• 제목/요약/키워드: etching solution.

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Preparation of Proton-Conducting Gd-Doped Barium Cerate by Oxalate Coprecipitation Method

  • Yong Sung Choi;Soo Man Sim
    • The Korean Journal of Ceramics
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    • 제4권3호
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    • pp.213-221
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    • 1998
  • $BaCe_{0.9}Gd_{0.1_O_{2.95}$ powder was synthesized by oxalate coprecipitation method. Precipitate with a stoichimetric ratio of the cations was prepared by adding a mixture of Ba, Ce and Gd nitrate solution to an oxalic acid solution at pH 4. Reaction between the constituent oxides to form a perovskite phase was initiated at $800^{\circ}C$ and a single phase $BaCe_{0.9}Gd_{0.1_O_{2.95}$ powder having good sinterability was obtained after calcination at $1000^{\circ}C$. Sintering green compacts of this powder for 6 h showed a considerable densification to start at $1100^{\circ}C$ and resulted in 93% and 97% relative densities at $1300^{\circ}$ and at $1450^{\circ}C$, respectively. Whereas the power compacts prepared by solid state reaction had lower relative densities, 78% at $1300^{\circ}$and 90% at $1450^{\circ}C$. Fine particles of $CeO_2$ second phase were observed in the surface of the sintered compacts. This was attributed to the evaporation of BaO from the surface that had been exposed during thermal etching.

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AgNO$_3$을 이용한 수트리의 실시간 열화계측 (The Aging Measurement of Water Tree Using AgNO$_3$Solution)

  • 김덕근;오수홍;이진;이은학;김태성
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.409-412
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    • 1997
  • The phenomenon of water tree degradation of underground distribution power cables is taking place in polymeric insulation materials under the existence of water and application of electric stress, but water tree is not easy to observe, o water tree features in power cables are shown after cutting and dying with methyleneblue. In previous method, it is impossible to acquire continuous treeing data, and when the insulation material has been cut, the micro crack(water tree) has been damaged. In this paper, to overcome these deflects, the etching method is made use of making needle electrode about 170[${\mu}{\textrm}{m}$] diameter, and AgNO$_3$(silver nitrate) solution is used as liquid electrode to accelerate the growth of water trees. As a result of this study, water tree is observed in real-time with microscope. Electrical tree owing to water treeing is initiated at low electric field and grown with discontinuous. Namely, water tree is shown up a different characteristics of tree growth.

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Striation of coated conductors by photolithography process

  • Byeong-Joo Kim;Miyeon Yoon;Myeonghee Lee;Sang Ho Park;Ji-Kwang Lee;Kyeongdal Choi;Woo-Seok Kim
    • 한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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    • 제25권4호
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    • pp.50-53
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    • 2023
  • In this study, the photolithography process was chosen to reduce the aspect ratio of the cross-section of a high-temperature superconducting (HTS) tape by dividing the superconducting layer of the tape. Reducing the aspect ratio decreases the magnetization losses in the second-generation HTS tapes generated by AC magnetic fields. The HTS tape used in the experiment has a thin silver (Ag) layer of about 2 ㎛ on top of the REBCO superconducting layer and no additional stabilizer layer. A dry film resist (DFR) was laminated on top of the HTS tape by a lamination method for the segmentation. Exposure to a 395 nm UV lamp on a patterned mask cures the DFR. Dipping with a 1% Na2CO3 solution was followed to develop the uncured film side and to obtain the required pattern. The silver and superconducting layers of the REBCO films were cleaned with an acid solution after the etching. Finally, the segmented HTS tape was completed by stripping the DFR film with acetone.

Influence of carrier suppressors on electrical properties of solution-derived InZnO-based thin-film transistors

  • 심재준;박상희;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.262-262
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    • 2016
  • 최근 고해상도 디스플레이가 주목받으면서 기존 비정질 실리콘(a-Si)을 대체할 수 있는 재료에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. a-Si의 경우 간단한 공정 과정, 적은 생산비용, 대면적화가 가능하다는 장점이 있지만 전자 이동도가 매우 낮은 단점이 있다. 반면, 산화물 반도체는 비정질 상태에서 전자 이동도가 높으며 큰 밴드갭을 가지고 있어 투명한 특성을 나타낼 뿐만 아니라, 저온공정이 가능하여 기판의 제한이 없는 장점을 가지고 있다. 대표적으로 가장 널리 연구되고 있는 산화물 반도체는 a-IGZO(amorphous indium-gallium-zinc oxide)이다. 그러나 InZnO(IZO) 기반의 산화물 반도체에서 carrier suppressor 역할을 하는 Ga(gallium)은 수요에 대한 공급이 원활하지 못하여 비싸다는 단점이 있다. 그러므로 경제적이면서 a-IGZO와 유사한 전기적 특성을 나타낼 수 있는 suppressor 물질이 필요하다. 따라서 본 연구에서는 IZO 기반의 산화물 반도체에서 Ga을 Hf(hafnium), Zr(zirconium), Si(silicon)으로 대체하여 용액증착(solution-deposition) 공정으로 각각의 채널층을 형성한 back-gate type의 박막 트랜지스터(thin-film transistor, TFT) 소자를 제작하였다. 용액증착 공정은 물질의 비율을 자유롭게 조절할 수 있고, 대기압의 조건에서도 공정이 가능하기 때문에 짧은 공정시간과 저비용의 장점이 있다. 제작된 소자는 p-type Si 위에 게이트 절연막으로 100 nm의 열산화막이 성장된 기판을 사용하였다. 표준 RCA 클리닝 후에 각 solution 물질을 spin coating 방식으로 증착하였다. 이후, photolithography, develop, wet etching의 과정을 거쳐 채널층 패턴을 형성하였다. 또한, 산화물 반도체의 전기적 특성을 향상시키기 위해서 후속 열처리 과정(post deposition annealing, PDA)은 필수적이다. CTA 방식은 높은 열처리 온도와 긴 열처리 시간의 단점이 있다. 따라서, 본 연구에서는 $100^{\circ}C$ 이하의 낮은 온도와 짧은 열처리 시간의 장점을 가지는 MWI (microwave irradiation)를 후속 열처리로 진행하였다. 그 결과, 각 물질로 구현된 소자들은 기존 a-IGZO와 비교하여 적은 양의 carrier suppressor로도 우수한 전기적 특성 및 안정성을 얻을 수 있었다. 따라서, Si, Hf, Zr 기반의 산화물 반도체는 기존의 Ga을 대체하여 저비용으로 디스플레이를 구현할 수 있는 IZO 기반 재료로 기대된다.

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Self-Patterning을 이용한 강유전체 $Sr_{0.9}Bi_{2.1}Ta_2O_9$와 산화물 전극 $La_{0.5}Sr_{0.5}CoO_3$의 박막 제조에 관한 연구 (A Study on Fabrication of $Sr_{0.9}Bi_{2.1}Ta_2O_9$ and $La_{0.5}Sr_{0.5}CoO_3$ Thin Films by Self-Patterning Technique)

  • 임종천;조태진;강동균;임태영;김병호
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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    • pp.116-119
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    • 2003
  • Self-patterning of thin films using photosensitive sol solution has advantages such as simple manufacturing process compared to photoresist/dry etching process. In this study, ferroelectric $Sr_{0.9}Bi_{2.1}Ta_2O_9$(SBT) and $La_{0.5}Sr_{0.5}CoO_3$(LSCO)thin films have been prepared by spin coating method using photosensitive sol solution. $Sr(OC_2H5)_2$, $Bi(TMHD)_3$ and $Ta(OC_2H)_5)_5$ were used as starting materials for SBT solution and $La(OCH_2CH_2OCH_3)_3$, $Sr(OC_2H_5)_2$, $CO(OCH_2CH_2OCH_3)_2$ were used for LSCO solution. Solubility difference by UV irradiation on LSCO thin film allows to obtain a fine patterning due to M-O-M bond formation. The lowest resistivity($4{\times}10^{-3}{\Omega}cm$) of LSCO thin films was obtained by annealing at $740^{\circ}C$.

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Crystal growth에 의한 법랑질 표면처리가 교정용 브라켓 접착제의 전단결합강도에 미치는 영향 (THE EFFECTS OF CRYSTAL GROWTH ON SHEAR BOND STRENGTH OF ORTHODONTIC BRACKET ADHESIVES TO ENAMEL SURFACE)

  • 이영준;박영국
    • 대한치과교정학회지
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    • 제27권5호
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    • pp.839-852
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    • 1997
  • Crystal growth 용액인 황화이온을 함유한 폴리아크릴산 용액에 의한 법랑질 표면처리는 법랑질 표면에 crystal growth를 유도함으로써 통상적인 산부식법을 대체하여 교정용 브라켓을 접착하기 위한 법랑질 전처치의 방법으로 사용될 수 있음이 제안된 바 있다. 이 연구는 crystal growth후 교정용 브라켓 접착제로 브라켓을 접착하는 방법의 임상적용 가능성을 구명하기 위하여 시행되었다. 발거된 사람소구치의 법랑질 표면을 $25\%$ 폴리아크릴산과 0.3M 황산을 함유한 기본 crystal growth 용액, 각각 0.3M lithium sulfate, 0.3M magnesium sulfate, 0.3M potassium sulfate를 첨가한 crystal growth 용액, $37\%$ 인산용액, 퍼미스로 각각 처리한 후, 교정용 광중합형 글래스아이오노머 시멘트와 교정용 레진접착제로 금속브라켓을 접착하였다. $37^{\circ}C$의 증류수에 24시간 침지시킨 후, 브라켓 전단결합강도를 측정하고 접착 파절양태를 관찰하였으며 표면처리된 법랑질 표면과 브라켓 제거후의 법랑질 표면을 주사전자현미경으로 관찰하여 다음과 같은 결과를 얻었다. Crystal growth후 광중합형 글래스아이오노머 시멘트로 브라켓 접착시 0.3M magnesium sulfate를 함유한 군의 브라켓 전단결합강도가 가장 높았다(p<0.01). Crystal growth후 광중합형 글래스아이오노머 시멘트로 접착한 군의 브라켓 전단결합강도는 crystal growth 후 레진접착제로 접착한 군보다 높았다(p<0.001). Magnesium sulfate, 또는 potassium sulfate를 함유한 crystal growth 용액으로 법랑질 표면을 처리한 후 글래스아이오노머시멘트로 접착한 군의 브라켓 전단결합강도는 산부식 후 레진 접착제로 접착한 군과 유의한 차이를 보이지 않았다. 브라켓 제거시 잔류접착제의 양은 글래스아이오노머 시멘트로 접착한 것이 가장 적었다. 이상의 결과는 magnesium sulfate나 potassium sulfate를 함유한 crystal growth 용액으로 법랑질 표면처리 후 교정용 광중합형 글래스 아이오노머 시멘트로 브라켓을 접착하는 방법이 통상적으로 사용되는 산부식 후 교정용 레진접착제에 의한 브라켓 접착법을 대체할 수 있음을 시사한다.

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수 종의 복합레진 접착 시스템에서의 미세 누출의 비교 (COMPARISON OF MICROLEAKAGE WITH THREE DIFFERENT ADHESIVE SYSTEMS)

  • 석충기;남동우;남순현;김영진;김현정
    • 대한소아치과학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.636-644
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    • 2004
  • 최근 자가 부식형 접착 시스템이 개발되어 법랑질 및 상아질에 모두 적용할 수 있고, 임상적 술식을 단순화 시켰다. 이 접착 시스템은 적용하기 용이하고 임상적으로도 법랑질 및 상아질에 높은 결합강도를 보인다고 보고되고 있다. 이 연구는 in vitro 상에서 복합레진 5급 와동의 법랑질 및 상아질 경계에서 전부식 처리를 동반한 one-bottle 접착시스템과 자가 부식형 접착 시스템을 사용하였을 때 미세 누출을 비교하기 위해 시행하였다. 교정적 목적으로 발치된 30개의 소구치를 무작위적으로 3개 군으로 나누었다; 1 군 (Single $Bond^{(R)}$ + Filtek $Z250^{(R)}$), 2 군 (Clearfil SE $Bond^{(R)}$ + Filtek $Z250^{(R)}$), 3 군 (Adper Prompt $L-Pop^{(R)}$ + Filtek $Z250^{(R)}$). 표준화된 5급 와동을 각 소구치 협면, 설면에서 백악-법랑경계에 평행하게 형성하였으며, 와동의 치은측 1/2은 백악법랑경계보다 1mm 치근단으로 연장하였다. 접착 시스템을 제조자의 지시대로 적용한 다음 복합레진을 충전하고 제조자의 지시대로 광중합하였다. 시편을 $37^{\circ}C$ 증류수에 5일 간 보관 후 $5^{\circ}C{\pm}2^{\circ}C$$55^{\circ}C{\pm}2^{\circ}$에서 1000회 열순환한 다음, 2% methylene blue 용액에 12시간 침잠시켰다. $Isomet^{TM}$ (Buehler Co., Lake Bluff, IL, USA)을 사용하여 치아를 충전물 중앙에서 종절단한 후 입체 현미 경하에서 25배의 배율로 색소 침투도를 평가하였다. 결과는 t-test 와 one-way ANOVA를 이용하여 통계처리 하였다. 결과는 다음과 같았다. ${\cdot}$ 실험에 사용 된 접착 시스템 중에 미세 누출을 완벽하게 방지하는 접착 시스템은 없었다. ${\cdot}$ 상아질 경계에서의 미세 누출이 법랑질 경계에서보다 통계학적으로 유의하게 더 많았다(p<0.0001). ${\cdot}$ 법랑질 경계에서 자가 부식형 접착 시스템은 전부식 처리를 동반한 one-bottle접착 시스템과 통계학적으로 유의한 차이를 보이지 않았다. ${\cdot}$ 상아질 경계에서, 자가 부식형 접착 시스템은 전부식 처리를 동반한 one-bottle 접착 시스템과 통계학적으로 유의한 차이를 보이지 않았다.

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열화학기상증착법에 의한 고순도 탄소나노튜브의 성장 (Growth of Highly Purified Carbon Nanotubes by Thermal Chemical Vapor Deposition)

  • 유재근;박정훈;김대운;이철진;손권희;신동혁;문인기
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제49권12호
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    • pp.649-653
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    • 2000
  • We have grown carbon nanotubes by thermal chemical vapor deposition of $C_{2}H_{2}$ on catalytic metal deposited on silicon oxide substrates. Highly purified carbon nanotubes are uniformly grown on a large area of the silicon oxide substrates. It is observed that surface modification of catalytic metals deposited on substrates by either etching with dipping in a HF solution and/or $NH_{3}$ pretreatment is a crucial step for the nanotube growth prior to the reaction of $C_{2}H_{2}$ gas. The diameters of carbon naotubes could be controlled by applying the different catalytic metals.

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Thin Film Adhesion and Cutting Performance in Diamond-Coated Carbide Tools

  • Jong Hee Kim;Dae Young Jung;Hee Kap Oh
    • The Korean Journal of Ceramics
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    • 제3권2호
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    • pp.105-109
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    • 1997
  • The effects of surface conditions of the C-2 cemented carbide substrate on the adhesion of diamond film were investigated. The substrates were pretreated for different times with Murakami's reagent and then the acid solution of an H2SO4-H2O2. The adhesion strength was estimated by a peeling area around the Rockwell-A indentation. The cutting performance of the diamond-coated tools was evaluated by measuring flank wears in dry turning of Al-17% Si alloy. The morphology of deposited diamond crystallites was dominated by (111) and (220) surfaces with a cubooctahedral shape. The diamond film quality was hardly affected by the surface conditions of the substrate. The variation of tool life with longer substrate etching times resulted from a compromies between the increase of film adhesion at the interface and the decrease of toughness at the substrate surface. The coated tools were mainly deteriorated by chipping and flaking of the diamond film form a lock of adhesion strength, differently from the wear phenomena of PCD tools.

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고온의 염기성 수용액에서 Ni기 합금의 응력부식파괴

  • 김홍표;황성식;국일현;김정수
    • 한국원자력학회:학술대회논문집
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    • 한국원자력학회 1998년도 춘계학술발표회논문집(2)
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    • pp.84-89
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    • 1998
  • Alloy 600 및 alloy 690과 Ni-8Cr-lOFe 합금 등의 응력부식(stress corrosion cracking, SCC) 거동을 고온의 염기성 분위기에서 C-ring 시편을 사용하여 연구하였다. Alloy 600과 alloy 690을 여러 조건에서 열처리하여 etching한 후 탄화물의 분포와 입계 주변의 Cr고갈 정도 등의 미세조직을 광학현미경과 주사 전자현미경(SEM)으로 관찰하였다. 이들 재료에 대한 SCC 시험을 315$^{\circ}C$의 40% NaOH 수용액에서 일정한 부하전위(부식전위 + 200㎷)를 가하면서 수행하였으며, 동일 조건에서의 분극거동도 측정하였다. Alloy 600 MA(mill anneal) 및 TT(thermal treatment)의 SCC 저항성은 alloy 690 TT와 Ni-8Cr-10Fe SA(solution anneal)보다 낮았다. Alloy 600 TT 재료는 alloy 600 MA 및 SA 재료에 비해 SCC 저항성이 더 컸다. 고용 탄소농도는 alloy 600의 SCC 저항성에 큰 영향을 주지 못했다. 대부분의 Alloy 600은 균열전파 입계균열을 보였으나, 일부에서는 입계 및 입내 혼합양상(mixed mode cracking)을 보였다. 염기성 분위기에서 Ni기 합금의 SCC 거동을 미세조직, 분극거동의 관점에서 고찰하였다.

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