• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.69-71
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• 2009

Meander 형태의 인덕터를 각각 산화마그네슘 (MgO)기판과 산화 알루미늄 ($Al_2O_3$) 기판 위에 구현하여 고주파 특성을 구조 시뮬레이션을 통해 연구하였다. 고주파 시뮬레이션을 통해서 적절한 구조의 meander 형태의 인덕터를 선정하여 시뮬레이션을 수행하였다. 시뮬레이션시 사용된 알루미늄 상부전극은 길이 282 nm, 폭 45 nm, 두께 100 nm, 간격은 15 nm의 구조 였으며, 5, 7, 9, 11, 13턴의 meander 형태 인덕터 소자들을 이용하여 고주파 수동소자 응용을 위한 고주파 구조 시뮬레이션을 50 MHz에서부터 30 GHz까지 수행하였다. 주파수에 따른 인덕턴스와 품질계수를 등가회로를 이용하여 계산하였다. 시뮬레이션으로부터 자기공진주파수 (SRF, self resonance frequency)가 인덕터의 턴 수가 증가함에 따라 저주파 영역으로 이동하는 것을 확인하였고, 고주파 시뮬레이션 결과에서 산란 매개변수 (S-parameter, $S_{21}$)로부터 인덕턴스와 품질계수를 추출해내었다.

• 대한전자공학회논문지TC
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• 제43권12호
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• pp.75-82
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• 2006

본 논문에서는 개구를 갖는 접지면의 높은 특성 임피던스를 이용하여 주파수에 대한 민감도가 좋고 높은 품질 계수를 갖는 미앤더 라인 인덕터들을 설계하였다. 주파수에 대한 민감도는 자기 공진 주파수 (SRF) 대신에 해석 주파수 범위에 대한 유효 인덕턴스 변화량으로 새로 정의 되었다. 등가 집중 소자 회로는 고주파 인덕터의 특성을 설명하기 위해 전개되었다. 개구 접지면을 갖는 4 nH 미앤더 라인 인덕터는 0.45 nH/GHz의 좋은 민감도와 0.7 GHz에서 86의 Q 값을 갖는다.

• 한국자기학회지
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• 제6권6호
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• pp.367-374
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• 1996

자기소자중 가장 기본이 되는 박막인덕터의 제작에 관한 연구를 수행하기 위하여, photolitho-graphy와 에칭공정을 도입하고, 도체간격 및 도체폭이 수십 $\mu\textrm{m}$, 도체코일 턴수가 각각 13회와 20회, 크기가 $4\;mm{\times}4\;mm$인 공심형 박막인덕터를 제작하였다. 이것을 마이크로스트립선로에 정착하고, network analyzer로 주파수 1 MHz ~ 1 GHz에서 신호의 반사계수법을 이용하여 간편하고 비교적 정확한 측정을 하였다. 특히, 공정이 간단한 습식 에칭공정을 도입하여, 안정된 에칭기술을 통해 양호한 미세패턴구조를 얻었다. 박막인덕터의 특성은, 크기가 같을때, L 및 Q값은 spiral형이 meander형 보다 큰 값을 갖는 반면, 공진주파수는 인덕턴스의 증가에 의한 영향으로 spiral형이 meander형보다 감소하였다.

• 한국자기학회지
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• 제6권3호
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• pp.179-188
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• 1996

spiral 패턴과 meander 패턴의 공심 평면 인덕터에 대해 주파수, 도체간격, 도체폭, 턴수등을 변화시켜 저항, 인덕턴스와 같은 전기적인 특성치의 이론적인 예측에 대해 검토하였다. 도체폭이 커짐에 따라 저항과 인덕턴스는 감소한다. 이때 Q는 spiral pattern에서는 최대치를 가지는 도체폭이 존재하는 반면 meander pattern에서는 저항의 감소가 인덕턴스의 감소보다 작아지므로 도체폭이 증가하면 Q가 증가하였다. spiral pattern에서는 도체간격을 작게할 때 저항, 인덕턴스, Q는 더 이상 증가하지 않는 도체간격이 존재하지만 meander pattern에서는 인접 도체 사이의 상호 인덕턴스의 부호가 (-)가 됨에 따라 도체 간격은 가능한 한 커야 한다. 턴수가 증가함에 따라 저항, 인덕턴스는 증가하며 spiral pattern에서는 최대의 Q를 가지는 턴수가 존재하지만 meander pattern에서는 인덕턴스의 증가보다 저항의 증가가 크기 때문에 턴수의 증가에 따라 Q는 감소하였다.

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 1998년도 추계연구발표회 논문개요집
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• pp.120-121
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• 1998

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제22권8호
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• pp.641-644
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• 2009

We have studied on the microwave characteristics for the meander type inductors on the MgO substrates and $Al_2O_3$ substrates by employing 3-D high frequency simulation, respectively. Proper designs of meander type inductors were proposed and confirmed through the high frequency simulations, 5, 7, 9, 11, and 13 turns meander type inductors have been choose to analyze the electrical properties for the microwave passive component applications. The Al top electrodes have 282 nm length, 45 nm width, 100 nm thickness and 15 nm gap. The simulations were carried out from 50 MHz to 30 GHz, Frequency dependent inductances and quality factor were calculated by employing the equivalent circuit model of meander type inductors. The self resonances frequency of meander type inductor were shifted from high frequency to low frequency range as the number of the turn of inductors was increased. From the microwave simulations, the inductances and quality factors of meander type inductors were extracted through the scattering parameter.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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• pp.352-352
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• 2008

폐 자기회로 구조를 갖는 Meander 형태의 Inductor 설계를 위해 HFSS 프로그램을 이용하여 Meander Inductor를 시뮬레이션 하였다. Meander Inductor의 turn 수(N) 및 폭(W), 두께(T), 랩(G)의 변화에 따른 인덕턴스(L), S-parameter(S)와 Q-factor(Q)의 변화를 HFSS 를 통해 측정하였다. Al2O3 기판과 MgO의 두께는 각각 680um, 50um로 고정하였고, silver electrode를 이용하여 Meander 타입의 Inductor를 설계하였다. Meander Inductor의 turn수(6,7,8turn)의 변화를 측정한 결과, 8턴이었을 때 Q-factor가 19로서 가장 높은 결과를 얻었다. L의 결과 값은 공진 주파수와 의 관계에 의해 6turn일 때 L값은 17GHz에서 공진현상이 나타났다. 또한 W, G, T에 변화를 주어 설계한 뒤 시뮬레이션의 결과 값을 측정하였다. 그 값을 서로 비교한 결과, 변수들의 변화에 따라 L값과 Q-factor가 변화되었다. 이 논문에서는 각 변수에 따른 meander inductor의 특성을 HFSS 시뮬레이션을 통해 비교하고자 한다.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제34권2호
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• pp.325-331
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• 2010

본 논문에서는 주기적 접지구조(PPGS)를 가지는 소형 단파장의 미앤더 선로를 GaAs MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit) 상에 구현하였다. PPGS구조를 이용한 미앤더 선로는 기존의 미앤더 선로에 존재하던 용량 $C_a$와 함께 추가적인 용량 $C_b$를 가짐으로써 전체적인 용량이 커지게 되어, 단파장 특성을 보여주었다. 기존의 미앤더 선로는 주기적 구조가 아닌데 반해 PPGS 구조의 미앤더 선로는 주기적 구조이므로 $\beta$값이 큰 slow-wave가 존재하며, 이로 인해 종래의 미앤더 선로에 비해 선로 상에서 훨씬 더 큰 위상변화량을 보여준다. 본 논문에서는 상기 미앤더 선로의 특성을 실험적으로 고찰하여 PPGS 구조의 미앤더 선로를 병렬 인덕터로 사용할 경우, 기존 미앤더 선로를 사용할 때 보다 높은 인덕턴스 값을 가지므로 동일한 길이의 기존 선로보다 큰 인덕턴스 값을 가지는 정합 소자로써 사용할 수 있음을 확인하였다.

• 한국전자파학회논문지
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• 제21권3호
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• pp.315-320
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• 2010

본 논문에서는 휴대 단말기에 내장이 가능한 소형화된 지상파 DMB(Digital Multimedia Broadcasting) 안테나의 설계 및 구현에 관하여 연구하였다. 제작된 안테나의 크기는 30 mm$\times$5 mm$\times$0.6 mm로서 Kapton 재질의 유전체전, 후면에 안테나 방사체가 미엔더 구조로 설계되어 있으며, 비아 홀을 통해 양쪽이 서로 연결되는 구조를 가진다. 또한 유전체 후면에 기생 소자를 배치하고 정합 소자로 220 nH의 인덕터를 사용함으로써, 안테나 소형화로 인해 부족해진 공진 길이를 보상하는 한편, 제한된 공간 내에서 정확한 공진 주파수를 가진 안테나를 구현할 수 있었다. 제안된 안테나의 이득은 중심 채널인 195 MHz에서 -13.01 dBi를 나타내었으며, 하위 채널인 174 MHz와 상위 채널인 216 MHz에서는 각각 -17.60 dBi와 -14.98 dBi의 이득 특성을 나타내었다.

• 한국자기학회지
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• 제8권4호
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• pp.241-248
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• 1998

본 연구에서는 micro magnetic device의 제작과 특성 분석을 위하여 고주파수 대역에서 사용가능한 자성체의 개발과 meander형 마이크로 코일의 가공 기술 확립에 그 목적을 두었다. 자성체로서는 DC magnetron reactive sputtering system에 의해 제조된 초 미세결정구조를 갖는 FeTaC, FeTaN막을 사용하였으며, 그 자기적 특성은 다음과 같다. Bs:13~17kG, Hc:0.1~0.2Oe, $\mu$':2000~4000. 전기 도금법에 의해 제작된 Cu코일은 2$\mu$$\Omega$-cm의 비저항을 나타내었으며, 공심형 5turn 언덕터의 경우에는 50nH의 인덕턴스와 700MHz의 공진 주파수 그리고 200MHz에서 30의 성능 지수를 보였다. 또한 meandergudxo의 폐자로 인덕터에서 인덕턴스는 150nH, 공진 주파수는 100MHz, 그리고 성능지수는 10~30 MHz에서 4의 값을 나타내었다.