태양전지 응용을 위한 플라즈마 열선 화학기상증착법으로 성장한 미세결정 실리콘에 관한 연구 (A Study on the Plasma Enhanced Hot-wire CVD Grown Miorocrystalline Silicon Films for Photovoltaic Device Applications)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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- pp.632-635
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- 2001