A Study on the Explosion Hazardous Area in the Secondary Leakage of Vapor Phase Materials Based on the Test Results and the Leak Rate According to SEMI S6 in the Semiconductor Industry (반도체 산업의 SEMI S6에 따른 실험결과 및 누출률을 기준으로 한 증기 상 물질의 2차 누출 시 폭발위험장소에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Gas
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- v.24 no.2
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- pp.15-21
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- 2020