• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제25권3호
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• pp.7-12
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• 2018

차세대 초미세 Cu 배선 적용을 위한 원자층증착법(atomic layer deposition, ALD)을 이용하여 증착된 Ru확산 방지층과 Cu 박막 사이의 계면 신뢰성을 평가하기 위해, Ru 공정온도 및 $200^{\circ}C$ 후속 열처리 시간에 따라 4점굽힘시험으로 정량적인 계면접착에너지를 평가하였고, 박리계면을 분석하였다. 225, 270, $310^{\circ}C$ 세 가지 ALD Ru 공정온도에 따른 계면접착에너지는 각각 8.55, 9.37, $8.96J/m^2$로 유사한 값을 보였는데, 이는 증착온도 변화에 따라 Ru 결정립 크기 등 미세조직 및 비저항의 차이가 적어서, 계면 특성도 거의 차이가 없는 것으로 판단된다. $225^{\circ}C$의 공정온도에서 증착된 Ru 박막의 계면접착에너지는 $200^{\circ}C$ 후속 열처리시 250시간까지는 $7.59J/m^2$ 이상으로 유지되었으나, 500시간 후에는 $1.40J/m^2$로 급격히 감소하였다. 박리계면에 대한 X-선 광전자 분광기 분석 결과, 500시간 후 Cu 계면 산화로 인하여 계면접착 에너지가 감소한 것으로 확인되었다. 따라서 ALD Ru 박막은 계면신뢰성이 양호한 차세대 Cu 배선용 확산방지층 후보가 된다고 판단된다.

• 한국전자파학회논문지
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• 제11권5호
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• pp.796-805
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• 2000

30dB의 선형이득과 2.6dB의 잡음지수 성능을 갖는 위성통신중계기용 30GHz대 저잡음증폭기 모듈이 MMIC와 박막 MIC기술로 개발되었다. 두 종의 MMIC 회로가 저잡음증폭기 모듈에 사용되었는데, 하나는 초저잡음용 MMIC 회로이고, 다른 하나는 광대역 고이득용 MMIC 회로이다. MMIC 회로 제작에 사용된 증폭소자는 0.15$mu extrm{m}$게이트 길이를 갖는 pHEMT이다. 두 개의 MMIC 회로를 상호 연결하고 저잡음증폭기 모듈을 완성하기 위하여 박막기술을 이용하여 마이크로스트립 선로를 구현하였으며, 안정된 DC 전원 공급을 위하여 후막기술을 이용한 바이어스 회로를 개발하였다. 저잡음증폭기 모듈의 입력측은 위성중계기의 안테나로부터의 신호를 받아들이기 위하여 도파관 형태로 설계되었으며, 출력측은 주파수변환부와의 접속을 위하여 K-컨넥터로 구현되었다. 모든 제작 공정에는 실제 위성용 부품 제작 기술이 도입되었으며, 위성중계기에 탑재되는 부품에 요구되는 온도시험 및 진동시험을 실시하였다. 제작된 저잡음증폭기 모듈은 동작목표 대역인 30~31GHz에서 30dB 이상의 이득, $\pm$0.3dB의 이득평탄도, 그리고 2.6dB이하의 우수한 잡음지수를 가진 것으로 측정되었다.

• 한국조경학회지
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• 제45권6호
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• pp.62-75
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• 2017

본 연구는 아파트단지 내 수경시설의 계획 설계, 유지 관리, 이용 행태 등 요소가 복합적으로 수경시설의 운영 및 이용에 어떠한 영향을 미치는지를 분석함으로써 향후 아파트단지 내 수경시설 도입 활성화 방안 마련을 위한 기초자료 제시를 목적으로 수행하였다. 본 연구는 수경시설 관리 및 운영 정도 등 기준에 따라 서울지역 대표적 민간 아파트 4개소를 대상으로 앙케이트 조사방법을 통해 연구를 수행되었으며, 분석에는 빈도분석, 기술통계분석, 신뢰도분석, t검정, PLS 회귀분석 등의 방법이 사용되었다. 연구의 결과는 다음과 같다. 첫째, 전반적으로 수경시설은 운영성 여부에 관계없이 이용도는 낮게 나타나고 있지만, 선호도는 높게 나타나고 있어, 수경시설에 대한 주민의 기대치는 여전히 높은 것으로 나타났다. 둘째, 수경시설의 운영이 잘 되는 주거단지든 아니든 간에 계획 설계 요소에서는 '위치'와 '연출기법' 등 2개 항목, 이용 행태 요소에서는 '쾌적성'과 '편리성' 등 2개 항목 등 모두 4개 항목이 수경시설의 운영 및 이용에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 특히, 이들 중 '쾌적성' 항목은 수경시설 운영 및 이용에 부정적인 영향을 미치는 '노후정도', '고장유무', '관리비', '소음' 항목과 직 간접적인 연관이 있는 것으로 나타났다. 셋째, 기존의 연구들에서 수경시설의 운영에 가장 부정적 요인으로 나타난 '관리비' 요인은 수경시설의 운영이 잘 되지 않는 주거단지에서 오히려 문제성을 느끼지 않는 것으로 나타나, 특이성을 띄었다. 즉, 관리비 자체가 문제가 되는 것으로 인식하고 있는 것이 아니라, 체험형이나 유희형과 같은, 주민이 원하는 수경시설을 도입하지 않는 문제와 연계되어 있는 것으로 나타났다. 마지막으로 수경시설의 운영 및 이용에는 계획 설계, 유지 관리, 이용 행태의 요소들이 상호 복합적으로 연관되어 영향을 끼치고 있는 것으로 나타남으로써 이들 3개 요소에 대한 포괄적 접근이 필요하다는 결과를 얻을 수 있었다. 이상의 결과에서 향후 아파트단지 수경시설 도입의 활성화를 위해서는 계획 설계, 유지 관리, 이용 행태 요소를 고려한 종합적 접근과 함께 특히, 수경시설의 프로그램 등에서 주민의 욕구와 가치 등 인식이 반영되어야 할 것으로 제안되었다.