• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제21권3호
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• pp.57-62
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• 2014

헵틸알콜 기반의 화학적 합성법으로 나노급 Cu 입자의 제조를 실시해 보았으며, 합성 공정의 주요 공정변수인 합성 온도 및 올레일아민의 첨가량에 따른 생성 나노입자의 종류 및 형상 변화에 대해 논의하였다. 합성 온도 및 올레 일아민 첨가량에 따라 생성 나노 입자의 종류 및 형상은 크게 변화하였다. $160^{\circ}C$의 합성 온도 조건에서는 불완전한 환원반응의 영향으로 올레일아민 첨가량에 관계없이 육면체 형태의 $Cu_2O$ 상만이 합성되었고, 올레일아민 첨가량이 증가할수록 $Cu_2O$ 입자들의 평균 크기는 감소하였다. 그러나 $170^{\circ}C$의 온도에서 합성을 실시한 경우에서는 불규칙한 구형 및 땅콩형 나노 입자들이 관찰되었다. 또한 올레일아민 첨가량이 증가할수록 입자들의 평균 크기는 지속적으로 서서히 감소하는 경향을 나타내었으며, 이때 생성 물질도 $Cu_2O$인 경우서부터 순수 Cu 상태로 변화되면서 합성되는 결과가 관찰되었다.