• 제목/요약/키워드: mesa

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병렬 플라즈마 소스를 이용한 마이크로 LED 소자 제작용 GaN 식각 공정 시스템 개발 (GaN Etch Process System using Parallel Plasma Source for Micro LED Chip Fabrication)

  • 손보성;공대영;이영웅;김희진;박시현
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제20권3호
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    • pp.32-38
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    • 2021
  • We developed an inductively coupled plasma (ICP) etcher for GaN etching using a parallel plasma electrode source with a multifunctional chuck matched to it in order for the low power consumption and low process cost in comparison with the conventional ICP system with a helical-type plasma electrode source. The optimization process condition using it for the micro light-emitting diode (µ-LED) chip fabrication was established, which is an ICP RF power of 300 W, a chuck power of 200 W, a BCl3/Cl2 gas ratio of 3:2. Under this condition, the mesa structure with the etch depth over 1 ㎛ and the etch angle over 75° and also with no etching residue was obtained for the µ-LED chip. The developed ICP showed the improved values on the process pressure, the etch selectivity, the etch depth uniformity, the etch angle profile and the substrate temperature uniformity in comparison with the commercial ICP. The µ-LED chip fabricated using the developed ICP showed the similar or improved characteristics in the L-I-V measurements compared with the one fabricated using the conventional ICP method

Type Prediction of Stripped-envelope Supernovae by Wind-driven Mass Loss Progenitor Model

  • Jeong, Yongje;Yoon, Sung-Chul
    • 천문학회보
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    • 제45권1호
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    • pp.42.4-43
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    • 2020
  • The hydrogen-rich envelope mass of a dying massive star is the key factor that determines the type and properties of the resulting supernova. Emulating wind-driven mass loss of single stars with the MESA(Modules for Experiments in Stellar Astrophysics) stellar evolution code, we made a grid of models for a large parameter space of initial mass (12 M⊙ to 30M⊙), metallicity (solar, LMC and SMC), hydrogen envelope mass (0.01M⊙ to 10M⊙) for progenitor stars in their final step of evolution. Our results suggest the final luminosity of the progenitor is largely determined by the initial mass, which means there is luminosity degeneracy for stars with the same initial mass but with different hydrogen-rich envelope masses. Since we can break this degeneracy by correcting luminosity with surface gravity (spectroscopic HR diagram), we can infer the exact mass property of an observed progenitor. The surface temperature drastically varies near the envelope mass of ~0.1M⊙ and surface temperature of ~10000 K, where the demarcation between the hydrogen-rich envelope and the helium core lies, which explains the rarity of 'white' supergiants. There also exists a discontinuity in the chemical composition of the progenitor envelope around this critical hydrogen-rich envelope mass of ~0.1 M⊙, which can be tested in future observations of "flash spectroscopy" of supernovae.

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volution of massive stars in Case A binary systems and implications for supernova progenitors

  • Lee, Hunchul;Yoon, Sung-Chul
    • 천문학회보
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    • 제45권1호
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    • pp.70.4-71
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    • 2020
  • One of the distinctive characteristics of the evolution of binary systems would be mass transfer. Close binary systems experience so-called Case A mass transfer during the main-sequence. We have performed calculations of the evolution of massive Case A (with the initial period 1.5 ~ 4.5 days) binary systems with the initial mass of 10 ~ 20 solar masses and mass ratio 0.5 ~ 0.95 using the MESA code. We find that in some systems, after the first mass transfer, the secondary stars evolve faster than the primary stars and undergo so-called 'reverse' mass transfer. Such phenomena tend to occur in relatively low-mass (initial mass < 16 solar masses) and close (initial period < 3 day) systems. Unless a system enters the common-envelope phase, the primary star would become a single helium star after the secondary star ends its life if the system were unbound by the neutron star kick. We find the various evolutionary implications of the remaining primary stars. In addition to the evolution into the compact single helium star progenitor, there is a possibility that the remaining primary star could evolve into a helium giant star, which could be a promising candidate for Type Ibn supernova progenitor, depending on the core mass. Further, we find that some primary stars satisfy the conditions for the formation of electron-capture supernova progenitor.

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북한 혜산시 50년간 가뭄과 홍수변화 (A Study on the Flood and Drought During 50 year in Hyesan City of North Korea)

  • 김석주;이민부;김남신;김애분;주철
    • 한국지역지리학회지
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    • 제16권3호
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    • pp.216-223
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    • 2010
  • 본 연구는 북한 혜산시의 1957년에서 2006년 사이의 강수량 데이터를 이용하여 Z지수를 지표로 가뭄과 홍수의 변화 과정을 분석하였다. 50년 동안 혜산시 지역의 가뭄과 홍수 출현 빈도를 연도별 및 사계절별로 구분하여 소파형 기법으로 분석하였다. 분석 결과 혜산시의 연도별 및 사계절별 가뭄과 홍수의 발생빈도는 24% 이상으로서 가뭄과 홍수 재해가 빈번하였다. 다항식접합(Polynomial Fit)과 주기분석 결과, 가을철의 가뭄과 홍수는 수십년간(inter-decadal) 특징이 뚜렷하고 연도별 및 봄, 여름 및 겨울에는 수년간(inter-annual) 특징이 잘 나타난다. 최근에는 가을에 가뭄이 많고 연도별과 봄, 여름 및 겨울에는 홍수가 많았다.

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Two cases of an atypical presentation of necrotizing stomatitis

  • Magan-Fernandez, Antonio;O'Valle, Francisco;Pozo, Elena;Liebana, Jose;Mesa, Francisco
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • 제45권6호
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    • pp.252-256
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    • 2015
  • Purpose: The purpose of this report was to describe the clinical and microbiological characteristics of two rare cases of necrotizing stomatitis, and the outcomes of a non-invasive treatment protocol applied in both cases. Methods: We report two cases of necrotizing stomatitis in a rare location in the hard palate of a 40-year-old woman and a 28-year-old man. Neither had a relevant medical history and both presented with highly painful ulceration in the palate and gingival margin that was accompanied by suppuration and necrosis. 3% hydrogen peroxide was applied to the lesions using sterile swabs, and antibiotic and anti-inflammatory treatment was prescribed to both patients in addition to two daily oral rinses of 0.2% chlorhexidine. Results: In both cases, radiological examination ruled out bone involvement, and exfoliative cytology revealed a large inflammatory component and the presence of forms compatible with fusobacteria and spirochetes. There was a rapid response to treatment and a major improvement was observed after 48 hours, with almost complete resolution of the ulcerated lesions and detachment of necrotic areas with partial decapitation of gingival papillae. Conclusions: Necrotizing periodontal lesions can hinder periodontal probing and the mechanical removal of plaque in some cases due to the extreme pain suffered by the patients. We present a non-invasive treatment approach that can manage these situations effectively.

TLM 및 CTLM을 이용한 실리콘 태양전지 전면전극소재의 접촉 비저항 측정 비교연구 (Comparison of Contact Resistivity Measurements of Silver Paste for a Silicon Solar Cell Using TLM and CTLM)

  • 신동윤;김유리
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제38권6호
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    • pp.539-545
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    • 2014
  • 실리콘 태양전지의 실버 전극과 이미터층 사이의 접촉 비저항은 원형 접촉 비저항 측정법과 선형 비저항 측정법을 이용하여 계측되어 왔다. 원형 접촉 비저항 측정법은 누설 전류를 차단하기 위한 메사 에칭 등의 부가적인 공정이 요구되지 않는 장점이 있으며, 선형 접촉 비저항 측정법은 완성된 태양전지로부터 직접 샘플을 취득하여 측정을 수행할 수 있다는 장점이 있다. 본 연구에서는 이 두 가지 측정법들을 이용하여 실리콘 태양전지 전면 전극의 접촉 비저항을 계산하기 위한 저항값들을 측정할 때 수반되는 문제점들에 대한 비교연구를 수행하였으며, 선형 접촉 비저항 측정법이 실버 전극의 선폭과 두께에 따른 접촉 비저항 변화를 좀더 정확하게 묘사할 수 있는 요인에 대해 설명하였다.

원자간인력현미경을 이용한 분자수준의 중금속 이온 검출 (Molecular Level Detection of Heavy Metal Ions Using Atomic Force Microscope)

  • 김영훈;강성구;최인희;이정진;이종협
    • 청정기술
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    • 제11권2호
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    • pp.69-74
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    • 2005
  • 본 연구에서는 AFM 양극산화법을 이용하여 서브마이크로 수준의 패턴을 구성하였다. 자기조립법으로 제조한 MPTMS/Si(100) 기질 위에 AFM 양극산화법으로 패턴을 형성하였고, 비에칭법을 이용하여 아민그룹을 지닌 기능기를 고정시켰다. 금속전극으로는 Frens 방법으로 제조한 금나노입자를 이용하였다. 금속이온의 흡착에 따른 전도도는 근거리의 경우 coherent tunneling에 의존하지만, 원거리 전극에서는 incoherent tunneling에 의존한다. 전극의 간격이 가까울수록 저항이 감소하여 센서의 감도와 최소검출능을 개선할 수 있었다. 또한 다중기능성을 부여하여 센서의 선택도를 부여하였으며, 패턴의 크기에 따른 최소검출농도를 낮출 수 있음을 확인하였다.

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청색 발광 다이오드에서 활성층의 균일성과 신뢰성 사이의 상관관계 고찰 (Correlation between the Active-Layer Uniformity and Reliability of Blue Light-Emitting Diodes)

  • 장진원;김상배
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제42권12호
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    • pp.27-34
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    • 2005
  • 활성층의 균일성 차이에 따라 서로 다른 발광특성을 보이는 소자들의 균일성과 신뢰도 사이의 상관관계를 고찰하였다. 소자들을 초기 특성에 따라 균일한 발광특성을 보이는 그룹 I과 불균일한 발광특성을 보이는 그룹 II로 분류하였다. 그룹 II 소자의 경우 온도 의존성이 더 큰 것으로 나타났으며, 두 그룹의 신뢰성 실험을 통해 크게 두 가지 성능저하 과정이 있는 것을 알았다. 칩 전체적으로 균일하게 성능저하 되는 bulk 성능저하 과정과 칩의 edge부분에서부터 성능저하가 시작되는 edge 성능저하 과정이다. 비발광성 결함에 의한 bulk 성능저하는 불균일한 발광특성을 보이는 그룹 II 소자에서 더 빠르게 진행되었다. edge 성능저하는 그룹 I, II 소자에 관계없이 고전류로 aging하였을 경우 나타났으며, n-Ohmic 접촉 영역에서 시작하여 발광하지 않는 부분이 확장되는 성능저하 과정을 확인하였다. 이에 따라 고효율, 고신뢰도 청색 발광 다이오드 제작을 위해서는 활성층의 균일도를 높이고, 전류 밀도를 균일하게 하며, 건식 식각된 mesa면의 passivation을 하여야 한다.

공간 집약적 관광지에서 사회적 수용력 연구 (Study on the Social Carrying Capacity in the Mega-Event - The Case of the International Kwangju Biennale, Korea -)

  • 김진선;정성태
    • 한국조경학회지
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    • 제31권2호
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    • pp.28-35
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    • 2003
  • This study was conducted to identify the characteristics of social carrying capacity at mega-events, especially the 2000 Kwangju Biennale in Korea. In particular, this paper has proposed some management policies for mega events taking into account the relations between social carrying capacity, satisfaction and crowding. The research method was to look into the general characteristics and distributive forms of the location, and then to confirm the possibility of sampling the factors involved in satisfaction degree; last, A factor analysis for causal analysis of perceived crowding was performed. The study needed correlation analysis in order to compare expected crowding and perceived crowding, and performed regression to examine the causality of perceived crowding and satisfaction. The research results were as follows: the correlation of expected crowding, perceived crowding, and the total satisfaction was very low or meaningless. The relation between satisfaction and elements for factor analysis such as convenient facilities and value experience showed partial meaningfulness. The factors of convenient facilities, entrance fee, parking lot use, toilet convenience, and exhibit room use had meaningful results; on the other hand, the factors of value experience showed a meaningful result in the guide service of an event place. In conclusion when those holding an event make a basic project, they should consider management measures for convenience of facilities, proper education for guide service, and systematic guidance. Also, as a method for perceived crowding lower than expected crowding, the study has proposed that it is possible to lower expected crowding by providing appropriate information on the number of tourists expected on the weekends and weekdays. Future research should control variables such as personal characteristics, seasons proper for vacation and holidays, and carefully consider their investigation and design. Moreover, it is necessary to study variables involved in expected crowding of more various space-intensive sightseeing places (mesa-events).

10 Gb/s 급 광통신용 1.55$\mu$m SI-PBH DFB-LD의 제작 및 특성연구 (Fabrication and characterization of 1.55$\mu$m SI-PBH DFB-LD for 10 Gbps optical fiber communications)

  • 김형문;김정수;오대곤;주흥로;박성수;송민규;곽봉신;김홍만;편광의
    • 한국광학회지
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    • 제8권4호
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    • pp.327-332
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    • 1997
  • 2단계 메사 식각 공정과 유기 금속 화학 증착방법으로 높은 비저항을 갖는 Fe-도핑된 반절연 InP층의 전류 차단층을 갖는 10 Gb/s 광통신용 초고속 1.55.mu.m 궤환형 반도체 레이저 다이오드를 제작하였다. 제작된 DFB-LD의 특성은 발진 임계전류~15 mA, slope efficiency ~0.13 mW/mA, 동 저항 ~6.0.OMEGA.이었고, 발진 파장은 1.546 .mu.m이며, 6 Ith까지의 전류에도 인접 모우드 억압비, SMSR>40dB 이상 (CW상태)으로써 안정된 단일 모우드 동작을 보였다. DFB-LD의 소신호 주파수 특성으로 27 mA의 작은 구동전류에서 이미 -3dB 대역폭이 10 GHz에 도달하였음을 보여주었고, 또한 최대 -3dB 대역폭으로 구동전류 90 mA에서 ~18 GHz까지 얻는 우수한 소신호 주파수 특성을 보여주었다. 10 Gb/s DFB-LD 모듈 전송시험에 있어서, 1.55.mu.m 파장의 레이저 다이오드 모듈로 일반 단일모우드 광섬유와 분산천이 광섬유에 대해서 전송시험한 결과 에러평탄면(error floor)없이 각각 10 km, 80 km를 전송할 수 있었다.

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