CF$_4$ 플라즈마 처리로 불소를 첨가한 실록산 Spin-On-Glass 박막의 특성
(Properties of Spin-On-Glass Siloxane Thin Films Fluorine-doped by CF$_4$ Plasma)
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- 한국표면공학회지
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- 제34권3호
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- pp.258-263
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- 2001