The Effect of Grain Size on the Stress Shift toward Tensile Side by Deposition Interruptions in Copper Thin Films (구리 박막 제조중 증착 중단시 박막 결정립 크기 변화가 인장응력 방향으로의 응력 이동에 미치는 영향)
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- Journal of Surface Science and Engineering
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- v.47 no.6
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- pp.303-310
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- 2014