• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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• pp.239-240
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• 2008

As semiconductor devices are scaled down for better performance and more functionality, the Cu-based interconnects suffer from the increase of the resistivity of the Cu wires. The resistivity increase, which is attributed to the electron scattering from grain boundaries and interfaces, needs to be addressed in order to further scale down semiconductor devices [1]. The increase in the resistivity of the interconnect can be alleviated by increasing the grain size of electroplating (EP)-Cu or by modifying the Cu surface [1]. Another possible solution is to maximize the portion of the EP-Cu volume in the vias or damascene structures with the conformal diffusion barrier and seed layer by optimizing their deposition processes during Cu interconnect fabrication, which are currently ionized physical vapor deposition (IPVD)-based Ta/TaN bilayer and IPVD-Cu, respectively. The use of in-situ etching, during IPVD of the barrier or the seed layer, has been effective in enlarging the trench volume where the Cu is filled, resulting in improved reliability and performance of the Cu-based interconnect. However, the application of IPVD technology is expected to be limited eventually because of poor sidewall step coverage and the narrow top part of the damascene structures. Recently, Ru has been suggested as a diffusion barrier that is compatible with the direct plating of Cu [2-3]. A single-layer diffusion barrier for the direct plating of Cu is desirable to optimize the resistance of the Cu interconnects because it eliminates the Cu-seed layer. However, previous studies have shown that the Ru by itself is not a suitable diffusion barrier for Cu metallization [4-6]. Thus, the diffusion barrier performance of the Ru film should be improved in order for it to be successfully incorporated as a seed layer/barrier layer for the direct plating of Cu. The improvement of its barrier performance, by modifying the Ru microstructure from columnar to amorphous (by incorporating the N into Ru during PVD), has been previously reported [7]. Another approach for improving the barrier performance of the Ru film is to use Ru as a just seed layer and combine it with superior materials to function as a diffusion barrier against the Cu. A RulTaN bilayer prepared by PVD has recently been suggested as a seed layer/diffusion barrier for Cu. This bilayer was stable between the Cu and Si after annealing at $700^{\circ}C$ for I min [8]. Although these reports dealt with the possible applications of Ru for Cu metallization, cases where the Ru film was prepared by atomic layer deposition (ALD) have not been identified. These are important because of ALD's excellent conformality. In this study, a bilayer diffusion barrier of Ru/TaCN prepared by ALD was investigated. As the addition of the third element into the transition metal nitride disrupts the crystal lattice and leads to the formation of a stable ternary amorphous material, as indicated by Nicolet [9], ALD-TaCN is expected to improve the diffusion barrier performance of the ALD-Ru against Cu. Ru was deposited by a sequential supply of bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium [Ru$(EtCp)_2$] and $NH_3$plasma and TaCN by a sequential supply of $(NEt_2)_3Ta=Nbu^t$ (tert-butylimido-trisdiethylamido-tantalum, TBTDET) and $H_2$ plasma. Sheet resistance measurements, X-ray diffractometry (XRD), and Auger electron spectroscopy (AES) analysis showed that the bilayer diffusion barriers of ALD-Ru (12 nm)/ALD-TaCN (2 nm) and ALD-Ru (4nm)/ALD-TaCN (2 nm) prevented the Cu diffusion up to annealing temperatures of 600 and $550^{\circ}C$ for 30 min, respectively. This is found to be due to the excellent diffusion barrier performance of the ALD-TaCN film against the Cu, due to it having an amorphous structure. A 5-nm-thick ALD-TaCN film was even stable up to annealing at $650^{\circ}C$ between Cu and Si. Transmission electron microscopy (TEM) investigation combined with energy dispersive spectroscopy (EDS) analysis revealed that the ALD-Ru/ALD-TaCN diffusion barrier failed by the Cu diffusion through the bilayer into the Si substrate. This is due to the ALD-TaCN interlayer preventing the interfacial reaction between the Ru and Si.

• Journal of Nutrition and Health
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• 제47권2호
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• pp.124-133
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• 2014

본 연구는 입원환자의 전자의무기록에서 용이하게 얻을 수 있는 지표들을 중심으로 초기영양평가를 신속하게 진행하기 위한 영양검색도구를 개발하고, 새로 개발한 영양검색도구에 대한 신뢰도을 검증하기 위한 목적으로 수행되었다. 이를 위하여 입원환자 903명을 대상으로, 의무기록 및 개별면담을 통해 자료를 수집하여 PGSGA를 기준으로 양호군과 영양불량군을 나누었다. 1) 로지스틱 회귀분석을 통해 양호군과 영양불량군으로 범주화하기 위한 최종 영양평가지표로 연령, BMI, 혈중 알부민, 혈중 콜레스테롤, 총단백질, 헤마토크리트, 체중변화, 섭취변화여부가 선정하였다. 특히 체중변화, 섭취변화여부의 경우는 예/아니오의 주관적 단답식 조사로 간단히 이루어졌다. 2) SMST의 영양평가결과 총 903명 중에서 양호군은 620명 (68.7%), 영양불량군은 283명 (31.3%)으로 나타났으며, 양호군과 영양불량군사이에 연령, 혈중 알부민, 총임파구수, BMI, 헤모글로빈, 헤마토크리트, 총단백질, 혈중 콜레스테롤, 재원기간 모두 유의적인 차이를 보였다. 3) SMST의 신뢰도를 검증하기 위해서 PGSGA와 NRS2002와의 민감도, 특이도, 카파비를 통한 일치도를 분석하였다. SM-ST는 PGSGA와 민감도 94.4%, 특이도 88.4%, 카파비 0.747로 'Substantial agreement'하며 (p < 0.001), NRS2002와 민감도 96.1%, 특이도 79.5%, 카파비 0.505로 'Moderate agreement' (p < 0.001)로 나타났다. 본 연구에서 개발한 새로운 초기영양검색 도구인 SMST의 영양평가지표는 의무기록 및 단답형의 질문으로 이루어져, 신속하고 간단한 초기영양평가가 가능하다. 특히 기존에 개인면담을 통해 시간적, 인력적 요구가 높은 영양도구들에 비해, 입원당시 기본적 신체계측과 함께 단답형으로 이뤄진 체중변화 및 식이섭취변화 여부가 기록될 경우 추가될 경우 추가조사 없는 의무기록으로 평가가 가능하다. SMST는 PGSGA, NRS2002와 높은 일치도를 보여 기존에 타당도가 높다고 알려진 두 영양검색 도구와 도구간 신뢰도가 검증되었다. 하지만 SMST는 합병증의 유무, 사망률, 재입원률, 병원비용 등 환자의 예후와 관련한 연관성 및 보편적 대상자에서의 유용성은 검증되지 않았으므로, 이에 관한 추가적인 연구가 필요하다고 사료된다.

• 대한원격탐사학회지
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• 제37권2호
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• pp.321-335
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• 2021

미세먼지 (PM10) 및 초미세먼지 (PM2.5)는 인체에 흡수 가능하여 호흡기 질환 및 심장 질환과 같이 인체건강에 악영향을 미치며, 심각할 경우 조기 사망에 영향을 줄 수 있다. 전 세계적으로 현장관측기반의 모니터링을 수행하고 있지만 미 관측지역에 대한 대기질 분포의 공간적인 한계점이 존재하여 보다 광범위한 지역에 대한 지속적이고 정확한 모니터링이 필요한 상황이다. 위성기반 에어로졸 정보를 사용함으로써 이러한 현장 관측자료의 한계점을 극복할 수 있다. 따라서 본 연구에서는 다양한 위성 및 모델자료를 활용하여 2019년도에 대해 한 시간 단위의 지상 PM10 및 PM2.5 농도를 추정하였다. GOCI 위성의 관측영역을 포함하는 동아시아 지역에 대해 트리 기반 앙상블 방법을 사용하는 Boosting 기법인 GBRTs (Gradient Boosted Regression Trees)와 LightGBM (Light Gradient Boosting Machine)을 활용하여 모델을 구축하였다. 또한, 기상변수 및 토지피복변수의 사용유무에 따른 모델의 성능을 비교하기 위해 두 가지 festure set으로 나누어 테스트하였다. 두 기법 모두 주요 변수인 AOD (Aerosol Optical Depth), SSA (Single Scattering Albedo), DEM (Digital Eelevation Model), DOY (Day of Year), HOD (Hour of Day)와 기상변수 및 토지피복변수를 함께 사용한 Feature set 1을 사용하였을 때 높은 정확도를 보였다. Feature set 1에 대해 GBRT 모델이 LightGBM에 비해서약 10%의 정확도 향상을 보였다. 가장 정확도가 높았던 기상 및 지표면 변수를 포함한 Feature set1을 사용한 GBRT기반 모델을 최종모델로 선정하였으며 (PM10: R2 = 0.82 nRMSE = 34.9%, PM2.5: R2 = 0.75 nRMSE = 35.6%), 계절별 및 연평균 PM10 및 PM2.5 농도에 대한 공간적인 분포를 확인해본 결과, 현장관측자료와 비슷한 공간 분포를 보였으며, 국가별 농도 분포와 계절에 따른 시계열 농도 패턴을 잘 모의하였다.

• 대한토목학회논문집
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• 제29권5A호
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• pp.557-564
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• 2009

최근, 테러 및 전쟁과 관련된 폭발사고가 빈번히 발생하고 있으며, 특히 도심지에서는 이러한 폭발사고로 인해 인명피해 뿐 아니라 주요 시설물에도 큰 손상이 가해져 제2차, 3차의 피해가 발생하게 된다. 폭발사고에 대하여 인명 및 시설물을 안전하게 보호하기 위해서는 기본적으로 구조물에 가해지는 폭발하중 효과에 대한 이해가 필요하다. 폭발하중은 매우 빠른 시간 내에 콘크리트 구조물에 큰 압력으로 작용하는 하중이므로 변형률 속도와 구조물의 국부적인 손상을 고려하여 동적응답을 평가해야 한다. 일반적으로, 콘크리트는 다른 건설재료에 비해 상대적으로 높은 폭발저항성을 가진 재료로 알려져 있다. 그러나 폭발실험이라는 특수한 실험조건으로 인하여 국내외적으로 실험에 관련된 정보 및 결과 공유가 상당히 제한적으로 이뤄지고 있는 실정이다. 그러므로 본 논문에서는 폭발에 의한 압력하중이 철근콘크리트 구조물에 미치는 영향과 방호성능을 평가하기 위하여 국방과학시험연구소 다락대 시험장에서 $1.0m{\times}1.0m{\times}150mm$의 철근콘크리트 슬래브 구조물을 제작하여 시편으로부터 높이 1.5 m에서 TNT 9 lbs와 TNT 35 lbs으로 예비시험을 수행하였으며, 동일한 이격거리(standoff)에서 ANFO 35 lbs으로 본 실험을 수행하였다. 이는 국내 최초 민간에서 수행되어진 실험으로써, 첫 번째 논문에서는 폭발실험을 하기 위한 기본적인 실험 구성 및 구조물의 거동을 측정하기 위한 계측장비 구성에 대하여 검토하여 계측 시스템의 구축 및 폭파시험 수행절차를 구축하고자 한다. 센서, 시그널 컨디셔너, DAQ시스템, 소프트웨어로 구축된 계측 시스템을 바탕으로 정립된 폭파시험 수행절차는 향후 국내의 방호설계 및 폭발하중을 받는 구조물의 효과적인 거동계측 등 관련 연구분야의 기초자료가 될 것이라고 판단되는 바이다.

• Journal of Oral Medicine and Pain
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• 제36권1호
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• pp.39-51
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• 2011

본 연구는 측두하악장애의 연구 진단 기준(Research Diagnostic Criteria for Temporomandibular Disorder; RDC/TMD)을 이용하여 구분된 측두하악장애(Temporomandibular Disorder; TMD) 환자를 대상으로 안면의 골격적 양상과 TMD 사이의 연관성을 규명하고 교정 환자의 진단과 치료에 있어 RDC/TMD의 활용 가능성을 제시하고자 하였다. 서울대학교 치과병원 구강내과에 측두하악장애의 진단과 치료를 위해 내원한 여성 환자들의 의무 기록 및 방사선사진을 검토하였으며 환자의 연령이 18세 미만이거나 전신 질환, 골격적 기형 또는 측두하악관절 부위의 외상 병력이 있는 경우는 제외되었다. 총 96명의 여성 환자로부터 얻은 RDC/TMD Axis I 을 포함한 임상 검사 결과와 측방 두부규격방사선사진 (lateral cephalogram), 파노라마 방사선사진(panoramic radiograph) 및 횡두개 방사선사진(transcranial radiograph)을 이용한 방사선적 검사 결과를 분석하였다. RDC/TMD를 이용하여 집단을 분류한 후 측방 두부규격방사선사진의 각도 및 길이 요소들을 계측하여 안면의 골격 관계, 상하악 관계 및 치열 관계를 분석하였다. 통계적 분석법으로는 독립표본 t-검정(independent t-test), 일원분산분석(one-way Analysis of Variance; one-way ANOVA) 및 카이제곱 검정(chi-square test)을 이용하였고 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 근육 문제를 진단하는 RDC/TMD Axis I 의 제 1 군 측두 두부방사선적 특징에서 통계적 유의성이 인정되지 않았다. 2. 관절원판 변위를 임상적으로 진단하는 제 2 군에서는 개구 장애를 동반하지 않는 비정복성 관절원판 변위가 있는 경우 관절원판 변위가 없는 정상 집단에 비하여 articular angle이 큰 것으로 나타났다. 3. 관절통, 관절염 및 관절증을 진단하는 제 3 군에서는 articular angle, FMA, Bjork sum, posterior facial height 및 facial height ratio에서 유의한 차이가 있는 것으로 분석되었다. 4. TMD 진단군과 골격적 양상 사이의 관계를 단순화하기 위하여 RDC/TMD Axis I 각 군을 양분법적으로 분류한 뒤 동일 한 방식으로 분석을 시행하였다. 그 결과 제 1 군에서는 overjet, 제 2 군에서는 articular angle, facial height ratio 및 IMPA, 마지막으로 제 3 군에서는 articular angle, gonial angle, facial convexity, FMA, Bjork sum, posterior facial height, facial height ratio 및 ANB angle에서 유의한 차이를 보였다. 이상의 RDC/TMD Axis I 을 이용하여 진단된 측두하악장애 환자를 대상으로 안면의 골격적 양상과 TMD 사이의 연관성 을 분석한 결과로부터 RDC/TMD Axis I 임상 진단에 따라 진단한 측두하악장애 환자 중 제 2 군과 제 3 군의 환자들에서 측두하악장애와 관련된 것으로 알려진 하악골의 후하방 회전으로 인한 골격적 차이가 존재함을 확인하였다. RDC/TMD Axis I은 교정 전 혹은 교정 치료 진행 중에 임상 검사 및 일반 방사선사진으로부터의 제한된 정보를 바탕으로 교정 치료 중 고려하여야 할 TMD 환자를 감별하는데 유용한 정보를 제공할 수 있을 것이다.

• 마케팅과학연구
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• 제17권2호
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• pp.111-131
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• 2007

브랜드의 중요성이 증대됨에 따라 다양한 브랜드 관련 연구가 이루어지고 있는데, 최근 들어서는 소비자-브랜드 관계가 브랜드 연구의 중심이 되어가고 있다. 본 논문은 이러한 소비자-브랜드 관계에 있어서 높은 품질과 지속적인 연대를 가능하게 하는 브랜드 관계 품질의 측정을 다루고 있다. 소비자-브랜드 관계에 대한 대부분의 기존 연구들은 Fournier(1994, 1998)가 제시한 6개 구성요소 또는 하위 차원을 바탕으로 하고 있다. 그러나 많은 연구들에서 소비자-브랜드 관계를 구성하는 6가지의 요소 또는 하위차원들이 소비자-브랜드 관계 품질이라는 하나의 단일차원을 이루고 있는지 확인하지 못한 채 소비자-브랜드 관계를 측정하기 위해 이들 하위차원들을 결합하여 점수를 계산하고서 연구를 진행하고 있다. 이러한 문제와 관련하여 본 연구에서는 소비자-브랜드 관계 품질을 구성하고 있는 상호의존, 몰입, 사랑/정열, 자아연관, 친밀감, 브랜드 파트너 품질 등의 6개의 차원들이 단일차원의 개념인가를 검토하였고, 이를 실증적으로 검토하였다. 구체적으로 본 연구에서는 구성개념들의 하위차원들이 단일차원의 구성개념인가를 검토한 선행연구들(Naver & Slater, 1990; Cronin & Taylor, 1992; Chang & Chen, 1998)에서 사용한 방법론을 활용하여 소비자-브랜드 관계를 구성하는 하위차원들이 단일차원을 이루고 있는가를 살펴보았다. 이러한 실증연구를 통해 소비자-브랜드 관계를 구성하고 있는 6개 차원들의 신뢰성, 수렴타당성, 판별타당성을 확인할 수 있었고, 소비자-브랜드관계를 구성하는 6개의 하위차원들이 단일차원을 이루고 있다는 것을 확인할 수 있었다. 본 연구의 연구결과는 소비자-브랜드 관계를 구성하는 6개의 하위차원을 결합하여 소비자-브랜드 관계를 연구하였던 기존 연구들, 소비자-브랜드관계를 구성하는 하위차원을 통합하여 소비자-브랜드 관계를 종합적으로 살펴보려는 여러 연구들에 있어서 방법론상의 실증적 근거를 제시하고 있다.

• 마케팅과학연구
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• 제18권4호
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• pp.119-155
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• 2008

최근 많은 기업들이 치열한 경쟁에서 생존하기 위해 개별 고객들에게 초점을 맞춘 전사적이고 체계적인 고객관계관리에 전력을 기울이고 있다. 수익성 높은 대부분 기업들의 성공비결은 복합적이겠지만, 고객지향적 사고에의 신속한 적응이 중요한 부분을 차지하고 있다. 고객관계관리 기법 및 운용철학은 고객을 올바르게 이해하는데서 그치지 않고 고객행동을 사전적으로 예측하여 고객요구에 부응한 제품과 서비스를 제공하는 것만이 치열한 경쟁환경에서 생존함과 동시에 거듭된 성장을 이루는 유일한 해결책임을 강조한다. 고객관계관리는 데이터베이스마케팅과 같은 조직내 실무자 중심의 관점과 접근이 아니라 최고경영자의 마케팅 관점의 경영철학 구현을 통한 전사적이고 조직적인 참여가 이루어져야 한다. 그럼에도 불구하고 많은 기업들이 고객관계관리 기법을 도입하고 구축하는 과정에서 이러한 점을 간과해 왔으며 그 결과, 고객관계관리를 통해 수익성을 높인 기업이 있는 반면에 고객관계관리에 엄청난 비용만을 투입하고 별다른 성과를 거두지 못한 기업들도 다수이다. 본 연구는 CRM구축 및 실행과정에서의 성공요인을 기존 연구와 달리 마케팅적 관점에서 발견해 내고 있다. 시장지향성과 고객지향성이라는 마케팅 철학에서부터 고객정 보지향성과 핵심고객지향이라는 실무적 개념까지 포함해서 마케팅적인 관점에서의 성공적 CRM구축을 위한 선행요인을 발견하고, 이러한 요인들이 마케팅관점의 관계품질과 실무적인 CRM성과에 어떤 영향을 미치는지를 분석함과 동시에 관계품질과 CRM성과 간의 관계의 강도까지 실증적으로 분석해 보았다. 경험적 분석 결과 본 연구에서 구축한 마케팅관점의 CRM선행요인들 중에서 일부 요인을 제외하고는 대체적으로 관계품질 및 CRM성과를 높이는데 상당한 기여를 하고 있음이 확인되었으며, 영향관계의 정도에는 어느 정도 차이가 있음이 확인되었다. 또한 관계품질과 CRM성과 및 세부적 개념구성요인들 간에 매우 높은 정(+)의 관계가 존재함을 확인했다. 이는 CRM의 최종 성과를 달성하기 위해서 CRM구축 및 실행이후에 고객만족과 고객신뢰라는 개념적 연결고리를 강화함과 동시에 이러한 관계품질이 고객유지와 고객점유 정도의 향상으로 이어지도록 하는 창조적 전술개발이 요구됨을 의미한다. CRM을 구축 및 실행하는 대부분의 기업들이 조급하게 재무적인 성과를 기대하는 경향이 있는데, CRM은 마케팅철학을 포함하는 장기적인 경영활동임을 주지해야 한다. 기존의 많은 연구들이 취하고 있는 연구맥락에 근거해서 기술적인 시스템만을 갖추었다고 하여 단기적인 성과를 바라는 것은 오히려 비용의 낭비만을 초래 할 수 있음에 주목해야 한다. 본 연구결과를 바탕으로 CRM의 성공적 구축을 통해 관계품질을 강화하는 것에 대한 전략적 통찰을 제공함과 동시에 실질적인 CRM성과를 달성하기 위한 마케팅 관점의 연결구조를 어떻게 효율적으로 강화할 수 있을 것인가에 대한 학술적이고 실무적인 시사점을 도출했다.