Han, Soo Deok;Song, Young Geun;Shim, Young-Seok;Lee, Hae Ryong;Yoon, Seok-Jin;Kang, Chong-Yun
센서학회지
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제25권6호
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pp.383-387
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2016
Well-ordered nanocolumnar indium oxide ($In_2O_3$) thin films have been successfully fabricated by glancing angle deposition (GAD) using an e-beam evaporator. Nanocolumnar structures have a porous and large surface area with a narrow neck between nanocolumns, which allows them to detect minute amounts of gases. The nanocolumnar $In_2O_3$ thin films were fabricated by the GAD process at five different positions, viz. top, bottom, center, left, and right in a four inch substrate holder. There was a divergence in the thickness and the base resistance of each sensor. However, all the sensors exhibited extremely high sensitivity that was greater than $10^3$ times the change in electrical resistance after being exposed to 50 ppm of acetone gas at $300^{\circ}C$. Furthermore, the nanocolumnar $In_2O_3$ sensors displayed an extremely low detection limit (1.2 ppb) in dry atmosphere as well as in high humidity (80%). We demonstrated that the GAD nanocolumnar $In_2O_3$ sensors have an enormous potential for many applications owing to their particularly simple and reliable fabrication process.
In this study, we propose an array-type gas sensor with high selectivity and response using multiple oxide semiconductors. The sensor array was composed of SnO2 and In2O3, and the detection characteristics were improved by using Pt, Au, and Pd catalysts. All samples were deposited directly on the Pt interdigitated electrode (IDE) through the e-beam evaporator glancing angle deposition (GAD) method. They grew in the form of well-aligned nanorods at off-axis angles. The prepared SnO2 and In2O3 nanorod samples were exposed to CH3COCH3, C7H8, and NO2 gases in a 300℃ dry condition. Au-decorated SnO2, Au-decorated In2O3, and Pd-decorated In2O3 exhibited high selectivity for CH3COCH3, C7H8, and NO2, respectively. They demonstrated a high detection limit of the sub ppb level computationally. In addition, measurements from each sensor were executed in the 40% relative humidity condition. Although there was a slight reduction in detection response, high selectivity and distinguishable detection characteristics were confirmed.
박막제조 기술은 과학 기술의 기초가 되는 분야로 양질의 박막을 제조하기 위한 다양한 노력이 경주되고 있다. 박막제조는 표면개질과 함께 표면처리 기술의 한 분야이며 이중 진공증착으로 알려진 물리증착법과 화학증착법은 현대의 과학기술 연구는 물론 산업적으로 폭넓게 이용되는 박막제조 기술 중의 하나이다. 진공증착을 이용한 박막제조 기술은 나노 기술의 등장과 함께 비약적인 발전을 이루었으며 자연모사와 완전화 박막의 제조, 융복합 공정을 이용한 기능성 코팅과 Engineered Structure 구현 그리고 초고속 증착과 원가 저감 기술의 실현이 주요 이슈로 등장하고 있다. 본 논문에서는 물리증착법과 화학증착법을 중심으로 박막제조 기술의 종류와 원리를 설명하고 박막제조 기술의 최신 동향과 기술적 이슈 및 향후 전망에 대해 기술한다.
Transparent MgO thin films were deposited on glass substrates by electron beam evaporation of MgO (99.99%) under $O_2$ atmosphere at 150-250 $^{\circ}C$. These films were characterized for their useful properties such as thickness, transmission, and refractive index using ultraviolet / visible (UV/VIS) spectrophotometer, scanning electron microscopy (SEM), and Spectroscopic Ellipsometry. The thickness of MgO films were measured by alpha step instrument and found to be 600 nm to 1000 nm and are meeting the stoichiometry. The transmission spectrum of these films shows transmittance values ${\sim}$92%..
The purpose of this study was to analyze the meaning and formative features of the black color reflected on the fetish fashion. This study was proceeded mainly by analyzing with references and plates of magazine. The results of the study were as follows ; First, the sexual liberation and revolution have certainly led to a reassessment of sexual deviations, which changed the meaning of fetishism that has been only regarded as sexual perversion, so that it symbolied a new sexual perception and identification. As the result, black in fetish fashion was symbolized a new fetishism\`s definition which refused to distinguish male from female, and also reflected the meaning to express the second sex that wanted to express themselves. Second, the formative features of black color in fetish fashion have appeared tightness and bareness in form, and in material, glancing materials changed by the effect of light, and elasticity materials-leather, rubber, PVC, and laycra. By these features, black fetish fashion has drawn a higher attention on human body than the dress itself as a symbol about the psychology of erotic sensations and sexual images of the self appearing in black color.
The surface treatment of cover glass for conversion efficiency of photovoltaic cell is important to reduce reflectivity and to increase the incident light. In this work, random textured anti glare (RTAG) glass was prepared by wet surface coating method. Optical properties due to the changes of surface morphology of RTAG glass were compared and conversion efficiency of photovoltaic cell was researched. Grain size and changes of surface morphologies formed with surface etching time greatly affected optical transmittance and transmission haze. Current density (Jsc) were high at the condition when surface morphologies reflection haze were low and transmission haze were high. Jsc was $40.0mA/cm^2$ at glancing angle of $90^{\circ}$. Incidence light source was strongly influenced by surface treatment of cover glass at high incidence angle but was hardly affected light source at the low angle of incidence.
한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵
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pp.31-32
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2011
완전화 박막은 박막의 구조를 원하는 목적에 최적이 되도록 제어하는 방법을 이용하여 만들어진 박막을 의미하는 것으로 금속이나 화합물 박막을 제조하되 각종 구조 제어 Tool을 이용하여 나노화나 다층화 및 치밀화를 통해 구현될 수 있다. 최근 고성능의 증착 및 제어 Tool이 개발되고 스침각 증착 (Glancing Angle Deposition; GLAD) 방법 등의 기술이 개발되면서 User-defined 박막을 통해 User-friendly 응용을 위한 연구개발이 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 완전화 박막 구현을 위한 연구동향을 파악하고 완전화 박막 제조를 위한 기술적 과제와 몇 가지의 시도에 대한 기초 연구 자료를 소개한다.
Modern high-rise tower designs incorporating recessed balcony cavity spaces can be prone to high-frequency and narrow-band Rossiter aerodynamic excitations under glancing incident winds that can harmonize and compete with recessed balcony volume acoustic Helmholtz modes and facade elastic responses. Resulting resonant inertial wind loading to balcony facades responding to these excitations is additive to the peak design wind pressures currently allowed for in wind codes and can present as excessive facade vibrations and sub-audible throbbing in the serviceability range of wind speeds. This paper presents a methodology to determine Cavity Amplification Factors to account for façade resonant inertial wind loads resulting from balcony cavity aero-acoustic-elastic resonances by drawing upon field observations and the results of full-scale monitoring and model-scale wind tunnel tests. Recessed balcony cavities with single orifice type openings and located within curved façade tower geometries appear particularly prone. A Cavity Amplification Factor of 1.8 is calculated in one example representing almost a doubling of local façade design wind pressures. Balcony façade and tower design recommendations to mitigate wind induced aero-acoustic-elastic resonances are provided.
$RuO_2$ 박막을 전극으로 하여 Pt/Ti/Si 기판 위에 $RuO_2$ /LiPON/$RuO_2$의 다층 구조로 이루어진 전고상의 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터를 제작하였다. 전극용 $RuO_2$박막은 반응성 dc 마그네트론 스퍼터를 이용하여 $O_2$/[Ar+$O_2$]비를 증가시키며 성장시켰고, 비정질 LiPON 고체전해질 박막은 순수한 질소분위기 하에서 rf 스퍼터링으로 성장시켰다. 상온에서의 충-방전 측정을 통해 $RuO_2$ 박막의 미세구조에 따라 슈퍼캐패시터의 사이클 특성이 영향을 받는 것을 알 수 있었다. Glancing angle x-ray diffraction(GXRD)과 transmission electron microscopy (TEM) 분석을 통해 산소 유량의 증가가 $RuO_2$박막의 미세 구조의 영향을 주는 것을 알 수 있었고, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 산소 유량 비의 증가가 Ru과 산소간의 결합에도 영향을 줌을 알 수 있었다. 또한 사이클 후 슈퍼캐패시터의 TEM 및 AES depth profiling 분석을 통해, 충-방전 시 $RuO_2$와 LiPON과의 계면반응에 의해 형성된 계면 층이 사이클 특성에 영향을 줌을 알 수 있었다.
본 임상사례에서 보는 것처럼 눈을 위로 치켜뜨는 단일 운동 틱과 경항통 등의 겸증을 호소하는 상태에서 TBT의 턱관절균형장치와 복합한방치료로 증상의 대한 현저한 치료 효과가 나타남을 확인하였다. 하루 수차례 발생하던 위로 치켜 올려보는 증상은 치료 후 간혹 긴장하였을 때를 제외하고는 나타나지 않았으며, 목과 견정부의 뻐근한 통증은 치료 종결 후 환자가 소실되었다고 언급하였으며, 각각의 증상에 따른 scale에서도 볼 수 있듯 틱 증상은 YGTSS 17점, VAS 6점에서 YGTSS 3점, VAS 1점으로 감소, 경항통 및 견정부 통증의 NDI score는 7점에서 4점으로 감소됨을 확인하였다. 이에 추후 본 증례와 유사한 운동 틱 장애 TBT 치료에 관하여 임상상 참고가 될 수 있을 것이라 사료되어 보고하는 바이다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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