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가스압 변화에 따라 flexible 기판상에 제작한 Al이 첨가된 ZnO 박막의 특성

  • 김경환;조범진;금민종
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회
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    • pp.164-167
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    • 2006
  • In this paper, we prepared Al doped ZnO thin films by using facing targets sputtering method. Al doped ZnO thin film was deposited with different working pressure on flexible substrate. We prepared Al doped ZnO thin film at room temperature, because the flexible substrate has weak thermal resistance. From the results, we could obtain thin film with a resistivity of $8.4{\times}10^{-4}{\Omega}cm$, an average transmittance of over 80% and a film thickness of 200nm.

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Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 $SiN_x$ 합성 (Synthesis of silicon nitride thin film using pulsed DC magnetron sputtering on polymer substrates)

  • 전아람;금민종;신경식;이교웅;한전건
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.109-111
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    • 2007
  • Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 Polymer 및 Glass 기판 위에 $SiN_{\chi}$ (Silicon Nitride) 박막을 합성 시키고 이들의 구조적, 광학적 특성을 조사하였다. 막두께는 100 nm로 고정하였으며, power mode 및 질소 가스 유량비를 변수로 합성하였다.

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OLED용 Al 음전극 제작 및 I-V 특성

  • 금민종;권경환
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회
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    • pp.102-105
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    • 2005
  • In this study Al electrode for OLED was deposited by FTS(Facing Targets Sputtering) system which can deposit thin films with low substrate damage. The Al thin films were deposited on the cell (LiF/EML/HTL/Bottom electrode) as a function of working gas such as Ar, Kr or mixed gas. Also Al thin films were prepared with working gas pressure (1, 6 mTorr ). The film thickness and I-V curve of Al/cell were evaluated by $\alpha$-step and semiconductor parameter (HP4156A) measurement.

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사물인터넷 기반 스마트 홈 서비스 프레임워크 기술

  • 김경원;박종빈;금승우;임태범;윤경로
    • 방송과미디어
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    • 제20권3호
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    • pp.54-65
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    • 2015
  • 최근 네트워크와 연동된 스마트 기기들의 개발과 보급이 활발하게 이루어지고 있으며, 스마트 기기간의 연동을 통한 상호 협력적인 관계를 지능적으로 형성하는 사물인터넷이 큰 이슈가 되고 있다. 본 논문은 홈 내 스마트 기기 및 IoT 기기들의 기능들이 상호 공유되고 협력적으로 제어됨으로써, 더욱 창의적이고 혁신적인 서비스 구성이 가능한 사물인터넷 기반 스마트 홈 서비스 프레임워크를 제시한다. 본 논문에서는 스마트 홈 서비스를 위한 사물인터넷 기술을 소개하고, 홈 내 기기들의 구성 방법에 따른 스마트 홈 서비스 구성 모델을 제시한다. 또한, 상이한 프로토콜과 메시지 포맷을 사용하는 다양한 홈 기기들의 연동 방법, 효율적인 스마트 홈 서비스 개발을 위한 기기 자원 가상화 및 추상 API를 포함하는 스마트 홈 서비스 프레임워크 기술을 제시한다.