not observed suggesting the specificity of $Pb^{4+}$-induced PS exposure and MV generation. These results indicated that $Pb^{4+}$ could induce procoagulant activation of erythrocytes through PS exposure and MV generation, suggesting that $Pb^{4+}$ exposure might ultimately lead to increased thrombotic events.

프레스금형 형내 모니터링에 대한 연구 (A Study for In-process Monitoring in Press die)

  • 윤재웅
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제18권6호
    • /
    • pp.692-696
    • /
    • 2017
  • 프레스 부품의 형상은 고객 요구와 공정단축 및 비용절감으로 점점 복잡하게 변하고 있다. 또한 프레스공정은 많은 인자의 영향으로 양산 중에도 안정성이 수시로 변하고 있다. 공정의 안정성을 확보하는 데는 형상, 소재, 프레스, 금형 및 윤활에 대한 사전 연구가 충분히 되어 허용된 공차 안에서 재현성이 구현되는 공정을 수립해야 한다. 하지만 예측하지 못한 공정인자들의 변화는 양산라인 정지와 생산계획에 차질을 현장에서 야기 시키고 있다. 이에 프레스금형에 센서를 적용해 실시간 공정을 모니터링 할 수 있는 방법을 본 논문에선 소개한다. 비접촉식으로 판재의 흐름을 측정하는 센서와 그 중 양산에 적용 가능성이 높은 광학센서를 사용한 실험 사례를 제시했다. 원통드로잉금형에 광학센서를 설치해 소재, 블랭크홀더힘, 드로잉비를 변화시키며 센서의 사용 가능성을 테스트했다. 또한 각통드로잉 금형을 사용해 국부적으로 다른 판재의 흐름을 정량화 했고 측정값이 소재의 연신에 의해 드로잉 깊이보다 항상 작다는 것을 정량적으로 측정하였다. 마지막으로 프레스 금형에 센서를 접목시켜 사용할 수 있는 분야에 대해 제안을 하였다. 원가절감에 대한 Needs가 지속적으로 증가하고 이를 통해 글로벌 금형경쟁력을 확보해야하는 시점에 기여가 되었으면 한다.

ICP-AES를 이용한 리튬 용융염내의 미량 금속성분원소 정량에 관한 연구 (Quantitative Analysis of Trace Metals in Lithium Molten Salt by ICP-AES)

  • 김도양;표형열;박용준;박양순;김원호
    • 분석과학
    • /
    • 제13권3호
    • /
    • pp.309-314
    • /
    • 2000
  • 리튬 용융염($LiC+Li_2O$) 내에 미량으로 존재하는 핵분열생성물을 유도결합 플라스마 원자방출분광기(ICP-AES)를 이용하여 분석하였다. 분석대상 원소 중 감도가 가장 좋은 파장을 선택해 이들 파장에서 리튬 500, 1,000, 2,000 mg/L에 따른 분광학적 간섭 여부를 확인한 결과, 분석원소중 0.1 mg/L 이하의 Y, Nd, Sr, La, Eu의 방출세기는 리튬의 농도가 2,000 mg/L까지 증가시켜도 분광학적 간섭을 받지 않은 반면, Mo, Ba, Ru, Pd, Rh, Zr, Ce는 10% 에서 50% 이상 분광학적 간섭과 매트릭스에 의한 스펙트럼 방해가 나타났다. 리튬 매질로부터 미량 금속원소들을 군분리하기 위하여 모의 용융염 용액을 조제해 암모니아수를 가한 후 분리하고 다시 산처리하여 얻은 용액을 ICP-AES로 회수율을 측정하였다. 분석원소 중 Ru, Y, Rh, Zr, Nd, Ce, La, Eu의 회수율은 90% 이상인 반면 Mo, Ba, Pd, Sr는 낮은 회수율을 보여주었으며, 가해준 암모니아수 양이 증가할수록 회수율이 증가하는 경향을 보였다.

  • PDF

Alberta 오일샌드의 유동층 열분해 연속실험을 통한 열분해 특성 파악 (Study of Pyrolysis Behavior of Alberta Oil Sand by Continuous Operation of Fluidized-Bed Reactor)

  • 신종선;선양국;박영철;배달희;조성호;선도원
    • Korean Chemical Engineering Research
    • /
    • 제48권1호
    • /
    • pp.68-74
    • /
    • 2010
  • 본 실험은 오일샌드에 함유된 역청을 회수함에 있어 유동층 열분해 실험을 통한 역청 회수의 적합성을 확인하기 위하여 수행하였다. 본 실험에 사용된 캐나다 Alberta 오일샌드는 역청을 11.9%를 함유하고 있으며 열분해 공정을 통하여 회수한 열분해 오일은 오일샌드에 함유되어 있는 역청에 비하여 경질화되는 특성을 갖는다. 본 실험을 위하여 높이 170 cm의 반응기를 설치하였으며 1 atm, $500^{\circ}C$의 반응 조건 하에서 연속 운전 실험을 실시하였고 유동화 가스는 $N_2$를 사용하여 $1.62U_{mf}$ 조건에서 오일샌드의 열분해 반응특성을 연구하였다. 오일샌드 유동층 열분해 실험 결과 역청의 전환율은 87.76%이며 액체 생성물은 74.45%, 가스 생성물은 13.31%의 결과를 얻었다. 오일샌드 유동층 열분해 실험 중 발생하는 열분해 가스는 실시간 가스분석기를 사용하여 $H_2$, $O_2$, CO, $CO_2$, $CH_4$, NO를 분석하였으며 탄화수소 $C_1-C_4$의 분석은 가스크로마토그래피를 사용하여 분석하였다. 열분해 오일은 회수하여 원소분석, 발열량 분석, 중금속 분석과 아스팔텐(asphaltenes) 분석을 실시하였으며 SIMDIS 분석을 통하여 열분해 오일의 특성을 분석하였다. 분석 결과 나프타(naphtha)는 11.50%, 중간유분(middle distillation)은 44.83%, 중질유(heavy oil)는 43.66%의 결과를 얻었다. 이는 역청과 비교하여 나프타와 중간유분 함량이 높은 경질화된 열분해 오일이 회수되었음을 알 수 있다.