• 제목/요약/키워드: liquid film thickness

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비정질 실리콘 박막 트랜지스터 소자 특성 향상을 위한 저 저항 금속 박막 전극의 형성 및 전기적 저항 특성 평가 (Metallizations and Electrical Characterizations of Low Resistivity Electrodes(Al, Ta, Cr) in the Amorphous Silicon Thin Film Transistor)

  • 김형택
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1993년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.96-99
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    • 1993
  • 대면적 액정 표시판 (Liquid Crystal Display:LCD) panel내(內)의 구동소자인 비정질 실리콘 (amorphous silicon) 박막 트랜지스터 (Thin Film Transistor:TFT)의 구동신호전달 소자특성 향상을 위한 본(本) 연구의 목적은 액정 panel TFT 제조공정 상(上)의 증착금속 전극박막들의 Test Elements Group(TEG) metal line pattern별(別) 전기적 저항특성 평가에 있다. 현(現) TFT 전극용(用)으로 개발이 진행 중(中)인 Aluminum(Al), Tantalum(Ta) 및 Chromium(Cr) 이 특성평가 대상 금속 박막으로 선정 되었으며, 이들 금속막의 증착 thickness 와 TEG metal line width가 저항특성 변수로 성립 되었다. 본(本) 실험을 통해 금속 박막의 TEG line width별(別) 체적(體積)저항 (bulk resistance), 면(面)저항(sheet resistance), 비(比)저항 (resistivity) 및 기판 상(上)의 metal pattern 위치 변화에 따른 전기적 저항 uniformity 특성변화 평가가 있었다. TEG metal line 측정 변위에 따른 저항율의 선형변화 특성도 연구 되었으며, metal line별(別) 전기적 연속, 불연속 배선 단락 특성(electrical continuity test) 관찰도 있었다.

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Optical and electrical property of Indium-doped ZnO (IZO) grown by Atomic Layer Deposition (ALD) using Et2InN(TMS)2 as In precursor and H2O oxidant

  • 조영준;장효식
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.421.1-421.1
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    • 2016
  • We studied indium-doped zinc oxide (IZO) film grown by atomic layer deposition (ALD) as transparent conductive oxide (TCO). A variety of TCO layer, such as ZnO:Al (AZO), InSnO2(ITO), Zn (O,S) etc, has been grown by various method, such as ALD, chemical vapor deposition (CVD), sputtering, laser ablation, sol-gel technique, etc. Among many deposition methods, ALD has various advantages such as uniformity of film thickness, film composition, conformality, and low temperature deposition, as compared with other techniques. In this study, we deposited indium-doped zinc oxide thin films using diethyl[bis(trimethylsilyl)amido]indium [Et2InN(TMS)2] as indium precursor, DEZn as zinc precursor and H2O as oxidant for ALD and investigated the optical and electrical properties of IZO films. As an alternative, this liquid In precursor would has several advantages in indium oxide thin-film processes by ALD, especially for low resistance indium oxide thin film and high deposition rate as compared to InCp, InCl3, TMIn precursors etc. We found out that Indium oxide films grown by Et2InN(TMS)2 and H2O precursor show ALD growth mode and ALD growth window. We also found out the different growth rate of Indium oxide as the substrate and investigated the effect of the substrate on Indium oxide growth.

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Si 칩에 형성된 박막히터를 이용한 Chip-on-Glass 공정 (Chip-on-Glass Process Using the Thin Film Heater Fabricated on Si Chip)

  • 정부양;오태성
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.57-64
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    • 2007
  • Si 칩에 박막히터를 형성하고 이에 전류를 인가하여 LCD (liquid crystal display) 패널의 유리기판은 가열하지 않으면서 Si 칩만을 선택적으로 가열함으로써 Si 칩을 LCD 패널의 유리기판에 실장 하는 새로운 COG 공정기술을 연구하였다. $5\;mm{\times}5\;mm$ 크기의 Si 칩에 마그네트론 스퍼터링법으로 폭 $150\;{\mu}m$,두께 $0.8\;{\mu}m$, 전체 길이 12.15 mm의 정방형 Cu 박막히터를 형성하였으며, 이에 0.9A의 전류를 60초 동안 인가하여 Si칩의 Sn-3.5Ag 솔더범프를 리플로우 시킴으로써 Si 칩을 유리기판에 COG 본딩하는 것이 가능하였다.

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전착된 폴리이미드 박막의 고온영역에서 절연파괴 특성에 관한 연구 (A Study on the Breakdown Characteristics of Electrodeposited Polyimide Film at High Temperature)

  • 유영복;신동국;김병준;김종석;박강식;김석기;조동헌;한상옥
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1498-1501
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    • 1996
  • To evaluate insulating properties of polyimide thin film on high temperature over $100\;^{\circ}C$, polyimide film were prepared by electrophoretic deposition onto metal surface from nonaqueous emulsion. The emulsion is made by adding a solution of the resin to a precipitant, which is an organic liquid compeltely miscible with the solvent of the organic resin solution, but which does not dissolve the resin. The polyimide film obtained by annealing shows good insulation properties of 5.8 MV/cm at elevated temperature and breakdown strength of the film reveals thickness dependence.

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회전식 수평 Heat Pipe의 개발에 관한 기초 연구 (A Fundamental Study on Development of a Rotating Horizontal Heat Pipe)

  • 임광빈;이진성
    • 에너지공학
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    • 제8권2호
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    • pp.325-332
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    • 1999
  • 회전 히트파이프가 작동할 때 응축 액막은 중력과 원심력에 의해 관 내벽을 따라 응축부에서 증발부로 이송된다. 회전 히트파이프의 성능은 응축 액막의 두께와 응축 액막 유동율에 의해 좌우된다. 따라서 기존의 많은 연구자들은 회전 히트파이프의 성능을 향상시키기 위하여 테이퍼, 계단식 벽면, 코일 삽입등 관 내부의 형상에 대한 연구를 수행하였다. 본 연구에서는 회전 히트파이프의 새로운 관 내벽 형상으로써 응축부에 축 방향으로 사각 그루브(groove)를 갖는 구조이다. 히트파이프가 회전하면 원심력에 의해 응축 액막이 그루브로 유동하며 따라서 응축부의 전체적인 액막 두께를 감소시킬 수 있다. 실험 결과 그루브에 의한 액막 유동 효과로써 열전달 계수가 향상되었다. 또한 응축 액막 유동 해석 결과는 본 실험치와 정량적으로 다소 차이를 나타내었으나 회전수 및 열속 변화에 대하여 정성적으로 유사한 경향을 나타내었다.

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The Development of 12.1' SVGA Reflective Color Thin Film Transistor Liquid Crystal Display with The New Structured Reflector and Optimized Optical Films

  • Shin, Jong-Eup;Joo, Young-Kuil;Jang, Yong-Kyu;Kang, Myeon-Koo;Souk, Jun-Hyung
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2000년도 제1회 학술대회 논문집
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    • pp.19-20
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    • 2000
  • We have developed the 12.1" SVGA reflective type color TFT-LCD(Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display) with the high aperture ratio and well designed reflector for the applications such as mini note PC, Note PC and electronic book. The panel shows the high reflectance(30%) and contrast ratio(20:1) resulted from optimizing the optical films and designing the embossing shaped reflector. By improving the chromacity, the color reproducibility was increased up to 20%. As removing the backlight unit, we reduced the power consumption, thickness and weight of the panel to 0.8W, 2.2mm, and 250gram, respectively. According to the above performances, we have obtained fabrication process for mass production, and furthermore, could have access to fast market launching.

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압력섭동에 의한 유량변동 측정 정량화 (Quantifying the Variation of Mass Flow Rate generated by Pressure Fluctuation)

  • 길태옥;김동준;조성호;안규복;한영민;윤영빈
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2007년도 제28회 춘계학술대회논문집
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    • pp.152-156
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    • 2007
  • 로켓 엔진에서 연소챔버 내의 압력섭동에 의해 발생되는 추진제 유량변동에 대한 현상을 파악하는 것은 매우 중요하다. 이를 위해 압력섭동이 발생되었을 때 유량변동의 측정에 대한 정량화를 수행하였다. 오리피스 내의 유동의 속도를 알기 위해 오리피스 내의 압력을 측정한 후 이론식에 입각하여 속도를 풀었고, 액막두에 측정장치를 이용하여 오리피스 내에서의 면적을 측정하였다. 정상상태에서의 속도 및 유량을 분석값과 비교한 결과, 매우 작은 오차내에서 일치함을 알 수 있었다. 따라서, 본 연구에서 도출된 이론식을 바탕으로 비정상상태에서의 유량 변동 측정을 수행하는데 큰 역할을 할 수 있을 것이다.

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Application of NiOx Anode for Bottom Emission Organic Light Emitting Diode

  • Kim, Young-Hwan;Kim, Jong-Yeon;Kim, Byoung-Yong;Han, Jeong-Min;Moon, Hyun-Chan;Park, Kwang-Bum;Seo, Dae-Shik
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.448-448
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    • 2007
  • OLED has many advantages of low voltage operation, self radiation, light weight, thin thickness, wide view angle and fast response time to overcome existing liquid crystal display (LCD)'s weakness. Therefore, It draws attention as promising display and has already developed for manufactured goods. Also, OLED is regarded as a only substitute of flexible display with a thin display. However, Indium tin oxide(ITO) thin film for electrode of OLED shows a low electrical properties and is impossible to deposit at high thermal condition because electrical characteristics of ITO is getting worse. One of the ways to realize an improved flexible OLED is to use high internal efficiency electrodes, which have higher work function than those single layer of ITO films of the same thickness. The high internal efficiency electrodes film is developed with structure of nickel oxide for bottom Emission Type of OLED.

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이중 매니폴드 가변추력 분사기의 분무 특성에 관한 실험적 연구 (Experimental Study of Spray Characteristics on the Throttleable Dual Manifold Injector)

  • 윤정수;김성혁;윤영빈
    • 한국추진공학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.22-30
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    • 2011
  • 추력변화를 위한 방법에는 여러 가지가 있는데, 고압력 강하 시스템, 이중 매니폴드 분사기, 가스 분사, 다중 챔버, 펄스 추력, 움직이는 분사기 구성요소 등이 있다. 이 중에서 이중 매니폴드 분사기의 경우에는 하나의 분사기 구조에 서로 다른 두 개의 매니폴드를 가지는 분사기를 결합하는 방식의 분사기인데, 각 분사기는 각각의 연료 공급시스템을 독립적으로 가지고 있어 각 매니폴드마다 독립적으로 유량을 조절 할 수 있다. 본 논문에서는 이중 매니폴드 분사기를 사용하여 넓은 추력범위에서 연료분사의 안정성을 판단하기 위하여 각 매니폴드의 접선방향 유입구 넓이의 비와 분사압력에 따라 분사 형상을 측정하고, 분사기 오리피스 끝단에서 액막 두께를 측정하였다.

Closed-type 스월 인젝터의 스월 챔버 형상에 따른 분무특성 연구 (Spray Characteristics of Closed-type Swirl Injectors with Varying Swirl Chamber Geometry)

  • 정연재;정석규;오석일;윤영빈
    • 한국추진공학회지
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    • 제19권4호
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    • pp.8-14
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    • 2015
  • Purdue 대학교의 Ismailov 등이 수행한 closed-type 스월 인젝터의 동특성에 대한 모델링 및 계산 결과를 실험을 통해 확인하고자 하는 과정의 일환으로 수행된 연구이다. Closed-type 스월 인젝터의 스월 챔버의 길이와 지름의 영향이 인젝터의 동특성에 미치는 영향을 관찰하고자 스월 챔버의 길이와 지름을 변화시킬 수 있는 인젝터를 제작하였다. 이러한 과정에서 closed-type 스월 인젝터의 동특성에 대한 실험을 진행하기에 앞서서 정적인 분무 특성을 확인하였다. 인젝터 전단에 설치된 유량계를 통하여 유량을 확인하였으며, Lefebvre의 방식에 따라 closed-type 스월 인젝터의 오리피스에 전극을 설치하여 매니폴드 압력에 따른 액막 두께의 변화를 측정하였다. 또한 압력별로 촬영된 순간적인 분무 사진을 통하여 매니폴드 압력에 따른 분사각과 분열길이의 변화를 관찰하였다.