• 한국진공학회지
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• 제18권2호
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• pp.85-91
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• 2009

현재 플렉시블 폴리머를 이용한 MEMS (Microelectromechanical Systems) 기술이 빠르게 발전하고 있다. 그 중에서 Polycarbonate (PC), Poly Methyl Methacrylate (PMMA)와 같은 플렉시블 폴리머 재료는 광학적 특성이 우수하고 인체 친화적이며 미세 패턴 제조 공정이 용이하다는 등의 많은 장점을 가지고 있다. 본 연구는 반응성 이온 식각 기술을 이용하여 $O_2$, $SF_6$ 그리고 $CH_4$의 삼성분계 가스의 혼합 비율에 따른 PC와 PMMA의 건식 식각 결과 및 특성 평가에 관한 것이다. 준비한 각각의 기판에 포토리소그래피 방법으로 마스크를 형성하여 샘플을 만들었다. RF 척 파워를 100 W, 총 가스 유량을 10 sccm으로 고정시켜 플라즈마 식각 실험을 실시하였다. 그 결과에 의하면 전체적으로 PMMA의 식각율이 PC보다는 약 2배 정도 높았다. 그 결과는 PC는 PMMA 보다 상대적으로 높은 녹는점을 가지고 있다는 사실과 관계가 있다고 생각한다. 또한 $O_2/SF_6/CH_4$의 삼성분계 가스와 $SF_6/CH_4$, $O_2/SF_6$, $O_3/CH_4$로 나누었을 때 $O_2/SF_6$의 혼합 가스에서 PMMA와 PC의 식각 속도가 가장 높았다 (PC: 5 sccm $O_2$/5 sccm $SF_6$에서 약 350 nm/min, PMMA: 2.5 sccm $O_2$/7.5 sccm $SF_6$에서 약 570 nm/min). SEM을 활용하여 식각된 표면을 분석한 결과 PC는 PMMA보다 상대적으로 식각 표면이 더 매끈하였다. 또한 표면 거칠기 분석결과 PC의 표면 거칠기는 1.9$\sim$3.88 nm이었지만 PMMA의 표면 거칠기는 17.3$\sim$26.1 nm로 현저하게 높았음을 확인할 수 있었다.

• Journal of Oral Medicine and Pain
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• 제30권1호
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• pp.131-140
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• 2005

이 연구의 목적은 어븀 야그 레이저의 상아질과 법랑질에서의 절삭율을 조사하고 레이저 절삭후의 형성된 와동의 미세구조적 변화를 전통적인 핸드피스 드릴을 이용한 와동의 미세구조적 변화와 비교하기 위함이다. 사용된 어븀 야그 레이저는 20 Hz, 15 Hz의 주파수에서 200 mJ, 250 mJ, 300 mJ의 에너지 레벨로 나누어 조사하였다. 다음과 같은 결과가 얻어졌다. 1. 3 W-6 W의 에너지 세기로 조사한 상아질 그룹에서의 절삭율은 약 $1.103{\sim}2.639mm^3/sec$ 이었고 4.5 W$\sim$6 W의 에너지 세기에서는 유의한 절삭율의 차이가 없었다. 2. 3 W-6 W의 에너지 세기로 조사한 법랑질 그룹에서의 절삭율은 약 $0.413{\sim}0.969mm^3/sec$ 이었고 4 W$\sim$6 W의 에너지 세기에서는 유의한 절삭율의 차이가 없었다. 3. 전통적 고속핸드피스 드릴로 삭제된 와동을 주사전자현미경으로 관찰한 결과 도말층으로 덮인 비교적 편평한 표면을 보였다. 4. 레이저로 삭제된 상아질 와동을 주사전자현미경으로 관찰한 결과 도말층이 없으며 상아세관이 열려있는 것이 관찰되었다. 하지만 3 W 이상의 에너지 세기로 조사한 와동에서는 표면이 불규칙하며 파편들이 헐겁게 붙어있는 것이 관찰되었다. 5. 레이저로 삭제된 법랑질 와동을 주사전자현미경으로 관찰한 결과 심하게 파괴된 면이 6 W에서 보였으며 3 W의 에너지 세기에서는 용융된 구상물질이 관찰되었다. 하지만 4 W의 에너지 세기로 조사한 그룹에서는 깨끗하게 절삭된 면이 관찰되었다. 따라서 어븀야그 레이저를 이용하여 치아를 삭제할 때에 가장 효과적이며 열적 손상을 줄일 수 있는 에너지 세기는 상아질에서는 3 W, 법랑질에서는 4 W가 될 수 있을 것이다. 하지만 더 많은 연구와 추가적인 자료들이 필요할 것으로 사료된다.